Гунина

Номер патента: 1579204

Опубликовано: 19.06.1995

Авторы: Гунина, Дынник, Комарова, Мандрыкина

МПК: G01N 15/02

Метки: загрязнения, микрочастицами, фоторезиста

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА МИКРОЧАСТИЦАМИ, включающий освещение кюветы с фоторезистом коллимированным световым излучением, определение количества микрочастиц в единице объема исследуемого фоторезиста, суждение по этому количеству о загрязнении фоторезиста, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности контроля за счет визуализации невидимых микрочастиц, в исследуемый фоторезист до освещения добавляют поверхностно-активное вещество алкилбензилдиметиламмоний хлорида общей формулы[CnH2n+1 N+(CH3)2CH2C6H5] Cl-,где n составляет величину в пределах 10 18, в количестве 0,02 0,2% объема...

Номер патента: 1267945

Опубликовано: 19.06.1995

Авторы: Вакулина, Гунина, Пимкина, Поярков, Сотников, Шестакова

МПК: G03C 5/42

Метки: изображений, отбеленных, состав, фотографических, чернения

СОСТАВ ДЛЯ ЧЕРНЕНИЯ ОТБЕЛЕННЫХ ФОТОГРАФИЧЕСКИХ ИЗОБРАЖЕНИЙ, включающий тиомочевину, едкое кали, соединение формулы[RO(C2H4O)m]POOK,где RC4H2n+1;n 8-10;m6,и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения точности передачи геометрических размеров микроэлементов изображения, он содержит указанные компоненты при следующем количественном соотношении, г/л:Тиомочевина 2-4Едкое кали 2,5-4Соединение указанной формулы 1-6Вода До 1 л

Номер патента: 902603

Опубликовано: 09.06.1995

Авторы: Акимова, Гунина, Лобов, Пимкина, Поярков, Сысоева

МПК: G03C 5/00

Метки: дефектов, исправления, фотошаблонов

СПОСОБ ИСПРАВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ, полученных методом обращения, включающий операцию контроля размеров элементов топологии, проводимую после проявления и сушки фотошаблона, и собственно исправление размерных дефектов, отличающийся тем, что, с целью упрощения аппаратурной реализации и снижения трудоемкости, исправление размерных дефектов производят путем размачивания эмульсионного слоя в проточной деионизованной воде с засветкой в ванне с деионизованной водой и последующим проявлением.

Номер патента: 1047112

Опубликовано: 27.05.1995

Авторы: Викулина, Гунина, Лаврентьев, Лобов, Поярков, Сотников

МПК: G03C 7/28

Метки: изображения, отбеливания, состав

СОСТАВ ДЛЯ ОТБЕЛИВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ, содержащий азотнокислую соль трехвалентного железа, азотную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения качества отбеливания, он дополнительно содержит синтанол общей формулыCnH2n+1O(C2H4O)mH,n 10 18; m 8 10,и 2,3-димеркаптопропансульфонат натрия при следующем соотношении компонентов, мас.Азотнокислая соль трехвалентного железа 1,0 1,5Азотная кислота 2,8 4,2Синтанол общей формулы CnH2n+1O(C2H4O)mH, n 10 - 18; m 8 10 0,01 0,052,3-Димеркаптопропансульфонат натрия 0,1 0,13

Номер патента: 1438478

Опубликовано: 27.05.1995

Авторы: Викулина, Гунина, Пимкина, Поярков

МПК: G03C 1/72

Метки: композиция, фоторезиста

КОМПОЗИЦИЯ ФОТОРЕЗИСТА, содержащая светочувствительную компоненту на основе нафтохинондиазида, фенолформальдегидную смолу, органический растворитель и 50% -ный водный раствор алкилбензилдиметиламмоний хлорида общей формулы I[CnH2n + N(CH3)2CH2C6H5]+Cl-,где n 10 16,отличающаяся тем, что, с целью сокращения времени проявления и расширения полезного интервала экспонирования, она содержит указанные компоненты в следующих количествах, мас.Светочувствительная компонента на основе нафтохинондиазида 7 8Фенолформальдегидная смола 12 13Вещество формулы I (50%-ный водный раствор) 0,05 0,50Органический...

Номер патента: 1083809

Опубликовано: 27.05.1995

Авторы: Гетманский, Гунина, Лобов, Милюкова, Пимкина, Поярков

МПК: G03C 5/00, G03F 1/00

Метки: изображения, методом, обращения, проявления, составы, чернения

1. Способ получения изображения методом обращения на эмульсионной подложке, включающий формирование скрытого изображения, его проявление, отбеливание, осветление и чернение, промывку подложки после каждой операции в дистиллированной или деионизованной воде и финишную сушку, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, чернение проявленного изображения проводят в течение 3 5 мин, а промывку подложки после чернения осуществляют в 0,2 0,3%-ном растворе алкилбензилдиметиламмоний хлорида в дистиллированной или деионизованной воде.2. Состав для проявления скрытого изображения, включающий в себя сульфит натрия, метол, гидрохинон, калий бромистый, роданистый калий, ускоряющее и буферное вещества и дистиллированную...

Номер патента: 1491269

Опубликовано: 27.05.1995

Авторы: Гунина, Дынник, Поярков

МПК: H01L 21/312

Метки: нанесением, поверхности, подготовки, подложки, фоторезиста

СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ ПЕРЕД НАНЕСЕНИЕМ ФОТОРЕЗИСТА, включающий очистку подложки и обработку ее органическим гидрофобизирующим веществом, отличающийся тем, что, с целью повышения процента выхода годных подложек за счет снижения дефектности наносимого слоя, в качестве гидрофобизирующего вещества используют 0,01 1%-ный (по массе) водный раствор катионоактивного ПАВ катамина АБ алкилбензилдиметиламмоний хлорида общей формулы[ Cn H2n+1N+ (CH3)2 CH2C6 H5]Cl-,где n 10 18.

Номер патента: 1080638

Опубликовано: 27.05.1995

Авторы: Акимова, Викулина, Гунина, Пимкина, Поярков, Яковлев

МПК: G03C 1/72

Метки: состав, фоторезиста

СОСТАВ ФОТОРЕЗИСТА, содержащий светочувствительную композицию на основе растворов органических материалов мономерной или полимерной структуры и поверхностно-активное вещество, отличающийся тем, что, с целью уменьшения дефектности пленки фоторезистора, в качестве поверхностно-активного вещества он содержит концентрированный водный раствор алкилбензилдиметиламмоний хлорида общей формулы[CnH2n+1N(CH3)2 CH2C6H5]+Cl-,где n 10 16,в количестве 0,5 1,5 об.

Номер патента: 1829679

Опубликовано: 20.05.1995

Авторы: Гунина, Комаров, Суровцев

МПК: G03F 7/26

Метки: нанесенного, подложку, слоя, термообработки, фоторезиста

...способа для термообработки резиста позволит повысить качество слоя резиста, а именно равномерность слоя по толщине по поверхности подложки, уменьшить дефектность, а следовательно, увеличить выход годных после литографических операций за счет повышения качества термообработки. Все зто дает возможность ввести в КД допуск на размеры не +0,3 мкм, а + 0,2 мкм, получить воспроизводимость от пластины к пластине и по пластине уменьшить реставрацию. термопарой, Для сравнения проводилисьоперации термообработки известными методами; для шаблонов - конвекционным,для кремниевых пластин - посредством го 5 рячей плиты, Режимы обработки приведеныв табл. 3,Все полученные данные обрабатывались статистическим методом в производственных...

Номер патента: 689411

Опубликовано: 10.05.1995

Авторы: Гунина, Лаврентьев, Логутова, Поярков, Степанов, Черников

МПК: G01N 19/04

Метки: адгезии, пленки, подложке

1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИИ ПЛЕНКИ К ПОДЛОЖКЕ, заключающийся в том, что к пленке прикладывают отслаивающее усилие, а об адгезионных свойствах судят по наличию неконтактирующей площади, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения адгезии фоторезистивных пленок, поверхность пленки подвергают ионному легированию, подложку с пленкой нагревают, а об адгезионных свойствах судят по наличию вздутой пленки.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что легирование осуществляют ионами фосфора с энергией 100 200 кэВ и дозой легирования 100 500 мкКл/см2.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что легирование осуществляют ионами бора.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что легирование осуществляют ионами сурьмы.

Номер патента: 1653442

Опубликовано: 30.04.1995

Авторы: Гунина, Дынник, Мандрыкина, Пимкина, Поярков

МПК: G03F 7/42, H01L 21/312

Метки: позитивного, состав, удаления, фоторезиста

СОСТАВ ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ПОЗИТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА, содержащий метилпирролидон и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности процесса удаления, он дополнительно содержит глицерин и алифатический амин при следующем соотношении компонентов, об.Метилпирролидон 17-82Глицерин 10-20Алифатический амин 2-25Вода Остальное

Номер патента: 1734487

Опубликовано: 30.04.1995

Авторы: Гунина, Мандрыкина, Пимкина, Поярков

МПК: G03F 7/42

Метки: позитивного, состав, удаления, фоторезиста

СОСТАВ ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ПОЗИТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА, содержащий метилпирролидон, глицерин, алифатический амин и воду, отличающийся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, он содержит указанные компоненты при следующем соотношении, об.Метилпирролидон 17-82Глицерин 1-20Алифатический амин 0,01-25Вода Остальное

Номер патента: 1733501

Опубликовано: 15.05.1992

Авторы: Гунина, Каган, Литенко, Невская, Чумаевский

МПК: C23C 20/00

Метки: покрытий, электроизоляционных

...почти синусоидальной индукции), что контролировалось по показаниям волье тметров средних и действующих значений. Коэффициент формы Кф = Ед/Е несущественно отличался от 1,11, достигая величины 1,13.Напряженность магнитного поля Н была синусоидальной. Контроль формы кривой тока в намагничивающей обмотке проводился по показаниям вольтметров средних и действующих значений, подключенных к образцовому сопротивлению.П р и м е р 1. Кольца и пластины из стали 2412 обработаны раствором состава, вес,%: этилсиликат 0,5; соляная кислота(в пересчете на НС 1) 0,001; вода 0,1; этиловый спирт остальное, окунанием в течение 5 с и высушены при 100 ОС в течение 1 мин. Затем кольца и пластины обработаны с помощью валиков в композиции состава, вес. О ;...

Номер патента: 1437413

Опубликовано: 15.11.1988

Авторы: Гунина, Капралов, Чумаевский

МПК: C23C 22/07

Метки: нанесения, покрытий, состав, фосфатно-смазочных

...О.СГ. Б;. 1; "Е. Лпу ) ГЕ"ЕСКОЙ ПОСГ(ЪГ)Г Р ЦДС Г) ;т, ге ,)Гс(ЦГЙгОКОЛО г )гО)ТОго(ОП" ( Гт )Ъ( Сг (С)( ДС )Ят 1 Я тГГ: г ; "; ( ,г ЭЭ) г 3 К)ЕЙ: )ГМБ;:1 я и: Бъ)яеукд за цц -)Й т Рхцог гд .;. В: .": ИХ (рИБОДИЛ 11 В (, тд )- 1; ;б д зКОи) с ц ео брдботан(б)р)3 3 ЬЬ цИБОДИ,ти 130 13 гдтСгИЕ 1-, .)гЕ) 1 СЕт)1;)Е;КЪЙ Обрд:3 С-)т, ИМЛ 1 ЯСТО.р д ц)Ения ": гс(б гг МИЕ, ,О Зг)фИ(ИР НТОСК":,.ЗЪБ(1 .И 5 Г ДГ)Ъ Т ." ЕНИЯЭЬ РИ тд "т):. (КЯХ .амЗР),1 И МлМЕ "Т ТРЕНИЯ ЦЯ,с 1 И ;СЛ.; г) 01 С;ОГ) ДО За 11;Рс 1 КСПЪбдат ) кдн ) Бс (ре(терия .-" (теризу(,е. О противозддирцые (:т, С: Б;) ( (д л 0 1 Ъ; ( СОСТЯ 30 В . ВыбрсНО я(т.:(О Обо;.о. ОБ 3 б)(3 зд до резкого г 3 (,) г) Рт)ия т(; Р т ,рЕНс т Е, ос )д 3 ГЛя ЯНРсения фосфятно сма Зот(т(г;Х гОКРЪТКИ...

Номер патента: 1201589

Опубликовано: 30.12.1985

Авторы: Гунина, Дмитриев, Корчемкин, Розин, Стульгинский

МПК: F16G 11/02

Метки: гибких, заделки, концов, стержней

...на фиг. 10 - заделка концов гибких стержней с обоих торцов с последующим удалением обойм путем разрезания по линиям "В"; на фиг. 11 - отдельный гибкий стержень, имеющий в поперечном сечении форму сектора.Заделка концов гибких стержней в форме секторов, собранных в обойму.Образуют форму заделки концов гибких стержней в виде секторов, собранных в обойму, Для этого концы прядей гибких стержней 1 собирают в жесткие наконечники, изготовленные из нержавеющей стали и имеющие в поперечном сечении форму сектора.Наконечники 2 с собранным в них концами прядей гибких стержней размещают в цилиндрической алюминиевой обойме 3 с заполнением всего ее объема путем сопряжения из прямоугольных поверхностей между собой и цилиндрических поверхностей...

Номер патента: 1117044

Опубликовано: 07.10.1984

Авторы: Гунина, Дорогой, Изергина, Фролькис, Фуркало

МПК: A61B 10/00

Метки: артерий, атеросклерозом, болезнью, больных, ишемической, коронарных, поражения, сердца, степени, хронической

...артерий атеросклерозом у больных хронической ишемической болезнью сердца в веноэной крови определяют содержание прекалликреина и кининогена, активность калликреина и кининазы, а степень поражения коронарных артерий атеросклерозом (Пссп) определяют по формуле,35Пссп : 9025 - 0,09 А + 0,23 В3,98 С - 197 ь 44 Пэгде А - содержание прекалликреина;В - активность калликреина;С - содержание кининогена;В - активность кининаэы.Способ осуществляют следующим образом.В венозной крови определяют содержание прекалликреина и активностьЯ 5калликреина спектрофотометрическим методом. Содержание кининогена в крови определяют биологическим методом по сокращению изолированного рога матки крысы, Активность кининаэыопределяют сектрофотометрическим методом,...

Номер патента: 1033466

Опубликовано: 07.08.1983

Авторы: Гунина, Пимкина, Поярков, Яковлев

МПК: C03C 23/00

Метки: пластин, стеклянных

...также недопустим, так как это ведет к браку,После очистки ппастины защищают20 от возможных загрязнений при кратковременном хранении-. (не более 2 ч )специальной пленкой лака,Нанесение защйтного покрытия и удаление его перед следующей операцией25 представляет собой дополнительныестадии в технологическом процес.се изготовления металлостеклянныхфотошаблонов 2 3.Недостатком известного способаявляется то,что он не обеспечивает получения стеклянных пластин-заготовок с длительным сроком хранения их между отдельными операциями вследствие того, что по истечении времени независимо от условий хра35нения и изготовления идет процесс выщелацивания,Цель изобретения - увеличение срока межоперационного хранения путем40 повышения качества...

Номер патента: 1031977

Опубликовано: 30.07.1983

Авторы: Гунина, Дорофеев, Замковая, Кобельчук, Котов, Кутянина, Онищенко

МПК: C08L 9/00

Метки: вулканизуемая, резиновая, смесь

...смолы других классов. Однако эта смола - вязкая жидкость, что создает технологические трудности при ее доэировании с резносмесительное оборудование. Кроме того, несмотря на значительное увеличеййе динамической выносливости и износостойкости вулканиэатов, смола УПнезначительно улучшает прочность свято зи в резинокордных системах.Цель изобретения - повышение динамической выносливости резин при многократных деформациях и прочности свя. зи резины с кордом. Поставленную цель достигают резиновой смесью на основе ненасыщенного каучука, содержащей вулканизующую группу, наполнитель и эпоксидную смолу, в качестве .которой она содержит эпоксидную смолу ЭПФ, полученную на основе 1,4 бис-(И, И-диоксибенэгидрил-бензола обшей формулы О- СН - СН-...

Номер патента: 938338

Опубликовано: 23.06.1982

Авторы: Гунина, Лаврентьев, Логутова, Поярков, Степанов, Черников

МПК: G03F 7/26, H01L 21/265

Метки: фотошаблон

...этогоне происходит "сшивание" фоторезистас маскирующей пленкой и положительный эффект не достигается.При легировании ионами с энергией более 2 ЬО кэВ происходит разогревание подложки до температуры, прикоторой происходит разрушение фоторезиста,Если доза легирования менее100 мкКл/см , то не достигается оптигмальная оптическая плотность, неполностью затягиваются проколы и,следовательно, цель изобретения недостигается.При дозе легирования. больше500 мкКл/см происходит разогревстеклянной подложки, что отрицательно влияет на качество легированного 1 Офоторезиста, резист разрушается.На чертеже изображен предлагаемыйфотошаблон, разрез,фотошаблон содержит стекляннуюподложку 1 с нанесенным .на нее маскирующим слоем 2 из металла илл...

Номер патента: 645749

Опубликовано: 05.02.1979

Авторы: Гунина, Моренко, Ногтев, Попов, Ромазан, Сарычев, Селиванов

МПК: B22D 7/00

Метки: атмосфере, защитной, разливки, состав, стали

...Испытуемая масса спрессовывапась в форме дисков. Давление прессования составило 24-32 кгс/см . После сушки3епрн температуре 105-110,С в течение 24 ча диски приобретали необходимую прочность дцн нх транспортировки к нспольэованнн. До начала разпнвкн днскн помещалн в нэпожннцы на поддоны. Разливка металла производилась обычным способом. После наполнения прибыли зеркало металла закрывалн екзотермнческой нлн другой смесью.,с.месн составов н нх характеристики Смеси различных составов, нх характеристики прн сгорания приведены в табл. 1.Сравнительные данные прн использовании яэвестной н описываемой смесей, прн разливке ннзкопегнрованной стали приведены в табл. 2.Качество металла, раэпнваемого с защитным газовым факелом, оценивалн носодержанню...

Номер патента: 569375

Опубликовано: 25.08.1977

Авторы: Гунина, Моренко, Ногтев, Радюкевич, Сарычев, Селиванов

МПК: B22D 7/12

Метки: вкладыш, изложницы, металлический, поддону

...при разливке стали сверху, включающий корпус, вьпопнещгый из отходов мегаппообработки, и конусную крышку ) 1.Однако испопьзование указанного вкладыша не обеспечивает надежной защиты поддо на от размывания струей запиваемого металла, так как конусная крышка из листа толщиной 5 мм грокигаеггя, а нескреппенные между собой металлические обрезки от удара струи разбрасываются в стороны 15Цепь изобретения - упростить конструкцию металлического вкладыша и повысить 0срок службы излокницы.Это достигается за счет того, что верхняя часть предпагаемого вкладыша выполненатакже из пористого материала в виде клина,На фиг, 1 изображен вкладыш, вид прямо, разрез, на фиг. 2 - гоже, вип сверху.Вкпадыщ 1 из прессованньх обрезков металла или стружки нижним...

Номер патента: 396664

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Гунина, Сафонова, Ткачева, Тонких

МПК: G03F 7/32

Метки: органический, позитивных, проявитель, фоторезистов

...0,8 - 1,0 Тра)злеи)е1,20,81,0Травление1,81,5Травление0,61,0Травление1,41,2Травление1,4Травление0,40,60,60,8 68 7 9 8 10 7 1 О 25 - ЗО35 6 8 6 8 базы эмнттера э)(нттсра эмиттера алюминия алюминия Гравленне базы внесения к)кнх-лбо дополтп 1 тель 1 ых изеений в технологический цикл их и(згатовления.Предложенный,проявитель может оыть применен на всех стадиях фоголитографичес)кого процесса при изготовлении планарных полупроводни)новых приборав в тех случаях, когда необходима обработ(ка позитивных фоторез всч)ов.При(менение предложенного,проявителя особенно ценво при изготавлении Гметаллизнрованных фотошаблонов для планарных полупроводниковых приборов, посколыку для них требует 1 ся получение рисунка строгого заданных размеров с че 1)ком...

Номер патента: 232040

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Бегиджанова, Борисов, Георгиевский, Государственный, Гунина, Институт, Крейндлин, Листопад, Любушкин, Сазонова, Харач, Чулков, Шаров

МПК: F16D 65/04

Метки: ленточный, тормоз, транспортной

...тормОповышает надежность тза. ения торторый да- ориентиплощадь ентов, Это сть тормой машины, в виде плаичаюиийся Ленточныи тормоз транспортновклточающий тормозные элементы стин, соединенных с лентой, отл 5 тем, что, с целью повышения надолговечности работы тормоза, элементы имеют скобы, свободно ленту тормоза. деж ности и тормозные надетые на Бегиджанова, 3. А, Сазон В. Любушкин, М. А. ШарЛ. В. Гунина, Г. А. Г Государственный союзный на институт, Волгоградский тракисследовательский инсти Институт Известны ленточные тормоза транспортных машин, включатощие тормозные элементы в виде пластин, соединенных с лентой.В данном ленточном тормозе, с целью повышения надежности и долговечности его работы, тормозные элементы для соединения с...

Номер патента: 231789

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Гунина, Догадкин, Матвеева, Миронов, Научно, Соловьев, Тарасова, Федотов

МПК: C08K 5/5419, C08L 9/00

Метки: 231789

...110 г (82,2%) брис-хтетакрилоксидиметилсилана с т. кип. 63 - 65 С при давлении 1 мм рт. ст.Этот силаи вводят в резиновые смеси.П р им е р. Резиновые смеси на основе бутадиенспирольного (СКС-ЗОАРКюропрен 1500) каучука готовят,по следующему рецепту (в вес. ч.);Каучук Вулканизацию,проводят в пр р С в течение 10 - 150 лтин.Физико-атеханические свойства вулканизатов, полученных при различном времени вулканизации юропрена 1500, приведены в табл,1.В табл. 2 приведены физико-механические свойства вулканизатов в зависимости от вулканизующего действия различных производных силанов (5,0 вес. ч.) в смеси с бутадиенстирольным каучуком.Предложенный способ обеспечивает чение ненаполненных резин с высокой231789 Таблица 1 Время вулканизации при 51...