Мандрыкина

Номер патента: 1579204

Опубликовано: 19.06.1995

Авторы: Гунина, Дынник, Комарова, Мандрыкина

МПК: G01N 15/02

Метки: загрязнения, микрочастицами, фоторезиста

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА МИКРОЧАСТИЦАМИ, включающий освещение кюветы с фоторезистом коллимированным световым излучением, определение количества микрочастиц в единице объема исследуемого фоторезиста, суждение по этому количеству о загрязнении фоторезиста, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности контроля за счет визуализации невидимых микрочастиц, в исследуемый фоторезист до освещения добавляют поверхностно-активное вещество алкилбензилдиметиламмоний хлорида общей формулы[CnH2n+1 N+(CH3)2CH2C6H5] Cl-,где n составляет величину в пределах 10 18, в количестве 0,02 0,2% объема...

Номер патента: 1653442

Опубликовано: 30.04.1995

Авторы: Гунина, Дынник, Мандрыкина, Пимкина, Поярков

МПК: G03F 7/42, H01L 21/312

Метки: позитивного, состав, удаления, фоторезиста

СОСТАВ ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ПОЗИТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА, содержащий метилпирролидон и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности процесса удаления, он дополнительно содержит глицерин и алифатический амин при следующем соотношении компонентов, об.Метилпирролидон 17-82Глицерин 10-20Алифатический амин 2-25Вода Остальное

Номер патента: 1734487

Опубликовано: 30.04.1995

Авторы: Гунина, Мандрыкина, Пимкина, Поярков

МПК: G03F 7/42

Метки: позитивного, состав, удаления, фоторезиста

СОСТАВ ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ПОЗИТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА, содержащий метилпирролидон, глицерин, алифатический амин и воду, отличающийся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, он содержит указанные компоненты при следующем соотношении, об.Метилпирролидон 17-82Глицерин 1-20Алифатический амин 0,01-25Вода Остальное

Номер патента: 1746195

Опубликовано: 07.07.1992

Авторы: Мандрыкин, Мандрыкина

МПК: F28F 1/32

Метки: радиатора, секция

...возможностиизгиба вертикальных стенок и коробленияоснований аркообразных выдавок путем25 упора жестких верхних частей выдавок аболее упругие податливые основания,Целью дополнительного изобретенияявляется повышение эксплуатационной надежности секций с увеличенным шагом30 оребрения радиаторных трубок путем компенсации упругих свойств элементов жесткости в точках контакта аркообразныхвыдааок.Поставленная цель достигается тем,35 что, в секции радиатора по авт,св, К1548644, содержащей верхний и нижнийколлекторы с опорными досками, трубки снасаженными на них пластинча 1 ыми ребрами, снабженными элементами жесткости,40 расположенными по периферии последнихи выполненными а виде расположенных накаждом ребре аркообразных выдавок, имеющих у...