Способ обработки стеклянных пластин

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТ ИЧЕСНРЕСПУБЛИК О 103346 Н 01 1. 2130 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР. ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ ТЕЛЬСТ АВТОРСКОМУ( С(56 ) 1. Пресс Ф. П, Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральныхмикросхем, И., "Советское радио",1978, с, 25,2. Ермолов В, И., Жильцов А. 8.Изготовление .металлических фотошаблонов.- "Электронная промышленность",1975,М 6, с. 46-47 (прототип).(Ь 4 )(57 ) .1. СПОСОБ ОБРАБОТКИ СТЕКЛЯННЫХ ПЛАСТИН преимущественно при изготовлении фотошаблонов, включающий химико-механическую полировкупластин, промывку их в деионизован,ной воде рытия, о что, с ц операцио повышени сение за водном р евых сое и нанесение защитноготли чающий сялью увеличения сроканого хранения пластинкачества обработки,итного покрытия проводстворе .четвертичных аинений вида ежпутемнанемони-. 32 26 аток,личачестве чет нений ис- иметилх .жирных катаминорид в к -угл Способ вдородный ос по и. , о т тем, что.в к ониевых аоеди алкилбензилд синтетически и С 1 т 2 в,либо ензиламмонийхл 02-0,03 мл н ющиися вертичных амм пользуют либо аммонийхлоридкислот фракци алкилдиметилб количестве 0, тиллированной л дис воды. ИОПИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕНИ1 ОИзобретение относится к производву полупроводниковых приборов, в частности к изготовление металлостеклянных фотошаблонов,Основными параметрами, определяющими качество фотошабгонов, яэляютсяточность получения размеров элементов топологии и дефектность.Эти два параметра зависят не толькоот технологического процесса иэготов.ления металлостеклянного фотошаблона, но и от качества исходного материала.Известен способ обработки стеклянных пластин, включающий шлифовку, полировку, отмывку, металлизацию и формирование фоторезистивногопокрытия 1.1,1.3 качестве исходного материалазаготовок для фотошаблонов используют известково-.силикатное листовоестекло, Большая дефектность поверхности стекла (царапины, сколы,дефекты изготовления и транспортирования, способность адсорбироватьпары и газы с образованием поверхностного слоя) обуславливает необходимость предварительной обработки(шлифовки, полировки ).Операция полировки предназначенадля удаления минимально нарушенногослоя т.е. именно она определяет,в конечном итоге качество поверхности пластин. После полировки пластины отмывают в травителях и в деионизованной воде, затем сушат, Междуоперациями полировки и отмывки нежелателен разрыв ео времени, так какпри длительном хранении отполированных и неотмытых пластин ухудшается качество их металлизации вследствие образования на их поверхностипленки, которую необходимо обязательно удалить,Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ, согласно которому стеклянныепластины предварительно обрабатывают для придания им определеннойгеометрической формы и размеров, азатем рабочую поверхность шлифуютполируют до получения минимальной ше.роховатости,После полировки стеклянные пластины,рромывают от полировальной суспензии и сушат.В данном способе, если плохо промыта поверхность пластин, то незначительное отклонение от режима про 331 бб 3цесса сушки приводит к появлениюдефектов в виде "присушки абразива",что удаляется только при повторном процессе полировки, В случае отсутствия указанного брака пластиныпоступают на отмывку в различных травителях и в деионизованной воде, азатем на сушку в парах растворителя.Перед металлизацией стеклянных плас 10 тин требуется тщательная очистка ихот органических и механических загрязнений,Зти жесткие требования к операцииотмывки предьявляются с целью получе.15 ния бездефектных маскирующих пленок,Кроме того, разрыв во времени междуукаэаннымиоперациями также недопустим, так как это ведет к браку,После очистки ппастины защищают20 от возможных загрязнений при кратковременном хранении-. (не более 2 ч )специальной пленкой лака,Нанесение защйтного покрытия и удаление его перед следующей операцией25 представляет собой дополнительныестадии в технологическом процес.се изготовления металлостеклянныхфотошаблонов 2 3.Недостатком известного способаявляется то,что он не обеспечивает получения стеклянных пластин-заготовок с длительным сроком хранения их между отдельными операциями вследствие того, что по истечении времени независимо от условий хра35нения и изготовления идет процесс выщелацивания,Цель изобретения - увеличение срока межоперационного хранения путем40 повышения качества обработкиПоставленная цель достигаетсятем, что согласно способу обработки стеклянных пластин, преимущественно при изготовлении фотошаблонов,включающем химико-механическую полировку пластин, промывку их в деионизованной воде и нанесение защитного покрытия, нанесение защитного покрытияпроводят в водном растворе четвертичных аммониевых соединений вида32 26угле водородный ост аток,При этом в качестве четвертичныхаммониевых соединений используютлибо алкилбензилдиметиламмонийхлоридсинтетических жирных кислот фракции6,1рибо катамин алкилдиметилбензиламмонийхлорид в количестве 0,020,03 мл на 1 л дистиллированной воды,4 0334 Отмывка,сука в. парах Матовый налет после 7-дневного срока хранения лировки, отвки, сушки 6 изопропипвого спи иванне створа ование Фобной т 70 бра идро ленк 3П р и м е р, Способ. обработки стеклоппастин следующий.После проведения операции полировки и промывки поверхности пластины от полировальной суспензии пластины обрабатывают в растворе; который .сообщает им гидрофобные свойства. Обработку гидрофобным раствором на операции полировки проводят. в обязательном порядке вместо сушки в термошкафу и 10 транспортировки в ванне с деионизованной водой, Можно ввести обработку поверхности пластины гидрофобным раст вором.и после обработки в травителях, когда срок хранения пластин будет составлять более 1 ч,В качестве материала, исгюльзуемого как гидрофобная защитная пленка,применяют водный раствор одного изпрепаратов алкилбензилдиметиламмонийхлорид (АБДИ-хлорйд) или алкилдиметилбензиламионийхлорид (катамин АБ) следующего состава; АБДИ или катаминАБ -0,03,ил на 1 л деинизованной или дис-. 25тиллировайной воды. Препараты АБДИ икатамин АБ ("РОС" ) представляютсобой четаертичные аммониевые соединения общей Формулык(сН ) Сн 2 С нис 1 зогде й - углеводородный остаток.Обезвоживающий раствор любого изназваснних препаратов готовят следующим: образом,0,02-0,03 мм добавляют на 1 л деи- Зонивованной или дистиллированной ) воды при 20-25 С, При концентрации0,04 мл для АБДМ-хлорид и 0,05 мл для бб акатамина АБ и выше наблюдается резкоеувеличение толщины гидрофобного слоя(поверхность становится маслянистой),что способствует загрязнению поверхности, При концентрации меньше .0,02 мл/л воды не происходит образования сплошной гидрофобной пленки.Обработку стеклянных пластин проводят на установке вытягивания при20-25 оС, скорость движения пластиниз раствора не более 5 см/мин, Указанная скорость обеспечивает сплошность и сохранность обволакивающейгидрофобной пленки на стеклянныхпластинах, При формировании гидрофобной пленки нв поверхности пластины происходит образование адсорбционных слоев, состоящих из асимметричных полярных молекул. При адсорбции образуется защитный гюотношению к внешнему воздействию слой,обусловленный изменением гидрофильно-гидрофобных свойств поверхности,Изменение свойств поверхности сгидрофобной пленкой рценивают послеоперации отмывки по углу смачивания,В таблице приведены результаты замеров угла смачивания.Обработка стеклянных пластин данным способом, а именно Формированиемгидрофобной пленки на поверхностистеклянных пластин вместо сушки в .термошкафу или транспортировки их вванне с деионизованной водой, значительно расширяет срок межоперационного хранения, сохраняя при этом полу.ценное качество полировки поверхности.110334 бб Продолжение таблицы б 3 1 мес То же 2 стеклаимеют 18 2 мес 70 царапиныСоставитель 3, милославскаяРедактор Н, Гунько Техред Т,фанта .Корректор А,Тяско Заказ Я 48 Л 3 Тираж 486 : Подписное ВНИИПИ Государственнного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Иосква, Ж, Раущская наб., д. 415