Способ контроля загрязнения фоторезиста микрочастицами
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1579204
Авторы: Гунина, Дынник, Комарова, Мандрыкина
Формула
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА МИКРОЧАСТИЦАМИ, включающий освещение кюветы с фоторезистом коллимированным световым излучением, определение количества микрочастиц в единице объема исследуемого фоторезиста, суждение по этому количеству о загрязнении фоторезиста, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности контроля за счет визуализации невидимых микрочастиц, в исследуемый фоторезист до освещения добавляют поверхностно-активное вещество алкилбензилдиметиламмоний хлорида общей формулы
[CnH2n+1 N+(CH3)2CH2C6H5] Cl-,
где n составляет величину в пределах 10 18, в количестве 0,02 0,2% объема фоторезиста, и по истечении интервала времени 3 5 мин определение количества микрочастиц в единице объема осуществляют с помощью микроскопического наблюдения фоторезиста путем подсчета числа частиц, попавших в поле зрения в течение заданного интервала времени.
Описание
Целью изобретения является повышение надежности контроля за счет визуализации невидимых частиц.
Способ контроля загрязнения фоторезиста микрочастицами осуществляют следующим образом.
В отфильтрованный фоторезист добавляют поверхностно-активное вещество (ПАВ) алкилбензилдиметиламмоний хлорида общей формулы
[CnH2n+1N+(CH3)2CH2C6H5]Cl-,
где n 10-18 катамина АБ в количестве 0,02-0,2% от объема фоторезиста. Далее дают раствору отстояться в течение 3-5 мин для обеспечения гомогенности.
Приготовленный таким образом фоторезист помещают в оптическую кювету и освещают коллимированным световым пучком, например излучением гелий-неонового лазера, после чего визуально посредством микроскопа подсчитывают число частиц, попавших в поле зрения микроскопа в течение заданного времени. По этому числу частиц судят о загрязненности фоторезиста микровключениями.
В фоторезисте могут находиться скрытые микрочастицы: кристаллиты или их ассоциаты, которые недоступны обычным оптическим способам обнаружения. При добавке ПАВ катамина АБ эти скрытые частицы приобретают оболочки из ПАВ, в результате чего происходит укрупнение этих частиц и последующее объединение ("слипание") их, т.е. образование конгломерата ранее невидимых частиц. Таким образом, добавка катамина АБ позволяет укрупнить скрытые частицы и тем самым визуализировать в пучке коллимированного излучения, что обеспечивает повышение надежности контроля при отбраковке фоторезиста.
Использование концентрации добавки катамина АБ в количестве менее 0,02 об. не обеспечивает выявления скрытых частиц. Увеличение концентрации добавки катамина АБ в количестве более 0,2 об. нецелесообразно, так как наблюдаемых в микроскоп частиц становится так много, что их подсчет затруднен.
Использование изобретения позволяет гарантированно использовать в литографическом процессе качественный фоторезист, что обеспечить воспроизводимость литографического процесса, т.е. повысит процент выхода годных изделий.
Изобретение относится к контрольно - измерительной технике, в частности к оптическим способам контроля загрязненности жидких сред, и может найти применение в электронной промышленности при контроле качества фоторезистивных материалов. Цель изобретения - повышение надежности контроля за счет визуализации невидимых микрочастиц. К фоторезисту добавляют поверхностно-активное вещество алкилбензилдиметиламмоний хлорида в количестве 0,02 - 0,2% объема фоторезиста, затем после паузы продолжительностью 3 - 5 мин, фоторезист освещают коллимированным световым пучком и осуществляют микроскопическое наблюдение фоторезиста, подсчитывая число частиц, попавших в поле зрения за определенное время. По этому числу судят о загрязнении фоторезиста. Повышение надежности достигается тем, что добавка ПАВ приводит к адсорбции его на микровключениях и "слипании" нескольких частиц в одну крупную, в результате чего увеличиваются размеры микровключений, что делает возможным оптическое обнаружение ранее невидимых частиц.
Заявка
4448174/25, 28.06.1988
Гунина Н. М, Дынник А. П, Мандрыкина Г. А, Комарова Т. С
МПК / Метки
МПК: G01N 15/02
Метки: загрязнения, микрочастицами, фоторезиста
Опубликовано: 19.06.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1579204-sposob-kontrolya-zagryazneniya-fotorezista-mikrochasticami.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля загрязнения фоторезиста микрочастицами</a>
Прибор для определения весовых количеств жидкости путем измерения ее объемов
Номер патента: 14172
Опубликовано: 31.03.1930
Автор: Тарнопольский
МПК: G01F 15/02
Метки: весовых, жидкости, количеств, объемов, прибор, путем
...жидкость, протекающая по сливной трубке. К сосуду 4 посредством держателей 1 2 прикреплена трубка 14, оканчивающаяся внизу небольшим баком 15 с краном 16, От трубы 14 отходят под каждую слввнуэ трубку воронки 17: Ко дну сосуда 4 прикрепден кран 18 для управления подачей жидкости нз бака 1. Рядом, с краном 18 к сосуду 4 прикреплен другой кран 19 с трубой 20 для выпуска жидкости в соответствующий сосуд. В шейках 21, припаянных ко дну сосуда 4 ходит рейка 22 с двумя группами 23 и 24 зубцов, находящимися на определенном расстоянии друг от друга. Когда рейка из положения, изобра женного на фиг. 1, передвигается в направлении, указанном стрелкой, зубцы 23 сцепляются с зубчаткой 25, надетой на кране 19. Зслед за этим зубцы 24 сцепляются с...
Способ изготовления абразивного инструмента
Номер патента: 1815196
Опубликовано: 15.05.1993
Авторы: Коротовских, Курдюков, Попов
МПК: B24D 3/14
Метки: абразивного, инструмента
...и м е р. Предложенным способом изготавливали алмазные шлифовальные круги 11 А 2-45 150 х 10 х 3 (объем рабочего слоя Чр.с. " 13,2 смз) на основе серийной органической связкиВ 2-01. Состав абразивной смеси для изготовления рабочего слоя: алмазный порошок АС 4 100/80 (плотность /-. 35 г/см, насыпная плотность рн = 1,5зпусм 2566; сеееующее фенопьное порою. кообразное СФПА (р = 1,25 г/см, рл = =0,5 г/смэ) 25%; медный порошок ПМ ( р= =8,94 г/смз; рм = 1,7 г/смэ) 20%, поуошок олова П 01 (р= 7,3 г/см, рру = 3,5 г/см ) 15%; карбид бора зернистостью 63/50 мкм (р= 2;5 г/см, рн = 0,8 г/см ) 15, Дозированный обьем смеси рабочего слоя Чд,с, составляет 40,13 см и определен по известной форму- ле Чд.с. = Чр.с,Ь " - ,рн где Чр.с, - объем рабочего слоя...
Станция для погрузки сыпучих материалов в контейнеры пневмотранспортных установок
Номер патента: 893749
Опубликовано: 30.12.1981
Авторы: Иванов, Каврелишвили, Папашвили, Швелидзе
МПК: B65G 51/26
Метки: контейнеры, пневмотранспортных, погрузки, станция, сыпучих, установок
...(не показано) и установлены между несущими опорами 12 и придерживающими опорами 13, укрепленными на раме 4.Труба 11 выполнена с люками, перекрывающими шарнирно закрепленными на трубе 11крышками 14.Для вращения поворотной трубы 11 и открытия крышки 14 погрузочного люка имеется привод (не показан). Крышка 14 одним концом шарнирно закреплена на на 40 ружной поверхности поворотной трубы, а на другом имеет ролик 15, перемещенный по профильной направляющей 16, жестко закрепленный на раме 4.Перед крышкой 14 по бокам со стороны 45 профильной направляющей 16 смонтированы кронштейны 17.На каждом кронштейне укреплен ролик 18, В каждом дозаторе 3 в нижней внутренней части на стороне, противоположной направлению движения поворотной трубы 11,...
Устройство для измерения давления в потоке газа
Номер патента: 991203
Опубликовано: 23.01.1983
Автор: Эткин
МПК: G01L 19/00
...врабочих условиях поддерживается равным расходу, на котором проведенаградуировка устройства.При использовании устройства дляизмерения статического давления выходной конец трубки 1 располагаетсяв потоке спутно, струйки продуваемогогаза, истекающего из сопла 3, установленного на выходе иэ трубки 1, параллельны контролируемому потоку,и,следовательно, статические давленияна срезе выходной кромки, и в томже сечении потока равны. Следует Лишьпредупредить возможность возникновения скачков уплотнения на выходе газаиэ сопла 3.Это может быть достигнуто путемустановки дросселя 9 с критическимсечением. Тогда при любом давленииперед дросселем 9 скорость звука навыходе из сопла 3 не будет достигнута.Наличие сопла 3 позволяет получить в выходном...
Способ измерения вязкости жидкости
Номер патента: 1394107
Опубликовано: 07.05.1988
Авторы: Городкин, Зальцгендлер, Кордонский, Прохоров, Хусид, Шульман
МПК: G01N 11/00
...измеряемых вязкостей.Сущность способа достигается пуем введения в жидкость сферическихерромагнитных частиц (в случае измеения вязкости несущей среды ферроуспензий необходимость в такой опеации отпадает), воэдействчя на неемпульсным магнитным полем и измереии времени релаксации намагниченноси (время, в течение которого намагиченность изменяется от 0 до стаионарного значения в поле), а вязость рассчитывается по эмпирическойормуле=0,353 р; коэффициент, определяемыймагнитными свойствами частиц ( Х - магнитная восприимчивость частиц, р,=1,26 30х 10 Гн/м - магнитная прони цаемость вакуума),Отличительным признаком Ферросус,пензий как магнитного материала; яв,ляется механическая подвижность носителей магнитного момента - частицдисперсной...
Предыдущий патент: Прямоточный реактивный двигатель летательного аппарата
Следующий патент: Способ изготовления пастообразных мясных продуктов из мяса птицы механической обвалки
Случайный патент: Устройство для управления процессом приготовления вискозы