Патенты с меткой «микрочастицами»

Номер патента: 1579204

Опубликовано: 19.06.1995

Авторы: Гунина, Дынник, Комарова, Мандрыкина

МПК: G01N 15/02

Метки: загрязнения, микрочастицами, фоторезиста

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЗАГРЯЗНЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА МИКРОЧАСТИЦАМИ, включающий освещение кюветы с фоторезистом коллимированным световым излучением, определение количества микрочастиц в единице объема исследуемого фоторезиста, суждение по этому количеству о загрязнении фоторезиста, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности контроля за счет визуализации невидимых микрочастиц, в исследуемый фоторезист до освещения добавляют поверхностно-активное вещество алкилбензилдиметиламмоний хлорида общей формулы[CnH2n+1 N+(CH3)2CH2C6H5] Cl-,где n составляет величину в пределах 10 18, в количестве 0,02 0,2% объема...