Патенты с меткой «совмещения»

Номер патента: 1315346

Опубликовано: 07.06.1987

Авторы: Бигун, Волощак, Луцкив, Музычин

МПК: B42C 7/00

Метки: запечатанной, картонной, крышкоделательной, ленты, линией, машине, поперечной, рубки, совмещения, сторонкой

...тягу 9 передается воз вратно-поступательное движение на каретку 1 и толкатели 3. Последние при своем рабочем ходе выводят из магазинов 5 на обложечную ленту 2 картонные сторонки 4. Зажимное устройство каретки 1 захватынает обложечную ленту вместе с приклеенными к ней картонными сторонками и протягивает ее на один шаг. Во время движения ленты фотоэлектрический датчик 10 производит контроль положения метки 11, отпечатанной на обложке.В исходном положении вся система настраивается на формат так, чтобы контрольная метка совпадала с линией ножа 18 поперечной рубки, фотоэлектрический датчик 11 находился против другой контрольной метки, т.е. на расстоянии, кратном шагу каретки от ножа 18 рубки. Фотоэлектрический датчик точно фиксирует...

Номер патента: 1316851

Опубликовано: 15.06.1987

Авторы: Левин, Плоткин, Рабинович, Розенфельд, Тепляков, Харитонов

МПК: B42C 11/04

Метки: блоку, книжному, обложки, приклейки, совмещения

...об разом, что обложка 30 подходит к зоне совмещения с книжным блоком всегла раньше блока. При подходе каретки 2 к упору 15 лвухплечий рычаг 7 от кулака 8 начинает поворачиваться против часовой стрелки, 5 плавно замедляя каретку 2. В момент соприкосновения каретки 2 с упором 15 абсолютная скорость каретки 2 равна нулю. При подходе каретки 2 к упору 15 горка 18 отволит разгоняющую собачку 12 от зубьев храпового сектора 13 и последний в период замедления и выстоя каретки 2 свободно проходит нал разгоняющей собачкой 12.Пружина 5 в периол замедления и выстоя каретки 2 растягивается. При выстое каретки 2 ролик б отходит от каретки 2.Упор 15 улерживает каретку 2 на месте ло момента подхода книжного блока к щупу 25.Блок, отклоняя шуп 25, через...

Номер патента: 1324810

Опубликовано: 23.07.1987

Авторы: Герасимов, Ремесников, Цепанов

МПК: B23K 37/04

Метки: кромок, обечаек, сварку, совмещения

...Корпус 1 снабжен штангой 12, на внешнем конце которой н опоре 13 смонтирован налс коническим ведомым зубчатым колесом 15. На противоположном конце вала .14 закреплено зубчатое колесо 16,взаимодействующее с зубчатым колесом11. Вращение вала осуществляется отрукоятки 17 через коническое ведущее 35зубчатое колесо 18, смонтированноев дополнительном автономном корпусе19. Автономный корпус 19 размещен наштанге с возможностью поворота иФиксации винтом 20,Поворот автономного корпуса 19 относительно штанги 12 создает удобные 2условия при работе с устройством,так как позволяет пользоваться рукояткой для выдвижения упора н любомположении относительно иэделия.Введение н устройство штанги 12 сопорой 13 и дополнительного автономного корпуса 19...

Номер патента: 1337660

Опубликовано: 15.09.1987

Авторы: Бубенцов, Спивак

МПК: G01C 1/06

Метки: делений, диаметрально, изображений, лимбов, приборов, противоположных, совмещения, угломерных

...отсчетными двухсторонними системами,Цельзобретения - повышение точности измеренияНа чертеже показана оптическаясхема устройства,Оптическая схема устройства включает в себя плоские отражатели 1 и 2,объективы 3, обратное угловое зеркало дит через верхнюю половину другогоклина, Так как оборачивание изображений в компенсаторе осуществляетсятолько в плоскости, перпендикулярнойглавным сечениям клиньев, до действие каждого из них через призму таково, что каждый из них оптическидополняет по ходу лучей до плоскопараллельной пластины в двух взаимноперпендикулярных направленияхПри выходе из компенсатора направ"ление осей проекций сохраняется ипучки лучей далее проходят в направлении разделительной призмы 10 свходной и выходной гранями, усеченными...

Номер патента: 1352432

Опубликовано: 15.11.1987

Авторы: Гульбинскас, Рагульскис, Шаткус, Шержентас

МПК: G02B 6/24

Метки: волокон, оптических, совмещения

...4 Изобретение относится к оптико-волоконной технике и может быть использовано в качестве позиционирующего привода в устройствах для сборки элементов световодных трактов.Цель изобретения - упрощение устройства и уменьшение энергопотребления,На чертеже показано предлагаемое устройство.Устройство содержит основание 1, на котором в направляющих 2 и 3 качения установлены два подвижных элемента 4 и 5 с держателями 6 и 7 для крепления оптических волокон. Перпендикулярно основанию 1 установлена свободно вращающаяся ось 8. На оси 8 в своем центре симметрии жестко закреплен пьезокерамический движитель 9, который установлен между подвижными элементами 4 и 5 и поджат к ним с помощью спиралеобразной пружины 10, один конец которой прикреплен к...

Номер патента: 1353593

Опубликовано: 23.11.1987

Автор: Щелев

МПК: B23K 37/04

Метки: продольного, сварку, совмещения

...На корпусе установлены фиксатор 9 для зажима 5,подпружиненный пружиной 10, закрепленной винтом 11 в резьбовом отверстии 12 корпуса 1. 45Устройство работает следующим образом. При монтаже стояков газоснабжения, центрального отопления и т,д.с верхнего этажа стояки верхнего этажа крепятся к стенке, а на нижерасположенном этаже стояки соединяются сопущенными с верхнего этажа стоякамис помощью предлагаемого устройства.Для этого захват 2 устройства помещают на монтируемый стояк под компенсирующим стаканчиком, который надет на конец трубы, опущенной с верхнего этажа. Зажим 5 надвигают рукойна трубу, опущенную с верхнего эта 3 2жа. Направленные вниз скобки 8 приэтом изгибаются в сторону и позволяют зажиму 5 разместиться на трубе,За счет...

Номер патента: 1383275

Опубликовано: 23.03.1988

Авторы: Карпенко, Королев, Нарышкин

МПК: G03B 35/00

Метки: изображения, кодированного, линзовым, растром, совмещения

...общий вид; на фиг. 2 и 3 - соответственно поперечное и уг ловое отклонения от точного совмеще Подставляя значение б из (4) в(5) Оптимальным значением Я является величина, равная 3/4 Т, что позволяет использовать предлагаемое устройство при максимально возможных допусках. Для получения заданного значения Б= =3/4 Т соотношение непрозрачных и прозрачных элементов системы линий 3 должно составлять 1/3.Учитывая изложенное, окончательная формула, связывающая размеры фиксированной линии наведения, параметры линзового растра и. системы линий, образующих муаровые полосы, а также допуск на несовмещение, примет вид 3(Т+р)в=3/4 Т учитывая формулу (1),(6) 3/4к -2 к Е р Р(7) Таким образом, получают все необходимые расчетные данные для построения...

Номер патента: 1391962

Опубликовано: 30.04.1988

Автор: Бобошко

МПК: B43L 5/00

Метки: изображений, проецирования, совмещения

...возможно наложениеодного трансформированного изображения, например шрифтового текста, надругое трансформированное иэображение, например рисунок,Для этого эластичную пленку 9 снанесенным изображением; напримершрифтовым текстом, закрепляют на под 10 вижных гайках 4. Гайки 4 посредствомвинтов 5, вращаемых от рукояток б,передвигаются по переставным направляющим 3, которые закрепляются вгнездах 2.1 Е, Продольное растяжение пленки 9достигается за счет перемещения направляющих 3 по гнездам 2. Диагональное трансформирование шрифтов напленке 9 достигается за счет нерав 20 номерного растягивания пленки с помощью перемещения подвижных гаек 4.При включении осветительного устройства 10 на накладной экран 11 проекцируются совмещенные трансформи...

Номер патента: 1406011

Опубликовано: 30.06.1988

Авторы: Гарцман, Плоткин, Рабинович, Розенфельд

МПК: B42C 9/00

Метки: блоку, книжному, обложки, приклейки, совмещения

...транспортером 23 и опускание прижима 4 осуществляются всегда строго по циклу, обложка выстаивает, заторможенная прижимом, всегда в одном и том же положении.При выстое обложки 21 под действием прижима 4 присосы 3 проскальзывают по обложке. Подошедший книжный блок отклоняет щуп 13, Щуп 13 через тросик 14 отклоняет защелку 12, освобождая кулак 9. Кулак 9 под дейст вием пружины 11 поворачивается по часовой стрелке и, вступая в контакт с поверхностью диска 10, поднимает прижим 4, освобождая обложку 21. Обложка 21 захватывается присосами 3 и ведется в зону приклейки к книжному блоку. Так как положение щупа 13 определяется положением выстаивающей , под прижимом 4 обложки 21, а положе" ние обложки определяется циклограммой работы кулака 6, ,...

Номер патента: 1430483

Опубликовано: 15.10.1988

Авторы: Ильичев, Новикова, Редина, Станович

МПК: E04G 21/18

Метки: монтаже, осей, разбивки, совмещения, шаблон

...рабочем положении за монтажную петлю 10 панели перекрытия 11 или стеновой панели2. Горизонтальный элемент 1 снабжен секцией 13, шарнирно установленной на нем с возможностью откидывания и фиксации за счет шаровой загцелки 14. Секция 3 выполнена, как и горизонтальный элемент 1, с разметочными окнами 2 и внутренними отверстиями 3 для шнура-причалки 4 и является шарнирным индикатором. Шаблон работает следующим образом.Посредством захвата 9 шаблон закрепляют за монтажнуго петлю 1 О панели перекрытия 1 или стеновой панели 12 нижнего яруса (этажа). Монтажник движениями но горизонтали н вертикали устанавливает горизонтальный элемент 1 и вертикальный элемент 5 в положение соприкосновения с вертикальной гранью 15, смонтированной в нижнем ярусе...

Номер патента: 1123399

Опубликовано: 07.11.1988

Авторы: Власенко, Золотов, Щербаков

МПК: G02B 6/36

Метки: световодов, совмещения

...корпусаи имеет эксцентриситетное и наклонное к своей оси отверстие, Внутриэтого отверстия проходит рычаг 3,большее плечо которого оканчиваетсявнутри муфты ч 1 паровым шарниром 5.Малое плечо рычага оканчивается шаровым шарниром 6, Сам рычаг закрепленв торцовой части корпуса на шаровомшарнире 7,К выступающей из корпуса частипервой в"гулки жестко прикреплена вторая часть 8 составной гайки, представляющая собой, например, цангу,зажатую на цилиндрической поверхности первой втулки. Первая часть 9 составной гайки связана с второй частьюс возможностью раздельного вращения и совместного перемещения вдоль осиУнапример, с помощью кольцевых проточек и буртиков, каждый из которых заходит. в проточку другой части составной гайки, и имеет...

Номер патента: 1438024

Опубликовано: 15.11.1988

Авторы: Бражников, Марков, Полуэктов

МПК: H04N 13/00

Метки: изображений, совмещения, стереопары, телевизионной

...навигации и наведения,когда одна СТПК обеспечивает получение так называемой карты Фактического курса, а другая - карты заданного курса, при этом карта фактического курса представляет, например,изображение местности, над которойдвижется летательный аппарат, а карта заданного курса - заранее подготовленное изображение той же местности, Масштабы карт фактического изаданного курсов могут существенноотличаться один от другогоСовмещение стереоизображений объектов вэтом случае требует измерения и компенсации не только их линейных смещений одного относительно другого,но и различий в размерах, масштабах,При этом случайное изменение во времени линейных смещений изображенийи их относительных масштабов обусловливает необходимость непрерывной...

Номер патента: 1453360

Опубликовано: 23.01.1989

Авторы: Кобызев, Лукин, Пантелеев, Ружицкий

МПК: G03B 27/44

Метки: совмещения, экспонирования

...на Фиг.1.Устройство содержит основание 1, пульт 2 управления, осветитель 3 с фотодатчиком 4 контроля освещенности, расположенные на.основании 1, подающую и приемную кассеты 5 и б для подВключается автоматический цикл работы устройства, Привод 24 поворачивает.магазин 20 до совмещения. позиции заданного фотошаблона с транспортирующим устройством 12. Срабатывает затвор 15 и фотошаблон под действиемсилы собственного веса поступает натранспортирующее устройство 12, ко" торое подает Фотошаблон 1 О в блок19 совмещения, где он фиксируется,После фиксации фотошаблона включает"ся механизм совмещения (не.показан).Одновременно из.подающей кассеты 5подложка 7 под действием. силы собственного веса поступает,на направляющий склиз 8, где обдувается...

Номер патента: 1455223

Опубликовано: 30.01.1989

Авторы: Бородин, Строев

МПК: G01B 3/38

Метки: агрегатов, вращения, осей, относительного, разъема, совмещения, сопрягаемых, узлов

...1 на друг.юпозицию, где производят соответствующую разметку другого отверстияпод ось относительного вращения стыкуемых узлов разъема агрегатов и т,д.Формула изобретенияУстройство для совмещения осейотносительного вращения сопрягаемых узлов разъема агрегатов, содержащее балку с размещенными на нейкронштейнами с монтажными отверстиями, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью повышения точности совмещения осей, оно снабжено шаблоном, выполненным с двумя. отверстиями, одно из которых предназначенодля совмещения с монтажными отверстиями кронштейна, и кондуктором сотверстием на одном конце, установленным на балке с возможностью регулирования по высоте в плоскости,перпендикулярной оси балки, и перемещения вдоль оси балки, отверстиекоторого...

Номер патента: 1472859

Опубликовано: 15.04.1989

Авторы: Бывальцев, Зейликович, Спорник

МПК: G02B 7/00, G03H 1/02

Метки: голограмм, совмещения

...снабжена пружинным прижимом одной из голограмм, рама углового раз-.ворота выполнена цилиндрической, дополнительно введена червячная передача, червяк которой установлен на одной из рам прямолинейного перемеще"ния, а шестерня - на цилщцрическойраме, а цилиндрическая рама снабженапружинным прижимом другой голограммы. шнеи амм 17ные винты 18,Устройство раб ает следующим образом.Одна из голограмм 16 устанавливается в полураму 2 и фиксируется спомощью пружинного прижима 12, Другаяголограмма 17 устанавливается на ци;тлиндрической раме 9 г-углового разворота и фиксируется пружинным прижимом 13. Полурама 2 с голограммой16 соединяется с основанием 1 с помощью стержней 14 и пружинных прижимов15. 10 стировочный зазор между голо- граммами 16, 17...

Номер патента: 1507557

Опубликовано: 15.09.1989

Автор: Щелев

МПК: B23K 37/04

Метки: продольного, сварку, совмещения

...полки скобы, благодаря этому расстояние между игольчатыми поверхностями на входе в скобу 5 больше, чем в глубине, Сверху на зажиме 5 расположен подпружиненный пружиной 8 фиксатор 9, фиксирующий зажим в двух положениях (при повороте на 180 ). Пружина 8 укреплена винтом 10 на корпусе, имеющем резьбовое отверстие 11.Устройство работает следующим образом.При монтаже с верхнего этажа, например, системы газоснабжения или отопления трубы на верхнем этаже 45 закрепляют и опускают свободным концом на нижерасположенный этак. Монтируемый стояк вставляют в отверстие перекрытия, и обращенный вверх компенсирующий стаканчик надевают на конец трубы, опущенной с нерхиего этажа. Стаканчик снизу захватывают вилкой 2 устройства, а на верхнюю трубу,...

Номер патента: 1525104

Опубликовано: 30.11.1989

Авторы: Алейников, Корона, Лебедева, Мирзабейли, Степанец

МПК: B65G 69/28

Метки: рампой, совмещения, средства, транспортного, уровня

...рцн);(шй ндпрдвляюшсй 8 с В(рик,(,ьныч л )(с кц 1, улгднцв(енньл Но в)Н.(ьнцп цси цп(ры;) Г.,В (цр(н цг норы 5 ,1(н: (дкрс(, (ныпоры 9 и0,1. (и 1.дн(ц с 1(с ГВН 5 ( нижнил( р- 25 (цл(,5. О(цр)п,п и П,нги рцв ) и 1 О рпц,+,сны 1 д д п(ци Выя)(, 1,.(я синрц- НИЗ)(ПНИ сиг ( НЯ )1( )(ЦВ Л( 1(И.ВЦ СН( ,+ енц (икци 1 1, (, К(ци счц)1(и( рни(л 1, .и 1 (1)1 1, к)ны,.1:0 рц ц сцс;11 "и 1 5 пцкдл(и (илц.Ы (И.(И.,Вси в, р. 1;е с. с з к) п)ил цбрдцл(,1) )((( 3 (1кс р. (,с 1 и ц 1 -1)1и .с н нь(ч, 1)и 1, ( , вн Гсинс рцч ,) ;(.Ии;(ц,)л Нцл ( 5 )л;1(11)ри л( рь ишнил,к )лрдинс(,с впц.(цжс ни( 11 цслс цс 1)(нонки 1 р И(11 цгц ср(сВГ) Вк.к)ч)1 К)1( Я И,)ВК( (ПС И Н )Ь(, П(1)КИ КЛ ЦРЫ ПЦ,.пил;)к; (кп )(н)(Г; (Низ р;х(ы 1 р,)(спор(ц( ,. Кц(црдя...

Номер патента: 1556931

Опубликовано: 15.04.1990

Авторы: Королев, Нарышкин

МПК: B41M 3/06, G03B 35/00

Метки: воспроизведении, изображения, красок, полиграфическом, совмещения, стереоскопического

...штрихи 9, параллельные линиям растра 3 и период расположения штрихов 9 равенпериоду линий растра 3. Цена деления штрихов измерительной шкалы равна 0,03 мм. Число линейных шкал в устройстве равно числу применяемых красок. На фиг. 2 показаны линейные шкалы 1 при четырех применяемых красках (основная а и дополнительные б, в, г) с учетом разной толщины штрихов в зонах 6 - 8 и различным их расположениемпо вертикали. Для совмещения линейных шкал предусмотрены приводные кресты 10.Устройство работает следующим образом.Линзовый линейный растр 3 (фиг. 1) накладывают на линейную шкалу 1 и поворачивают в плоскости шкалу до положения, при котором муаровые полосы становятся параллельными оптическим линзам 4. На фиг. 1 муаровые полосы...

Номер патента: 1559098

Опубликовано: 23.04.1990

Авторы: Брюхов, Нургалин, Телешов

МПК: E21B 19/14

Метки: замками, подачи, поперечного, разъединения, совмещения, соединения, штанг

...работает следующим об"разом,Перед наращиванием (сборкой) бурового става,.устройство находится в позложении 1 ("кассета"), захваты 2 и 3,удерживают предварительно захваченную очередную штангу 41, расположен-.ную в кассете, ведомая рукоять 8 находится в положении 1 упора, в то-.(фиг,5) и толкатели 23,24, пружины 25и 26 сжаты, при этом шар 35 расположен на уровне контактных поверхностейнеподвижного основания 9 и ведомойрукояти 8 и блокирует эту пару звень-,ев, исключая самопроизвольное перемещение рукояти из положения 1 относительно основания, например, поддействием вибрации, возникающей прибурении, Штачга 38 бурового става зафиксирована узлом 37 так, что еехвостовик 39 находится в положении,необходимом для соединения с гнездом...

Номер патента: 1567538

Опубликовано: 30.05.1990

Авторы: Мухина, Попов, Смирнова

МПК: C03C 17/22

Метки: жидкокристаллических, индикаторов, пластин, совмещения, стеклянных

...стеклянные пла тини с электродами и реперными знаками из оксидаъиндия толщиной - 600 А фторопластовой палочкой наносят капли травителя в область реперных знаков таким образом, чтобы травитель не попал ца разводку электродов. Воздействие травителя продолжаицциатаров. Целью изобретения явля -ется повггшегие точцостц совмещения,1 ля этого в .пособе совмещения стеклянных гластин жидкокристаллических индикаторов путем Лормования на нцх одновременцо реперных знаков ц электродов ц совмещения под микроскопом реперных знаков перед последней проводят локальную обраб 1 тку реперцыхз:гаков в цлавиконс й кисоте с концентрацией 0,7-25,2 моль/л и течениевремени, определяемогс цз соотггоиеги2, (С с 12, б, г.це С - концентрацияНг (моль/л); , -...

Номер патента: 1593869

Опубликовано: 23.09.1990

Авторы: Герасимов, Ремесников, Цепанов

МПК: B23K 37/04

Метки: кромок, обечаек, сварку, совмещения

...пользоваться рукояткой для выдвижения упора 13 в любом положении относительно иэделия.Устройство работает следующим образом.Через зазор между совмещаемыми кромками обечайки 4 вводят стяжной элемент 2, упирая выступ 3 в одну из кромок обечайки 4. Перемещая установленный корпус 1 по поверхности обечайки, вводят заплечики 5 стяжного элемента на опорные площадки 1 О кронштейнов 9, В этом положении стяжной элемент 2 фиксируется на корпусе 1 фиксаторами 11. Вращая рукоятку 23 (в рабочем направлении), передают вращение зубчатому колесу 24 и зубчатому колесу 18, которое с помощью выступов 19, взаимодействующих с выступами 20, приводит во вращение подпружиненнуЬ втулку 21 и вал 17, Вал 17 вращает зубчатое колесо 22, взаимодействующее с...

Номер патента: 1552940

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Баргий, Дзян, Мацкевич

МПК: G03F 9/00, H01L 21/312

Метки: знаков, подложке, полупроводниковой, совмещения, формирования

...позволяет получить поверхностьуглублений с раэвитыл рельеФом. Этоспособствует поглощению света, падающего на знаки совмещения, и повышает их контрастность. 3 ил. П р и м е р. Кремниевые подложки ,1 (см,. Фиг. 1) диаметром 100 мм ориентацией (100) и (111) оисляются до толщины окисла 500 А или 1000 А. На часть пластин наносится слой нитрида кремния толщиной 1500 А. Насу 2 для травления знаков совмещения получают методом проекционной Фотолитографии, Размер ячейки знака совмещения Зк 3 или 5 х 5 мкм. Обработку пластин водным раствором, содержащим 0,014)авитель В.Руед Идидыке иа е ю ю е ю а Со Те едактор Т.Иагова аа а Заказ 4333 ВНИИПИ Госу Тираж 461комитета поМосква Ж"3 Подписноезобретениям и открытияРаушская набе д 4/5 ГКНТ СС...

Номер патента: 1675833

Опубликовано: 07.09.1991

Авторы: Башлай, Кобызев, Омельченко, Тоцкий

МПК: G03B 27/02, G03B 27/44

Метки: подложки, совмещения, фотошаблона, экспонирования

...валов 38,на которых сидят шарикоподшипники 36(фиг, 2).Подвижная рама 33 вместе с зафиксироО ванным на ней фотошаблоном 22 начинаетколебаться на шарикоподшипниках 36, вращающихся эксцентрично и колеблется дотех пор пока базовые знаки 77 на фотошаблоне 23 не совместятся с базовыми знаками5 в датчике 79 базирования.Механизм совмещения в предлагаемомустройстве аналогичен механизму Я 2 МЗ,859, входящему в установку ЭМ - 552 А,Принцип работы механизма совмеще 0 ния серийной установки ЭМА Я 2 М 3.859основан на преобразовании аналогичныхсигналов фотодиодов, реагирующих на световой поток, проходящий через.базовыезнаки фотошаблона в положительные им 5 пульсы переменной скважности при отсутствии совмещения,фотошаблона с егобазовым положением...

Номер патента: 1611158

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Самойлиди

МПК: G03F 7/20, H01L 21/312

Метки: маске, подложки, проводящего, рисунка, рисунком, совмещения

...поверхности другого совмещаемого обьекта ортогонально оси прецессии первого угол между плоскостями, а следовательно, и емкость конденсатора, будут постоянными по времени, цто позволяет использовать для измеоений мостиковую схему.Схема 9 узла контроля непараллельности рабочих поверхностей маски 1 и подложки 2 и микрозазора между ними постоянно следит за меняющейся емкостью конденсатора и совместно с блоком 3 обработки и управления вырабатывает и подает управляющие сигналы на двигатели б, добиваясь при этом такого положения подложки 2, когда величина электрической емкости конденсатора равна определенной наперед заданной велицине (эталонной емкости) и величина ее изменений отклонений от эталонной величины) за период прецессии ми...

Номер патента: 1501759

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Самойлиди

МПК: G03F 9/00

Метки: маски, подложки, рисунка, рисунком, совмещения

...кремния, легированного бор2-3 мкм. Топологический рису6 на маске 3 выполнены из слощиной 0,6 мкм, Каждая меткамер 5 х 200 мкм.На подложке 1 формвиде чередующихся полслоев противоположного1501759 вского излучения, и величина электрического тока, протекающего через метки 5, минимальна.П р и м е р 2. Все операции выполняют как в примере 1. Метки 5 на подложке 1 выполняют в виде многослойной структуры, состоящей из чередующихся проводящих и пепроводящих слоев. В частности, такая структура может состоять из слоя кремния, разделенного с кремниевой подложкой слоем окиси кремния толщиной 30-40 А. Составитель В.Рубцов Редактор Н.Каменская Техред М.Моргентал Корректор М.ДемчикЗаказ 4644 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по...

Номер патента: 1618158

Опубликовано: 30.11.1991

Автор: Генцелев

МПК: G03F 7/20, H01L 21/31

Метки: маске, подложки, рисунка, рисунком, совмещения

...критическому углу, соответствующему явлению полного внутреннего отражения электромагнитного излученияот границы рабочая поверхность маски -вакуум зазора.Для получения максимальной интенсивности излучения на выходе каждого светопровода угол 3 между ограничивающимиплоскостями призм 8 определен из законаСнелла/3 = дГС 1 П (П 1/П 2 З 1 ПГХ)где п 1 и п 2 - соответственно показателипреломления материала маски 1 и подложки2.Нормальчое по отношению к входнымграням призм 7 направление хода электромагнитного излучения от источника 5 задают оптическим блоком 9, расположенным напути хода лучей от источника 5 к призмам 7.Устройство для совмещения рисунка намаске с рисунком подложки работает следующим образом,Излучение от источника 5 падает...

Номер патента: 1529973

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Торопов

МПК: G03F 9/00

Метки: знак, маска, подложки, реперный, рисунка, рисунком, совмещения

...с концами элементов 85 Вр,1, а,01 рсшетки на мд.;ке;лектри- ЯГчески =оединены с третьей контдктой пло,сДКОй ,4 ЛЛЯ ЭТОГО О КРаЯМ МЕТК На ПОДл жхе; ьг ол ены элекгрогроводящие шины 1 О, которые легиродд ы аналогично кд;лам 3 металлические шины 1 Дляизе)ляции легированных шин 10 и летдлл 4 ческих шин 4, 5 между ними мегодом ло,:. нного хл 1 ческого оксид ровд 44 ЯГ,ГРМРОЕ На И.ОЛИРУЮЩДЯ ПЛЕН Д ТОЛсИИ 1 Ой 0 2-0,3 мкм.Уе. дллические шины 4, 5 и 11 сформирогд, ь мегодом сбратной лТогрдфа, имею)толщинь 0.1; м и не 4 зруе;От плоскостно.си поверхности меки.50 1 роводя 4;ие,ч)с; и 14 е) ки нд подложкенд Зее)ивдентне)1 Схем,. (См. фиг 3) Обг;нл 1529973чены сопротивлениями 12-19,которые подключены к двул одинаковым сопротивлениям 20, 21,...

Номер патента: 1595270

Опубликовано: 30.11.1991

Автор: Генцелев

МПК: H01L 21/02

Метки: маске, подложки, рисунка, рисунком, совмещения

...столы 12 и 13 и двигателя 15. управляемые от блока 3 питания и управления, систему приводов и механическую оснастку (на фиг. 1 - 3 не показаны). Еод рентгеновских лучей от точечного источника 16 в случае, когда рентгенонепрозрачная заслонка 17, приводимая в движение двигателем 18, убрана с их пути, показан пунктирными линиями. Блок 3 питания и управления содержитаналого-цифровые преобразователи АЦП) сигналов от схем 8 и 11, ЭВМ "Электрон,.ку", ключи управления шаговьми двигателями 14, 15, 18 и стабилизированные источники питания,Устройство для совмещения рисунка на маске с рисунком подложки работает следующим образом.Маску 1 и подложку 2 устанавливают соответственно на столы 12 и 13 с определенным предварительным микрозазором...

Номер патента: 1699878

Опубликовано: 23.12.1991

Авторы: Куров, Оспинников

МПК: B65G 47/72

Метки: заготовок, потоков, совмещения

...1 на тоанспортирующ 88ПрИСПОСОбЛЕНИЕ 2 О/)оереМес)ЛО По Однойштуке с каждого потока с линейными интер 15 алами между ними, равым не менее однойдлинь заготовки. Заготовки, гаремещаясьпо транспоотируощему приспособлению 2,ДВажДЫ ИЗМЕНЯЮТ НаггаВЛаНИЕ ДВИЖЕНИЯ.ервы)л эаз изменени 8 направления дви 2 О х(ется осуществляется от направляощих 6,,(С Та Н О В Л Е Н Н Ы Х Н сз Д Т О а Н С П 0 Рт)Л Р )(Ю Щ И 1 Лприспособлением против каждого ручья,кроме короткого, под острым углом в сторо 1 у короткого ручья, не пересекая аго,25 Второй раз изменение направлениядвижения осуществляется от направляющей, установленной на кра:о и вдоль транспортиру)ОЩ 8 ГО прлсп Особлан 1 ля 2 лпри мь ка 10108 Й к пераОродке 1(ороткОГО30 ручья лотка,По разности длин...

Номер патента: 1707660

Опубликовано: 23.01.1992

Авторы: Антоненко, Берлявский, Крутиков, Модель, Павлов, Сидоренко, Черепанов

МПК: H01P 1/161

Метки: двух, диапазонов, совмещения, частот

...частот в полне в виде ч=тырехГ-образных в";: ","се г 3 нижнего диапазона частот, уста о ле нь,х на торце стугени 11 меньше;о д 1 з летка равномерно поокр,жчости и ор, ентиозе; ных концами всторону селектора 3 с,",о ".; з.-,. лых голяриззцпй,)с,рси"е" сем- е 1, двух диапазонов чзс от рзбо.;е сле,-,.,"и образом.Сигераты двди:гзесн, эзс эт например от антенны. гоступз зт е о реэзккруглсго валловодз 1 Сигналы н, жнего диапазона часто- стрзжаются от Г-образныхвибраторов 13 н,;жнего диапазона частот,котоРые являются резонзнсньмл для длиныволны А., и дополнительно от селектора 3ортогональньх поляризаций, который является запредельным для вс.ны А 2, и поступают в окна 8 свзи и далее в отрезки 4-7прямоугольного вслловода После...