G03F 9/00 — Фиксация или размещение оригиналов, масок, растров, фотографических листов или рельефных или текстурированных поверхностей, например автоматически

Номер патента: 19921

Опубликовано: 31.03.1931

Автор: Захаров

МПК: G03F 9/00

Метки: автотипной, изготовлении, печати, печатных, травильщиков, форм, цветной

...предлагаемого приспособления имеется в виду достигнуть облегчения тра вильщикам работы по травлению клише для цветной автотипной печати в стадии их изготовления, что даст, по мнению изобретателя, экономию времени и улучшит качество продукции,На чертеже фиг, 1 изображает вид приспособления спереди; фиг. 2 - то же, вид сбоку,Приспособление состоит из красочной шкалы и, соответственно этой шкале, точечных автотипных клише, на которых, как величина точек, так и взаимное расположение их соответствуют данному тону, Полученную красочную и точечную шкалы наклеивают на бумажную ленту, которую, в свою очередь, наклеивают на коленкоровую, затем разрезают последнюю пополам и полученные таким образом, две кольцевых шкалы навивают на валики...

Номер патента: 34960

Опубликовано: 28.02.1934

Автор: Мадор

МПК: B41L 21/00, G03F 1/04, G03F 9/00 ...

Метки: монтажный, стол

...и опускания их, при замене одного стекла другим, служат зубчатые рейки 24, сцепляющиеся с шестеренками 22 (фиг. 4, 5 и 6)./С целью предохранения от возможного перекоса на боковой нижней парепланок 15 нарезаны по два шипа 17,входящих в соответствующие пазы приопускании планок на боковые стороны, рамы монтажного стола.Планки 75 могут быть разжаты сцелью образования -между ними щелиоколо 3 мм ширины и закрепленыв таком положении посредством пружинящих упоров 18. Когда верхние план.ки 75 доходят до соприкосновения с. нижними планками, упоры 78 уходятв соответствующие пазы. Внутренние поверхнфсти планок 75 снабжены резиновыми прокладками с крестообразныминусечками, которые служат для зажимания между планками .;поперечных цел,. люлоидных лент...

Номер патента: 67800

Опубликовано: 01.01.1947

Автор: Идашкин

МПК: G03F 1/04, G03F 7/00, G03F 9/00 ...

Метки: изданий, иллюстрированных, малотиражных, размножения

...штриховые иллюстрации выполняют от руки на кальке или другом прозрачном материале, На оттиски можно также наклеивать пленочные диапозитивы с иллюстрационных оригиналов.Способ этот может быть с особенным успехом применен в случае, например, когда количество шрифтов очень ограничено, В таких условиях текст набирают, оставляя, где надо, места для вверстывания иллюстраций. Немедленно ,после верстки полосы набора и ее корректуры тискают оттиск на прозрачном материале, полосу набора разбирают и шрифт пускают для набора следующих полос, Иллюстрации вычерчивают или копируют от руки на кальке, или же изготовляют с оригиналов негатив и диапозитив на фотопленке. Кальки текстовых иллюстраций наклеивают на прозрачные оттиски с полос набора, полосные...

Номер патента: 86070

Опубликовано: 01.01.1950

Автор: Рево

МПК: B32B 33/00, G03F 7/00, G03F 9/00 ...

Метки: диапозитивов

...По предлагаемому способу изготовление диа методом типографской печати диапозитивных изо ных материалах (целлулоид, целофаи и т. и.) с по кой покровными стеклами. Предлагаемый способ изготовления диапозитив дующем. Посредством типографской печати с клшие н например, из целофана, хлорвиицла и т, д. напос 1 чученное таким образом изображение иа пленке з мя покровиыми стекламц и окантовывается. Способ изготовления диапозитивов обеспечив ко диапозитивов черного цвета, но и других тонов сочных.фотографическим спотивном материале).позитивов производится браженцй на прозрачследующей их окантовз заключается в слапрозрачную плеикч тся изображение. Понтируется между двует получение пе толь- а также и многокра)едмет изо гения Спосоо...

Номер патента: 173606

Опубликовано: 01.01.1965

МПК: G03F 9/00

Метки: 173606

...при фотографической разметке, например при производстве полупроводниковых приборов. В этих способах на повторяющийся элемент воспроизводимого на микрофотошаблоне изображения изготовляют промежуточный фотошаблон, с которого изображение многократно фотографически переносят на микрофотошаблоны посредством координатно-поворотной копиро вальной рамки.В предлагаемом способе для снижения трудоемкости процесса воспроизведения повторяющихся изображений простейшей геомет рической формы их получают на промежу точном фотошаблоне многократным засвечиванием через соответствующую щель диафрагмы координатно-поворотной копировальной рамки.Сначала фотографически изготовляют про межуточный шаблон на повторяющееся элементарное изображение простейшей...

Номер патента: 189311

Опубликовано: 01.01.1966

МПК: B41L 21/00, G03F 9/00

Метки: 189311

...с крышкой крючка 8, Подпружиненной собачки 9, соединенной пру- жинной связью 10 с кривошипам. Привод снабжен конечными выклочателями 11 и 12,с которыми вз траничителем И аженин.Работает привод следующим образом.При вращении кривошипа против часовойстрелки шатун поднимает крышку до верхнего крайнего положения, ограниченного конечным выключателем, а подпружиненная собачка выводится из зацепления с.крючком, При вращении кривошипа по часовой стрелке крышка опускается под собственным весом дс.крайнего нижнего положения, а шатун 4 до.ходит до ограничителя 13, Кривошип 3, про.должая вращаться в том же направлении, выводит поводковый палец б из направляющей 5 и взаимодействует с конечным выключателем 12, который определяет его нижнее...

Номер патента: 252433

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Белевич, Егоров, Неробкое, Туманов

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Метки: двусторонней, контактной, фотопечати

...при помощи вакуумных присосок б. Манжеты 7, укрепленные на рамах, обеспечивают создание вакуума в полости между рамами.На неподвижной раме закреплены три приспособления 8, служащие для перемещения одного фотошаблона относительно другого при первичном совмещении, состоящие из червяка 9, червячного колеса. 10, установленного ца эксцентрике 11, ролика 12, укрепленного на корпусе рамы, и ролика 13, размещенного на эксцентрике. В процессе работы при помощи толкателей4 раму 1 отводят от рамы 2. На ролике 12устанавливают один из фотошаблонов 5, а наролик 13 - второй фотошаблон. Поочередным5 вращением червяков 9 производят совмещениефотошаблонов. Отпуская толкатели 4, возвращают подвижную раму в исходное положениеи устанавливают устройство...

Номер патента: 259975

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Лесковска, Лобов, Лутченков, Научно, Нов, Организации, Пастухов, Чумаков, Шеходанов

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Метки: заготовок, совмещения, твердых

...выбирает зазор между головками болтов 7 и плитой 8 штока. Далее болты увлекают за собой подвижную гильзу 9. Таким ооразом вся система движется до упора заготовки в фотошаблон 3. Полусферический шаблон выравнивает заготовку и плотно прижимается всей поверхностью к фотошаблону. Сжатый воздух подается в тормозную камеру 10, фиксируя подвижную гильзу в верхнем положении.Подвижная гильза перемещается вдоль образующей внутренней полости цилиндра 11, который посредством опорной скооы 12 и подвижной каретки 1 т соединен с ттеподвих ной плитой. Каретка перемещается в призматических направляющих И. Полость цилиндра 11 соединяется с атмосферой, шток опускается вниз на величину зазора, образующегося между верхним торцом подвижной гильзы и штоком в...

Номер патента: 281581

Опубликовано: 01.01.1970

Автор: Титков

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Метки: шаблонов

...служат винты 18. Кассета 19образцового негатива 20 крепится к корпусупроектора 17.Держатель 21 выполнен в виде непрозрачной плиты с зажимами для крепления и базирования на штифты 22 заготовок шаблонов 523 и 24, устанавливаемых светочувствительными поверхностями к образцовым негативам.Держатель крепится на верхней каретке координатного механизма через упругое звено,выполненное в виде плоской пружинной ленты 25, одна сторона которой прикреплена кторцу держателя, а другая к планке 2 б,Для .исключения касания и повреждениязаготовки шаблона о нижний негатив 20 приперемещении держателя на требуемый шаг 15после очередного экспонирования и отведенияпроектора 5 в исходное положение служитподпружиненный упор 27, под действием которого держатель...

Номер патента: 313196

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Поне

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Метки: базирования

...например изделия 5 с изделием 1, оба они прижимаются к тем же пальцам 2 и 3 в тех же направлениях и с теми же усилиями, причем у каждого из пальцев направления усилий совпадают.20Пр Способ базирования изделий на два отверстия и плоскость с помощью двух цилиндриче ских пальцев, отличающийся тем, что, сцелью повышения точности базирования, изделие прижимают к каждому пальцу во взаим.но перпендикулярных направлениях,происходи Изделие Изобретение относится к технологии производства изделий радиопромышленности и мокет быть использовано для увеличения точности базирования и совмещения при производстве односторонних, двусторонних и многослойных печатных плат. Эти способы широко распространены и применяются при производстве около 90%...

Номер патента: 333730

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Григорьев, Дамский, Долкарт, Новик, Слонимский, Федосеев, Шапиро

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Метки: печатных, плат, рисунками, рисунков, совмещения, фотошаблонов

...два паль оответств отверсти ются для П ретения т и фотош аблопри изготовлат, основанек, отличаюния точностибазовых тоов на спеех последуюногослойных стия, предваных фотоплаости в заданнью точлее его представ- располоИзвестен способ совмещения рисунков фото- шаблонов с рисунками печатных плат при изготовлении многослойных печатных плат, заключающийся в том, что на фотонегативе каждого слоя за полем рисунка схемы в определенных местах одновременно с вычерчиванием схемы наносятся штрихи. Рабочий фото- негатив наклеивается на металлическую рамку. Фотонегатив с рамкой нужным образом устанавливают с помощью микроскопа по штрихам на координатно-расточном станке и растачивают в ней базовые отверстия. Такой способ характеризуется низкой...

Номер патента: 379065

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Владимиров, Горбаренко, Савин

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Метки: ориентации, подложек

...для определения смещения реперсго знака 10 относительно оптической оси 19 По координате У. Сгнал микроскопа 12 характеризует угол певарота д Кремниевой пластны, так как оптическая ось 16 мцкроскола 11 совпадает с осью вращения верхнеплоокости стола 6. Сигналы фотоприемников 14, 15 и 18 постунают на усилители-,преооразователи 20, 21 и 22 соответственно. Последние Одинаксвы и состоят из усилителей переменных сигналсв 23, фазовых детекторов 24 и усилителей постояннопо тока 25. Усцлител- преобразовател;Предназначены для преооразоваия перехенного сигнала в постоянный, усиления его до;величины, Которая несбходн - ма для обеспечения нужного перемещения координатного стола 6 иополнительнымц механизмами 3 - 5.Иополнительные,механизмы 3 и...

Номер патента: 414142

Опубликовано: 05.02.1974

Авторы: Борецкий, Захар, Семенов

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Метки: двустороннего, подложки, рисунками, рисунков, совмещения, фотошаблонов

...вкладыша 14, установленного в сферичеаком подпятнике 15, кон- йсольно закрепленном на каретке 3 вертикальных перемещений координатного столика 2.Положение нижнего фотошаблона фиксируется вакуумом, создаваемым между сферическим,подпятником 15 и сферическим вкладышем 14.Механизм прижима фотошаблонов и подложки выполнен в виде пневморычажной системы, представляющей собой пневмоцилиндр10 с демпфирующим поршнем 1 б и рычагом с 15роликами 17,При работе устройства координатный столик б отводят в правое крайнее положение изагружают подложкой. Верхний фотошаблонустанавливают на вакуумные канавушки 13 верхнего шаблонодержателя 1, а нижний - навакуумные канавки сферического вкладыша 14, В пнавмоцилиндры 4, 9 и 10 подаютсжатый воздух для...

Номер патента: 436319

Опубликовано: 15.07.1974

Авторы: Захар, Лапин, Семенов

МПК: G03F 9/00

Метки: зажим, плоских

...скобой и установлены в пазах неподвижной скобы. которых закреплены У-образные плаи4 для удержания подложки 5.Скоба 1 подвижна и на ней закреплены двепластинчатые пружины 6, а на неподвижной 5 скобе 2 установлены ограничительные планки7, удерживающие пластины 3 и 4 в одной плоскости.В отверстиях неподвижной скобы 2 расположены две цилиндрические пружины 8 и 10 пальцы 9. В этой же скобе имеются пазы а,в которых с зазором расположены подпружиненные рычаги 10, шарнирно соединенные своими концами с подвижной П-образной скобой 1 для ее перемещения. Пластина 3 за креплена на шарнирах рычагов 10, Неподвижная скоба 2 является направляющей для движения скобы 1, перемещающейся в плоскости захвата подложки 5.Усилие захвата подложек создается...

Номер патента: 439098

Опубликовано: 05.08.1974

Авторы: Иностранна, Иностранцы, Хисааки

МПК: G03C 1/68, G03F 7/10, G03F 9/00 ...

Метки: клише, рельефнымизображением

...излучения, а затем после отделения маски экспонировать для образования слоя- подложки различной толщины.Клише с рельефным изображением, изготовленное по предлагаемому способу, имеет высокую стабильность и прочность по сравнению с известными формами высокой печати, полученными сцеплением фотополимеризующейся композиции с подложкой. Помимо, этого, предлагаемый способ проще известного.П р и м е р 1. Фотополимеризующуюся композицию, содержащую 100 г ненасыщенного полимера, полученного из 1 моль полиэтиленгликоля (мол. вес 600), 0,5 моль фумаровой кислоты и 0,5 моль адипиновой кислоты, 20 г акриловой кислоты, 30 г акриламида, 2 г бензоина (инициатор полимеризации) и 0,01 г ю-метоксигидрохинона (ингибиторы термической полимеризации),...

Номер патента: 618715

Опубликовано: 05.08.1978

Авторы: Гройсман, Кривошеев

МПК: G03F 9/00

Метки: контактно, копировального, крышки, опускания, подъема, привод, прижима, станка

...соединен с крышкой 2, а другойс ползуном 3, свободно сидящим на гайке 4, которая поступательно перемешается по винту 5, длина нарезки которого равна длине ее необходимого перемещения. Крышка 2 прижимается к остову 6 собачкой 7, шарнирно соединенной с остовом и взаимодействутошей с крючком 8 жестко закрепленным на шатуне 1, Собачка 7, имеющая противовес 9, соединена с пружиной 10, закрепленной на втулке 11, свободно сидяшей на винте 5. Для ограничения хода гайки 4 служат конечные выключатели 12 т 13, взаимодействуюшие с горкой 14, жестко закрепленной на гайке 4,Привод работает следуюшиПри перемещении гайки 4ту 5 ползун шатуном 1 полниСоставитель Л. МухинаРедактор О, филиппова Техред О, Андрейко Корректор Н, Дц делам изобретений и...

Номер патента: 667949

Опубликовано: 15.06.1979

Авторы: Горак, Домбровский, Середницкий

МПК: G03F 9/00

Метки: диапозитивов

...времени его сушки, повышения оптической и устранения интегральной плотности диапозитива, а также исключение из процесса дорогостоящей синтетической пленки.Это достигается тем, что по предлагаемому способу изображение получают печатанием на бумажной основе, которую затем пропитывают просветляющим составом.Сущность способа заключается в том, что при печатании на пористом материале (бумаге) изображение получается оптически равномерно плотным, а краска при этом закрепляется за счет пор материала, в результате чего не требуется дополнительного времени667949 Составитель В. Клевцов Редактор С. Хейфиц Техред О, Луговая Корректор М. Демчик Заказ 3465/43 Тираж 547 Подписное ЦН И И ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и...

Номер патента: 883850

Опубликовано: 23.11.1981

Авторы: Волкова, Кирснер, Коган

МПК: G03F 9/00

Метки: фотоформ, цветоделенных

...осуществляют после нанесения клея на фото- формы, при этом фотоформы следующих красок устанавливают на штифты допол нительного листа.На чертеже представлена схема уст88385На штифты 1 монтажного станка изображением вниз устанавливают монтажный лист 2, а на него по тем же штифтам - дополнительный лист 3. На дополнительном листе раскладывают фотоформы для первой краски 4 эму;.ьсией вниз и закрепляют на нем так, чтобы их можно легко открепить. Далее в приводочные отверстия фотоформ снизу вставляют штифты 5 на плоских опорах 6, которые 1 о закрепляют на дополнительном. листе 3. После этого фотоформы открепляют от дополнительного листа 3 и на их поверхность со стороны подложки наносят слой клея, 15По штифтам 1 монтажного станкаустанавливают...

Номер патента: 999007

Опубликовано: 23.02.1983

Авторы: Казьмин, Лозовюк, Рачков

МПК: G03F 9/00

Метки: клише, монтажей, цветоделенных

...т.м,что предварительную разметку поляпеча.тного листа покрывают прозрачОй пленкой с посацочными Отверс.иями, прикрепляют к прозрачной пленкегО разметке печатного листа прозрачОТИСКИ И ПОСЛЕ СОНМЕЩ НИЯ С НИми соответствующих клише, одновременно псреводят все клише а общую4основу,На фиг,1 представлено устройство,нид сбоку; на фиг,2 - то же, нидсо стороны рабочей зоны,Материалы, применяемые для получения монтажа клише, изображены условно раздельно.устройстно имеет стол 1 фиг,1),.о тоящий из непрозрачной рамки 2 ицентральной прозрачной плиты 3. Подстолом 1 на шарнир 4, находящемся З 5,ь 7 Гь:Сей От рабОтаОего асти р Ук -репленО наклОННОР зеркало 5, у котО -рого отражающей является верхняя стоторона б, Зеркало 5 имеет механизм7 для...

Номер патента: 1046734

Опубликовано: 07.10.1983

Авторы: Гревцев, Гриценко, Сажнев

МПК: G03F 9/00

Метки: знак, маски, подложки, реперный, рисунка, рисунком, совмещения

...знак 5 - для совмещения по углу М . Далее накладываютмаску на подложку таким образом,чтобы квадраты реперных знаковчастично перекрывались, и освещают ихкогерентным излучением, напримерлазерным лучом. Затем проводят собственно процесс совмещения путем грубой и точной ориентации маски иподложки.Процесс грубой ориентации осуществляют по принципу сравнения площадей периферийных участков 3 наподложке, неперекрытых квадратоммаски, Поскольку интенсивность дифрагированного излучения пропорциональна освещаемой световым пучком площади этой решетки, то величину смещения ДХ, ЬУ, йУцентров квадратовна маске (01)и подложке (02)можноопределить, измеряя Фотоприемникамии сравнивая интенсинность излучения, .дифрагированного на периферийныхучастках 3 в...

Номер патента: 1061099

Опубликовано: 15.12.1983

Авторы: Гройсман, Кривошеев, Сулима

МПК: G03F 9/00

Метки: копировальный, станок

...качества копирования.Указанная цель достигается тем,что в копировальном станке, содержащем смонтированные на основанииконтактную раму, осветитель и устройство для прокопировки краев пленок, включающее приводной вал идиффузную пленку, последнее имеет пару кривошипно-шатунных механизмов,связанных с приводным валом, осишатунов которых несут подпружиненныевтулки для поддержки краев пленки,при этом шатуны связаны между со-бой, посредством штанги, на которой закреплен один конец диффузнойпленки, а другой ее конец подпружинен относительно основания,Благодаря предлагаемой конструкции станка исключается ручная корректура Формных пластин, что повышает качество копирования.На фиг, 1 показано устройство,общий вид; на фиг. 2 - вид по стрелке А...

Номер патента: 1123017

Опубликовано: 07.11.1984

Автор: Касяненко

МПК: G03F 9/00

Метки: базовых, выполнения, отверстий, фотошаблонах

...- повышение точности 35изготовления базовых отверстий в фотошаблонах.Поставленная цельдостигается тем, что в устройство для выполнения базовых отверстийв фотошаблонах; содержащее корпус с установ.ленным на нем в опорах скольжения шпинде. 40лем со сверлом, установленным с возможностьювозвратно-поступательного перемещения и свя.занного со шкивом, и механизм подачи сверла,введен узел прижима фотошаблона, шпиндельи сверло выполнены как единое целое, причем 45в центральной его части выполнен сквознойканал с установленным в нем с возможностьювозвратно.поступательного перемещения штокоммеханизм подачи сверла выполнен в виде цент.робежного преобразователя., жестко связанного 50со шкивом и шпинделем, а узел прижима черезпружину связан ео...

Номер патента: 1205119

Опубликовано: 15.01.1986

Авторы: Зайцев, Копылова, Шилов

МПК: G03F 9/00

Метки: картографии, перфоратор

...головка (фиг. 3)состоит из матрицы 8, стержневогопуансона 9 со штампом и установочнымвинтом, пружины 10 принудительногоподъема пуансоНа и пружинного Фиксатора 11. Пружинный фиксатор (Фиг,4)предназначен для прочного удержанияперфорируемого материала в периодпробивки отверстий,При опускании головку фиксатораповорачивают влево или вправо, а приподъеме ее устанавливают поперек паза.Для принудительного подъема стержневых пуансонов, установленных наклапанной стороне, при пробивке отверстий на оригиналах и алюминиевыхили стальных формах пластинах предусмотрено дополнительное приспособление в виде кронштейна-крючка. Вседевять перфорирующих головок имеютприспособления для их отключения,Для точного равнения любого перфорирующего...

Номер патента: 1588561

Опубликовано: 30.08.1990

Авторы: Васькив, Лозовюк

МПК: B41F 27/04, G03F 9/00

Метки: кассета, печатных, форм, формирующая, фотополимерных

...установленные между плитами, и подвижнуюростовую планку 6, расположенную по переднему краю изгота вливае мой печатнойформы. В ростовой планке 6 установлены приводочные штифты 7. Для перемещения планки 6 имеются направляющие 8и средство 9 перемещения, например винтовой механизм,Устройство работает следующимФотоформу 10 с изображением 1(54) ФОРМИРУЮЩАЯ КАССЕТА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОПОЛИМЕРНЫХ ПЕЧАТНЫХ ФОРМ(57) Изобретение относится к формирующей кассете для изготовления фотополимерных печатных форм и позволяет уменьшить габариты кассеты и достичь экономии формных материалов. Устройство содержит плиту 1. Параллельно плите 1 установлена другая плита. Плиты установлены с зазором одна относительно другой. По периметру плит размещены ростовые...

Номер патента: 1552940

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Баргий, Дзян, Мацкевич

МПК: G03F 9/00, H01L 21/312

Метки: знаков, подложке, полупроводниковой, совмещения, формирования

...позволяет получить поверхностьуглублений с раэвитыл рельеФом. Этоспособствует поглощению света, падающего на знаки совмещения, и повышает их контрастность. 3 ил. П р и м е р. Кремниевые подложки ,1 (см,. Фиг. 1) диаметром 100 мм ориентацией (100) и (111) оисляются до толщины окисла 500 А или 1000 А. На часть пластин наносится слой нитрида кремния толщиной 1500 А. Насу 2 для травления знаков совмещения получают методом проекционной Фотолитографии, Размер ячейки знака совмещения Зк 3 или 5 х 5 мкм. Обработку пластин водным раствором, содержащим 0,014)авитель В.Руед Идидыке иа е ю ю е ю а Со Те едактор Т.Иагова аа а Заказ 4333 ВНИИПИ Госу Тираж 461комитета поМосква Ж"3 Подписноезобретениям и открытияРаушская набе д 4/5 ГКНТ СС...

Номер патента: 1501759

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Самойлиди

МПК: G03F 9/00

Метки: маски, подложки, рисунка, рисунком, совмещения

...кремния, легированного бор2-3 мкм. Топологический рису6 на маске 3 выполнены из слощиной 0,6 мкм, Каждая меткамер 5 х 200 мкм.На подложке 1 формвиде чередующихся полслоев противоположного1501759 вского излучения, и величина электрического тока, протекающего через метки 5, минимальна.П р и м е р 2. Все операции выполняют как в примере 1. Метки 5 на подложке 1 выполняют в виде многослойной структуры, состоящей из чередующихся проводящих и пепроводящих слоев. В частности, такая структура может состоять из слоя кремния, разделенного с кремниевой подложкой слоем окиси кремния толщиной 30-40 А. Составитель В.Рубцов Редактор Н.Каменская Техред М.Моргентал Корректор М.ДемчикЗаказ 4644 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по...

Номер патента: 1529973

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Торопов

МПК: G03F 9/00

Метки: знак, маска, подложки, реперный, рисунка, рисунком, совмещения

...с концами элементов 85 Вр,1, а,01 рсшетки на мд.;ке;лектри- ЯГчески =оединены с третьей контдктой пло,сДКОй ,4 ЛЛЯ ЭТОГО О КРаЯМ МЕТК На ПОДл жхе; ьг ол ены элекгрогроводящие шины 1 О, которые легиродд ы аналогично кд;лам 3 металлические шины 1 Дляизе)ляции легированных шин 10 и летдлл 4 ческих шин 4, 5 между ними мегодом ло,:. нного хл 1 ческого оксид ровд 44 ЯГ,ГРМРОЕ На И.ОЛИРУЮЩДЯ ПЛЕН Д ТОЛсИИ 1 Ой 0 2-0,3 мкм.Уе. дллические шины 4, 5 и 11 сформирогд, ь мегодом сбратной лТогрдфа, имею)толщинь 0.1; м и не 4 зруе;От плоскостно.си поверхности меки.50 1 роводя 4;ие,ч)с; и 14 е) ки нд подложкенд Зее)ивдентне)1 Схем,. (См. фиг 3) Обг;нл 1529973чены сопротивлениями 12-19,которые подключены к двул одинаковым сопротивлениям 20, 21,...