Устройство совмещения и экспонирования

(50 4 С 03 В 27/44 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Т 5 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СССР У 959020, кл. С 03 В 27/02, 1981.Установка совмещения и экспонирования ЭМ. - Электронная промышленность, 1978, Р 6, с, 42. (54) УСТРОИСТВО СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ(57) Изобретение относится к микроэлектронике и м.б. использовано для многократного переноса изображенияс фотошаблона на подложки. Цель изобретения " повышение производительности устр-ва. На съемной платформе16 устр-ва расположен поворотный столс фиксаторами его угла поворота. Магазин 20 фотошаблонов установленна опорных роликах 2 1, кинематически связанных с реверсивным приводом24. Между магазином 20 фотошаблонови транспортирующим устр-вом установлены затворы приема 14 и выдачи 15фотошаблонов. Время экспонированияопределяется датчиком 4, расположенным на основании 1. 2 з,п.ф-лы, 3 ил.1453360 ложек 7, направляющие склизы 8 с уст ройствами 9 обдува подложек 7 и фотошаблона 10, привод 11, кинематическисвязанный с транспортирующим устройством 12 для загрузки подложек 7 нфотошаблона 10 и аналогичным транспортирующим устройством 13 для выгрузки их, затворы 14 и 15 приема ивыдачи Фотошаблона, съемную платформу 16 с поворотным столом 17,фиксаторы 18 углов поворота стола 17 иблоком 19 совмещения, магазин 20фотошаблонов, который установлен наопорных роликах 21, и водило 22, кинематически связанное с датчиком 23угловых перемещений, реверсивный привод 24 и фиксирующие ролики 25. Навнешней части платформы 16 размещеныопоры 26 для регулирования по высотеблока 19 совмещения, который установлен на цапфах 27 и 28 (фиг,2) закреп.40ленных на платформе 16. Платформа 16,выполненная в виде сварной рамы, сое.динена с основанием 1 (не показано)и является несущей .конструкцией для.блока 19 совмещения,Устройство работает следующим об-.разом.Устанавливаются кассета 4 с под-.ложками 7 и приемная кассета 5. Напульте 2 управления задается номерпозиции магазина.20 фотошаблонов .10. 1. Устройство совмещения и экспо нирования фотошаблона и,подложки, содержащее основание, установленные на нем осветитель и фотодатчик контроля освещенности, подающую и приемную кассеты для подложек, их транспортирующее устройство и механизм фиксации подложки и Фотошаблонов, о тИзобретение относится к области микроэлектроники и может быть исполь"зовано в электронной, радиотехнической и других областях промышленности при производстве тонкопленочных ГИС, например для многократного переноса иэображения с фотошаблона на подложки.Целью изобретения является повышение производительности.На фиг.1 показано устройство, общий вид; на фиг.2 - вид А на фиг.1; на фиг.3 - вид Б. на Фиг.1.Устройство содержит основание 1, пульт 2 управления, осветитель 3 с фотодатчиком 4 контроля освещенности, расположенные на.основании 1, подающую и приемную кассеты 5 и б для подВключается автоматический цикл работы устройства, Привод 24 поворачивает.магазин 20 до совмещения. позиции заданного фотошаблона с транспортирующим устройством 12. Срабатывает затвор 15 и фотошаблон под действиемсилы собственного веса поступает натранспортирующее устройство 12, ко" торое подает Фотошаблон 1 О в блок19 совмещения, где он фиксируется,После фиксации фотошаблона включает"ся механизм совмещения (не.показан).Одновременно из.подающей кассеты 5подложка 7 под действием. силы собственного веса поступает,на направляющий склиз 8, где обдувается устройством 9 обдува и через магазин 20 поступает на нижний уровень транспортера 12, который подает подложку 7 вблок совмещения, где она Фиксируетсявакуумным прижимом (не, показан) втребуемом положении. Включается осветитель 3. После окончания экспонирования, время, которого определяетсяпри помощи датчика 4, осветительвыключается и поворотный стол 17 поворачивается в. положение выгрузки,Выключается Фиксация подложки, которая.под действием силы собственноговеса поступает на нижний уровеньтранспортирующего устройства 13., которое подает.экспонированную подложку 7 через, магазин 20. в приемнуюкассету 6. Поворотный стол 17 возвращается в первоначальное, положение.Циклы повторяются до подачи в блок19 совмещения последней подложки. 7из кассеты 5 Одновременно с подачейпоследней подложки 7 включается привод 24, который поворачивает магазин 20 фотошаблонов 10 до совмещенияпозиции, в которой находился поданныйв блок 19 совмещения фотошаблон 10,с транспортирующим устройством 13.После окончания экспонирования последней подложки 7 поворотный столповорачивается в положение выгрузки.Выключается фиксация подложки 7 ифотошаблона 10, которые под действием собственного веса поступают соответственно на нижний и верхний уровнитранспортирующего устройства 13,.которое подает фотошаблон 10 в магазин20, а экспонированную подложку черезмагазин 20 в приемную кассету 6. формула из обр ет ениял и ч а ю щ е е с я тем, что, сцелью повышения производительности,оно снабжено расположенной на основании сьемной платформой с установленным на ней поворотным столом сфиксаторами егб угла поворота, магазином для фотошаблонов, установленным на опорных роликах, кинематически связанных с реверсивным приводом,и фиксирующих роликах, закрепленныхна основании, дополнительным транспортирующим устройством, расположенным перед приемной кассетой, а также затворами выдачи и приема. фотошаблонов, установленными между магазином фотошаблонов и соответствующим транспортирующим устройством. 2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что каждое транспортирующее устройство выполне" но в виде ступенчатых валиков,диаметр средней части каждого из которых меньше диаметра. крайних частей, при этом ширина средней части соответст. вует ширине подложки.3. Устройство по п.1, о т.л и.- ч а ю щ е е. с я тем, что подающая и приемная кассеты, основное и допол= нительное транспортирующие устройства расположены симметрично относительно плоскости, проходящей через центр магазина фотошаблонов и под углом, совпадающим с углом вращения поворотного стола.1453360 Редактор тилло 7282/43 аж 412 Подписно а НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5