Самойлиди

Номер патента: 1501759

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Самойлиди

МПК: G03F 9/00

Метки: маски, подложки, рисунка, рисунком, совмещения

...кремния, легированного бор2-3 мкм. Топологический рису6 на маске 3 выполнены из слощиной 0,6 мкм, Каждая меткамер 5 х 200 мкм.На подложке 1 формвиде чередующихся полслоев противоположного1501759 вского излучения, и величина электрического тока, протекающего через метки 5, минимальна.П р и м е р 2. Все операции выполняют как в примере 1. Метки 5 на подложке 1 выполняют в виде многослойной структуры, состоящей из чередующихся проводящих и пепроводящих слоев. В частности, такая структура может состоять из слоя кремния, разделенного с кремниевой подложкой слоем окиси кремния толщиной 30-40 А. Составитель В.Рубцов Редактор Н.Каменская Техред М.Моргентал Корректор М.ДемчикЗаказ 4644 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по...

Номер патента: 1611158

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Самойлиди

МПК: G03F 7/20, H01L 21/312

Метки: маске, подложки, проводящего, рисунка, рисунком, совмещения

...поверхности другого совмещаемого обьекта ортогонально оси прецессии первого угол между плоскостями, а следовательно, и емкость конденсатора, будут постоянными по времени, цто позволяет использовать для измеоений мостиковую схему.Схема 9 узла контроля непараллельности рабочих поверхностей маски 1 и подложки 2 и микрозазора между ними постоянно следит за меняющейся емкостью конденсатора и совместно с блоком 3 обработки и управления вырабатывает и подает управляющие сигналы на двигатели б, добиваясь при этом такого положения подложки 2, когда величина электрической емкости конденсатора равна определенной наперед заданной велицине (эталонной емкости) и величина ее изменений отклонений от эталонной величины) за период прецессии ми...

Номер патента: 1663794

Опубликовано: 15.07.1991

Авторы: Василевич, Генцелев, Самойлиди

МПК: H05K 13/00

Метки: стол, установочный

...возникающего при нагружении тяги продольной силой.Упругие тяги 14,15,16 соединяют соответственно консоли 8-9, 10-11, 12-13 и винтовые пары и служат для преобразования движения винтовой пары в угол поворота консолей, затем в изгиб кронштейнов и в перемещение каретки.В случае однокоординатного стола с одним механизмом перемещения, содержащим один рычаг (см, фиг,2), каретка не имеет направляющих движения и движется по кусочку окружности за счет изгиба упругого элемента, крепящегося к несущей части установочного стола.В случае однокоординатного стола с одним механизмом перемещения каретки, содержащим два рычага (см. фиг,3), каретка также не имеет направляющих и при движении каретки происходит поворот в ее плоскости на некоторый...