Патенты с меткой «реперный»
Реперный знак и способ совмещения рисунка маски с рисунком подложки
Номер патента: 1046734
Опубликовано: 07.10.1983
Авторы: Гревцев, Гриценко, Сажнев
МПК: G03F 9/00
Метки: знак, маски, подложки, реперный, рисунка, рисунком, совмещения
...знак 5 - для совмещения по углу М . Далее накладываютмаску на подложку таким образом,чтобы квадраты реперных знаковчастично перекрывались, и освещают ихкогерентным излучением, напримерлазерным лучом. Затем проводят собственно процесс совмещения путем грубой и точной ориентации маски иподложки.Процесс грубой ориентации осуществляют по принципу сравнения площадей периферийных участков 3 наподложке, неперекрытых квадратоммаски, Поскольку интенсивность дифрагированного излучения пропорциональна освещаемой световым пучком площади этой решетки, то величину смещения ДХ, ЬУ, йУцентров квадратовна маске (01)и подложке (02)можноопределить, измеряя Фотоприемникамии сравнивая интенсинность излучения, .дифрагированного на периферийныхучастках 3 в...
Реперный знак для совмещения рисунка маска с рисунком подложки
Номер патента: 1529973
Опубликовано: 30.11.1991
МПК: G03F 9/00
Метки: знак, маска, подложки, реперный, рисунка, рисунком, совмещения
...с концами элементов 85 Вр,1, а,01 рсшетки на мд.;ке;лектри- ЯГчески =оединены с третьей контдктой пло,сДКОй ,4 ЛЛЯ ЭТОГО О КРаЯМ МЕТК На ПОДл жхе; ьг ол ены элекгрогроводящие шины 1 О, которые легиродд ы аналогично кд;лам 3 металлические шины 1 Дляизе)ляции легированных шин 10 и летдлл 4 ческих шин 4, 5 между ними мегодом ло,:. нного хл 1 ческого оксид ровд 44 ЯГ,ГРМРОЕ На И.ОЛИРУЮЩДЯ ПЛЕН Д ТОЛсИИ 1 Ой 0 2-0,3 мкм.Уе. дллические шины 4, 5 и 11 сформирогд, ь мегодом сбратной лТогрдфа, имею)толщинь 0.1; м и не 4 зруе;От плоскостно.си поверхности меки.50 1 роводя 4;ие,ч)с; и 14 е) ки нд подложкенд Зее)ивдентне)1 Схем,. (См. фиг 3) Обг;нл 1529973чены сопротивлениями 12-19,которые подключены к двул одинаковым сопротивлениям 20, 21,...