Устройство для совмещения и экспонирования фотошаблона и подложки

" "ОТаМ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН К НИЯ И ОНА И автоматизироажения с фотоизобретения - ышение произобласти микиспользовано кой и других ри производдных интегример, для ображения с является автоматие производительнства совмещения Целью изобретениязация работы, повышенисти и надежности устроэкспонирования.На фиг. 1 изобравид; на фиг. 2 - видразрез Б-Б на фиг. 2; нана фиг. 2. устройство, общий фиг. 1; на фиг. 3 - фиг. 4 - разрез 8-8 жен Ан ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР РСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Научно-исследовательский технологический институт приборостроения(56) Авторское свидетельство СССРМ 959020, кл. 6 03 В 27/02, 1981,Авторское свидетельство СССРМ 1453360; кл. С 03 В 27/44, 1986.(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕ ЭКСПОНИРОВАНИЯ ФОТОША ПОДЛОЖКИ(57) Изобретение позволяет вать процесс перекоса изобр шаблона на подложки, Цель автоматизация работы, пов Изобретение относится кроэлектроники и может бытьв электронной, радиотехничесобластях промышленности истве тонкопленочных гибриральных схем (ГИС), напмногократного переноса изфотошаблона на подложки,ЬО 162583 водительности и надежности. Подложки находятся в кассете и подаются выталкивателем подложек, По команде считывающего устройства производится поиск фотошаблонов, которые находятся в кассете фотошаблонов. Фотоблок выталкивается иэ этой кассеты выталкивателем фотошаблонов. Последний перемещает фотошаблон на направляющие. Перемещаясь, фотоблок упирается в основной упор, и рычаги прижимают и фиксируют его. После совмещения фотошаблона с базовыми метками подложка перемещается на стол и фиксируется на фиксаторах. Подложка присасывается к вакуумной присоске и затем прижимается к фотошаблону. Производится экспонирование. После этого подложка и фотошаблон в обратном порядке перемещаются в соответствующие кассеты с помощью эаталкивателей, 4 ил. Устройство для совмещения и экспонирования содержит стол 1 (фиг. 1), механизм 2 перемещения кассеты с подложками, ме- ф ханизм 3 перемещения кассет с фотошабло- О нами, транспортирующие устройства, (фЭ содержащие следующие механизмы: меха-низм 4 для выталкивания подложек иэ кассеты, механизм 5 для заталкивания подложек в кассету, механизм 6 для выталкивания фотошаблона из кассеты, механизм 7 для заталкивания фотошаблона в кассету (фиг, 2), а также механизм 8 фиксации подложки(фиг. 3) и механизм 9 фиксации фото- шаблонаСтол 1 содержит плиту 10 (фиг. 2), в которой выполнены паз 11 и направляющая 12 для подложки 13, показанная на столе 15 10 20 25 30 35 45 50 55 условно тонкими линиями (фиг, 3), Другая направляющая 14 (фиг. 2) для подложки выполнена сьемной, В ней имеется паэ 15 (фиг, 3), через который прс ходит Г-образная часть рычага 16, Последний имеет воэможность колебательного перемещения вокруг оси 17 и пружиной 18 прижимается к якорю 19 электромагнита 20, Рычаг 16, ось 17, пружина 18, якорь 19 и электромагнит 20 составляют механизм 8 фиксации подложки, На плите 10 установлены три упора для фиксации подложки 13, два боковых упора 21 (фиг, 2) и один основной упор 22. Основной упор 22 расположен с правой с. Оронц от центра подложки 13 и фотошаблона 23 (подложка и фотошаблон на столе 1 показанц тонкими линиями). С левой стороны от центра подложки 13 и Фогошаблона 23 расположен Основной упор 24 для Фиксации фотошаблона 23. Под центром подложки 13, находящейся на столе 1, расположена вакуумная присоска 25 (фиг. 3) и поршень 26, в центре которых выполнено отверстие 27, соединенное с вакуумной системой, Под поршень 26 через штуцер 28 подводится сжатый воздух. На поршне 26 находится планка 29 (фиг, 1, плоская пружина 30, два винта 31 с контргайкой, которые служат для регулировки хода поршня 26 вверх. На плите 10 (фиг. 3) на четырех бонках 32 установлена подвижная рама ЗЭ, с выполненными на ней двумя направляющими 34 и 35 для фотошаблона 23. Направляющие 12 и 14 для подложек и направляющие 34 и 35 для фотошаблонов представляют трассу, по которой перемещаются подложки и фото- шаблоны, Подвижная рама 33 прижимается к трем шарикоподшипникам 36 (фиг, 2 и 3) четырьмя пружинами 37 (Фиг, 2),Посадочные места под шарикоподшипники 36 смещенгы (имеют эксцентриситет) относительно общих осей валов 38 (фиг, 3), На последних закреплены червячные колеса 39, которые входят в зацепление с червяками 40, соединенными с электродвигателями 41,На столе 1 установлен механизм 9 Фиксации фотошаблона 23, который содержит электромагнит 42 (фиг. 3), который якорем 43 соединен с рцчажной системой, состоящей из стержней 44 - 47 (фиг, 3 и 4), рычагов 48-54 и планки 55. Рычаг 48 сидит на оси 56, рычаг 51 на оси 57, рцчаг 52 на оси 58, рычаг 49 на оси 59, рычаг 50 на оси 60, рычаги 49 и 50 находятся на плите 10 и своими концами касаютСЯ пОдпружиненных рычагов ЬЗ и 54, на Осйх вращения которых находятся пружины 61 кручения, Последние обеспечивают прижатие рычагами 53 и 54 (Фиг, 2 и 3) Фотошаблона 23 к направляющим 34 и 35,Рычаги 53 и 54 располагаются на подвижной раме 33,На подвижной раме 33 (фиг, 2) на оси 62 установлен рычаг 63 боковой фиксации фотошаблона механизма фиксации фотошаблона. Рычаг 63 подпружинен пружиной 64 растяжения, имеет возможность колебательного перемещения вокруг оси 62, выполнен клещеобразной Формы и один конец рычага заканчивается плоской пружиной 65, Рычаг 63 пружиной 64 растяжения прижат к упору 66. Рычаг 63 боковой фиксации фото- шаблонов расположен между излучающим диодом 67 и фотодиодом 68,На плите О выполнен паэ 69 (фиг, 2), в которо и размещен эата л ки вател ь 70 подложек (Фиг. 1 - 3), вы пол нен н ы й Г-образной формы,На столе 1 между направляющими 12 и 14 (Фиг, 2) установлено несколько светодиодов 71 и фотодиодов 72 (в данном случае пять светодиодов и пять Фотодиодов). Светодиоды 71 и фотодиоды 72 являются информаторами дл я считывающего устройства (на показано), которое предназначено для распознавания информации по количеству размещенных в определенной последовательности отверстий на сопроводительной карте 73, которая располагается в нижней ячейке кассеты 74. По сопроводительной карте 73 отыскивается нужный фотошаблон 22. Крайние светодиоды 75 (фиг, 2) и фото- диоды 76 служат для определения наличия подложки 13 на направляющих 12 и 14.На столе 1 условно показаны базовые знаки 77 (фиг. 2), которые имеются на фото- шаблоне, размещенном на столе 1, Над базовыми знаками 77 расположен осветитель 78 (Фиг. 1 и 3), над базовыми знаками -датчик 79 базирования, Над фотошаблонами 23, расположенными на столе 1, находится источник 80 света.Механизм 2 перемещения кассеты с подложками (Фиг. 1) содержит кассету 74 с расположенными в ней подложками 13 и сопроводительной картой 73 в нижней ячейке кассеты. Кассета 74 установлена в корпу е 81. В последнем располагаются излучающий диод 82 и фотодиод 83, которые определяют наличие кассеты 74 в корпусе 81, Корпус 81 винтом 84 может перемещаться вверх - вниз до конечных выключателей 85 и 86. Винт 84 приводится во вращение приводом 87 через конические шестерни 88 и 89. Флажок 90 может вращаться вместе с шестерней 88, При вращении флажок 90 происходит между излучающими диодами 91 и 92 и фотодиодами 93 и 94.Механизм 3 перемещения кассет с Фотошаблонами (фиг. 1) содержит две кассеты10 15 40 45 95 с расположенными в них фотошаблонами 23, Кассеты 95 установлены в корпусе 96, который винтом 97 может перемещаться вверх - вниз до конечных выключателей 98 и 99. Винт 97 приводится во вращение от привода 100 через конические шестерни 101 и 102, флажок 103 может вращаться вместе с шестерней 101, При вращении флажок 103 проходит между излучающими диодами 104, 106 и 108 и фотодиодами 105, 107 и 109. Винтом 110 кассеты 95 могут перемещаться в пазы 11 в горизонтальном направлении (фиг. 2, показано стрелками). Винт 110(фиг. 1) приводится во вращение приводом 111. Перемещение кассет 95 ограничивается конечными выключателями 112 и 1 13,Механизм 4 для выталкивания подложек из кассеты содержит выталкиватель 114(фиг. 1), толкающая часть которого имеет прямоугольную форму, кулису 115, кривошип 116, привод 117, предохранительное устройство 118, ось 119, соединяющую кулису 115 с рамой установки, конечные выключатели 120 и 121,Механизм 5 для затал кивания подложек в кассету(фиг. 1) содержит заталкиватель 70 подложек, кулису 122, кривошип 123, привод 124. ось 125, конечные выключатели 126 и 127.Механизм б для выталкивания фото- шаблона из кассеты (фиг. 1) содержит выталкиватель 128, кулису 129, кривошип 130, привод 131, ось 132, конечные выключатели 133 и 134.Механизм 7 для затал ки ва ни я фотошаблона в кассету (фиг. 2) содержит эаталкиватель 135, кулису 136, кривошип 137, привод 138, ось 139, две направляющие 140, конечные выключатели 141 и 142. Механизм 7 условно показан в горизонтальном положении. Все выталкиватели и эаталкивателив механизмах 4, 5, 6 и 7 для заталкивания и выталкивания подложек и фотошаблоновподпружинены. Механизмы 5, б и 7 имеют такие же предохранительные устройства, которые имеются в механизме 4 (фиг. 1, позиция 118). На корпусе источника 80 света установлен фотодатчик 143 контроля освещения (фиг. 1).Устройство для совмещения и экспонирования работает следующим образом.Робот(не показан) устанавливает кассету 74 (фиг. 1) с подложками 13 и сопроводительный картой 73 в корпус 81, При этом кассета 74 пересекает луч света, выходящий из излучающего диода 82, и фотодиод 83 дает команду на включение привода 87, Последний, вращаясь против часовой стрелки,20 25 30 35 5055 через коническую пару 88 и 89 передает вращение на винт 84, который перемещает корпус 81 с кассетой 74 вниз. флажок 90, вращаясь против часовой стрелки, пересекает луч, выходящий из излучающего диода 91, затемняет фотодиод, который выдает команду нг остановку привода 87. Нижняя ячейка. в которой расположена сопроводительнаяя кэрта 73, останавливается таким образом, что сопроводительная карта 73 оказывается выше направляющих 12 и 14, расположенных на плите 10, на 0,1-1 мм. С остановкой привода 87 включается привод 117, который приводит во вращение кривошип 116, а последний начинает перемещать кулису 115 вправо, вращая ее вокруг оси 119. Кулиса 115 своим верхним концом перемещает выталкиватель 114 в правую сторону, а тот, перемещает сопроводительную карту 73 на стол 1. Сопроводительная карта 73, проходя между пятью излучающими диодами 71 и пятью фотодиодами 72, позволят счигывающему устройству определить номер партии подложек, находящихся в кассете 74. Излучающий диод 75 и фотодиод 76 дают информацию о прохождении сопроводительной карты 73 или подложек 13. На столе 1 по направляющим 12 и 14, если сопроводительной карты 73 или подложки 13 в кассете 74 не оказывается, то устройство останавливается, включается звуковой и световой сигналы (не показаны). После чего опера 1 ср должен выяснить причину отсутствия сопроводительной карты 73 и подложки 13, устранить зту причину и включить устройство для дальнейшей работы. Кулиса 115, дойдя до крайнего правого положения, не останавливаясь, перемещается в левое крайнее положение и конечным включателем 120 останавливается. В то время, когда кулиса 115 находится в крайнем правом положении, конечный включатель 121 включает привод 87 и с некоторой. задержкой привод 124, Привод 87, вращая флажок 90 против часовой стрелки, затемняет фотодиод 94, который выдает команду на отключение привода 87, При этом кассета 74 опускается, а ячейка, в которой должна находиться сопроводительная карта 73, занимает положение, которое ниже расположения направляющих 12 и 14 на столе 1 на 0,1 - 1 мм,Кассета 74 подготовлена для приема сопроводительной карты 73, а включенный привод 124 кривошипам 123 перемещает кулису 122 влево. Вместе с кулисой перемещается заталкиватель 70, который заталкивает сопроводительную карту 73 в кассету 74, Кулиса 122, не останавливаясь в крайнем левом положении, возвращается в исходноенаправляющих 34 и 35 и фотошаблон 23фиг. 1 и 2), После чего обесточивается электромагнит 42 и рычаги 53 и 54 внутреннимисвоими концами с помощью пружин 61 кручения прижимают и зафиксируют фотошаблон 23 на направляющих 34 и 35 (фиг. 3),который также прижат плоской пружиной 65к боковой стенке направляющей 34, Затемвключается привод 131 и кулиса 129 вместеО с выталкивателем 128 занимают крайнееправое положение и привод 131 обесточивается конечным включателем 134,Конечный выключатель 134 также выдает команду на включение привода 100, кото 5 рый вращаясь против часовой стрелки,флажком 103 затемняет фотодиод 105, который выдает команду на отключение привода100. Ячейка без фотошаблона занимает положение на 0,1 - 1 мм ниже направляющихО 34 и 35, При этом положении кассета 95готова принять фотошаблон 23 обратно в туже ячейку, из которой он вышел,Одновременно включением привода131, который перемещает кулису 129 в край 5 нее правое положение, включаются три привода вращения эксцентриковых валов 38,на которых сидят шарикоподшипники 36(фиг, 2).Подвижная рама 33 вместе с зафиксироО ванным на ней фотошаблоном 22 начинаетколебаться на шарикоподшипниках 36, вращающихся эксцентрично и колеблется дотех пор пока базовые знаки 77 на фотошаблоне 23 не совместятся с базовыми знаками5 в датчике 79 базирования.Механизм совмещения в предлагаемомустройстве аналогичен механизму Я 2 МЗ,859, входящему в установку ЭМ - 552 А,Принцип работы механизма совмеще 0 ния серийной установки ЭМА Я 2 М 3.859основан на преобразовании аналогичныхсигналов фотодиодов, реагирующих на световой поток, проходящий через.базовыезнаки фотошаблона в положительные им 5 пульсы переменной скважности при отсутствии совмещения,фотошаблона с егобазовым положением или в постоянныеуровни "Лог, " ТТЛ-логики (останов двигателей механизма совмещения) при совме 50 щении фотошаблона с его базовымположением по координатам Х,У,Е с последующим преобразованием этих сигналов вкоманды управления двигателями механизма совмещения.55 После совмещения базовых знаков одновременно с отключением приводов(фиг. 3) включается привод 87. Флажок 90делает один оборот против часовой стрелкии фотодиодом выдаемся команда на остановку привода 87. Кассета 74 опускается на крайнее правое положение и останавливается конечным выключателем 127,Считывающее устройство дает командуна поиск соответствующего фотошаблона,Для этого, если необходимо, включается 5привод 111, который винтом 110 перемещает корпус 96, а с ним и две кассетц 95 в одноиз нужных крайних положений, В крайнихположениях кассеты останавливаются конечными выключателями 112 или 113, Затем 1включением привода 100 в ту или другуюсторону через коническую пару 101 и 102винтом 97 кассетц 95 поднимаются или опускаются в зависимости от информации считцвающего устройства, и останавливаютсяв том положении, при котором необходимыйфотошаблон 23 занимает исходную позицию для выталкивания его на стол 1, Придвижении кассеты 95 вверх флажок 103 вращается по часовой стрелке и в нужный момент срабатывает фотодиод 107 и привод100 останавливается. При этом нужный фотошаблон останавливается выш.; направляющих 34 и 35 на расстоянии, равном0,1 - 1 мм. При движении кассеты 95 вниз 2флажок 103 вращается против часовой.стрелки и в нужный момент срабатываетфотодиод 109 и привод 100 останавливается. При этом нужный фотошаблон также ос: танавливается выше направляющих 34 и 35 3на расстоянии, равном 0,1-1 мм, В первоми во втором случаях флажок 103 занимаетодно и то же положение между фстодиодами 107 и 109.После того, как фотошаблон займет исходную позицию, предназначенную для выталкивания его на стол 1, включаетсяэлектромагнит 42, который через системурычагов 48 - 50 (фиг. 3, 4), толкатели 44 - 47 ипланку 55 поднимает внутренние края рычагов 53 и 54 на 1 - 2 мм, чтобы под ними могпереместиться фотошаблон 23.Затем включается привод 131 и кулиса129, кривошипом 130 начинает перемещаться в левую сторону, перемещая в ту же 4сторону и подпружиненный выталкиватель128, Последний перемещает фотошаблон 23на направляющие 34 и 35 фиг. 3), По мерепродвижения фотошаблона 23 по направляющим 34 и 35 фотошаблон 23 надавливаетна один из концов рычага 63 фиксации фотошаблона, Другой конец рычага 63 фиксации фотошаблона плоской пружиной 65надавливает на фотошаблон 23 и по мерепродвижения фотошаблона пружина прижимает егок боковой стенке направляющей34 (фиг. 3). Перемещаясь далее фотошаблон23 упирается в основной упор 24 и кулиса129 конечным выключателем 133 останавливается, а вместе с ней осанавливается на20 30 45 50 55 Ф один шаг вниз, Дается команда на включение привода 117, выталкиватель 114 перемещает подложку 13 на стол 1. После того как срабатывает конечный выключатель 121, выталкиватель 114 останавливается и включается 5 электромагнит 20 (фиг. 3) и подложка рычагом 16 и подпружиненным выталкивателем 114 зафиксируется нэ фиксаторах 21 и 22 (фиг. 2).Одновременно с включением электро магнита 20 включается привод 87, который опустит кассету 74, а вместе с ней направляющую пустой ячейки ниже направляющих 12 и 14, расположенных на столе 1, на 0,1 - 1 мм, и по команде от фотодиода 94 15 привод 87 останавливается.После срабатывания электромагнита 20 через отверстие 27 подключается вакуум и к вакуумной присоске 25 присасывается под ложка 13, которая фиксируется на вакуумной присоске 25. Включается привод 117, выталкиватель 114 перемещается влево и занимает исходное положение, Отключается электромагнит 20 и рычаг 16 отходит на подложки 13. Затем через штуцер 28 пода ется сжатый воздух, поршень 26 вместе с подложкой 13 перемещается вверх и подложка 13 прижимается к фотошаблону 23. Дальнейшее передвижение подложки вверх прекращается, так как два винта 31 (фиг. 1) упираются в плиту 10. Затем включается источник 80 света и осуществляется эскпонирование подложки 13. Фотодатчик 143 контроля освещенности(фиг. 1) дает команду на отключение источника 80 света. После окончания операции экспонирования отключается сжатый воздух, поршень 26 (фиг, 3) плоской пружиной 30 опускается вниз(фиг. 1), подложка 13 ложится на направляющие 12 и 14 (фиг, 2), отключается вакуум, включается привод 124 и заталкиватель 70 подложек (фиг, 1 - 3) перемещает подложку в кассету 74 и привод 124, не останавливаясь, возвращает кулису в исходное положение, в котором ее останавливает конечный выключатель 127, А конечный выключатель 126 при контактировании с кулисой в то время, когда она находилась в левом крайнем положении, выдает команду на включение привода 87, Привод 87 опускает кассету 74 вниз на один шаг, равный расстоянию между подложками 13 в кассете 74, и фотодиод выдает команду на включение привода 117, Кулиса перемещает выталкиватель 114 вправо и он следующую подложку направляет)на стол 1 в зону экспонирования, После чего цикл работы устройства повторяется. Шаговое опускание кассеты 74 осуществляется до тех пор, пока последняя подложка не проэкспонируется, После чего конечный выключатель 86 выдает команду на включение привода 87 с обратным вращением и кассета 74 начинает подниматься до тех пор, пока не срабатывает конечный выключатель 85. После остановки кассеты 74 в верхнем крайнем положении кассета 74 с устройства извлекается и на ее место устанавливается другая кассета 74 с неэкспонированными подложками. После чего цикл работы устройства повторяется.Если с сопроводительной карты 73 получена информация, говорящая о том, что фотошэблон 23 на столе 1 необходимо заменить, то считывающее устройство (не показано) выдает команду на включение электромагнита 42, который через систему рычагов отжимает рычаги 53 и 54 от фото- шаблона 23 (фиг, 3), Затем осуществляется включение привода 138 (фиг, 2). Зэталкива - ,ель 135 (фиг. 2) кулисой по направляющим 140 начинает перемещаться вправо, В ту же сторону зэталкиватель 135 перемещает фотошаблон 23, находящийся на столе 1, Как только кулиса занимает крайнее правое положение, фотошаблон 23 заходит в свою ячейку в кассете 95. Срабатывает конечный выключатель 142, который дает команду на поиск и выведение необходимого фотошаб-, лона на исходную позицию и подачу его на стол 1, Кулиса же не останавливаясь в правом крайнем положении перемещается в левое крайнее положение и конечным выключателем 141 останавливается.После того, как дана команда на перемещение фотошаблона на стол 1, цикл работы устройства повторяется,При перемещении подложки и фотошаблона нэ стол 1 для удаления с них пыли осуществляется обдув подложек и фотошаблонов очищенным сжатым воздухом, Устройства для обдува подложек и фотошаблонов условно не показаны.Преимущество предлагаемого устройства в сравнении с известным заключается в следующем.Кассета с подложками и кассеты с фото- шаблонами на предлагаемом устройстве располагаются вертикально, что позволяет предлагаемое устройство использовать в ГАЛФМ (гибкой автоматизированной линии формирования защитной маски), так как имеется возможность автоматизированной замены кассет с подложками и фотошаблонами транспортными роботами,Повышается производительность устройствапутем уменьшения пути прохождения подложки из кассеты на стол 1 в зонуэкспонирования и количества кассет с под- ляющих на столе, а в момент загрузки подложками до одной единицы(в известном две ложек или фотошаблонов в кассеты направкассеты; одна разгрузочная, другая загру- ляющие для подложек или фотошаблонов взочная, что значительно сокращает время ячейках кассет имеют возможность распопри замене кассеты на предлагаемом уст лагаться ниже соответствующих направляройстве).ющих на столе,Уменьшаются габариты устройства пу- То, что рычаги фиксации фотошаблотем ликвидации магазина с фотошаблона- нов механизма фиксации фотошаблоновми выполненного в виде колеса, а также за подпружинены, расположены на подвижсчет сокращения количества кассет с под ной раме и через систему рычагов взаимоложками, (Вместо двух кассет применяется действуют с электромагнитом позволяетодна). надежно закреплять фотошаблоны 23 рычаПовышается надежность работы уст- гами 53 и 54 на подвижной раме 33, безройства, так как в предлагаемом устройстве взаимодействия этих рычагов с рычагами 49подложки и фотошаблоны перемещаются 15 и 50 во время колебания подвижной рамыпринудительно с помощью кривошипно-ку на шарикоподшипниках 36, вращающихлисного механизма, что позволяет умень- ся эксцентрично на валах 38, Для отжатияшить начальную и конечную скорость рычагов 53 и 54 от фотошаблонов 23 (когдаперемещения изделий, а в известном,уст- рама ЗЗ не колеблется) рычаги 53 и встуройстве подложки и ф тфо ошаблоны переме пают во взаимодействие с системой рычача тнос 49 50,щаются по наклонным поверхностям для гов, в частнос рча тности с ычагами 4 и, чтособственным весом, что может приводить к позволяет о тжимать ва ычага 53 и 54 сд рзаеданию, заклинивани о подложек и фото- помощью одного электромагнита 42.То, что рычаг 63 боковой фиксации фоа также возникает возможность раскоос ь раскола и - 25 тошаблона механизма фиксации фотошаблона расположен на подвижной раме 33,делий,То, что основные упоры 22 и 24 (фиг, 2) подпружинен, имеет возможность колебамеханизмов фиксации гюдложек и Фотошаб- тельного перемещения вокруг оси 62, вылонов в и едлагаемом устройстве установ- полнен,клещеобразной формы и один конецлены с и отивоположных сторон от места 30 рычага заканчивается плоской пружиной 65располож ения вакуумной присоски 25(в из- позволяет осуществлять прижим фотошабвестном устроистве оснс основные упоры уста- лона 23 к боковои стенке на р щ128, не и именовлены с одной стороны от вакуумной путем усилия выталкивателя, не примеля той ели от ельного привода, чтоприсоски) позволяет кассету с подложками няя для этой цели отд ьи кассеты с фотошаблонами также располо упрощает конструкцию устройства.жить с противоположных сторон от м,рон от места То, что выталкиватели и заталкивателирасположения вакуумнои присн й присоски, а такое для подложек и фотошаблонов в устройстверасположение кассет позв яол ет выполнить расположены с противоположных сторон отподачу подложек и фотоша лон вблонов на стол 1 соответствующих кассет и при этом заталкивыталкивателями 114 и 128 для осуществле ватель подложек расположен ниже направния процесса экспонирования, а также по- ляющ д фих ля фотошаблона, а заталкивательзволяет осуществлять переметвлять перемещение для фотошаблонов расположен над направподложек и фотоша лоновф б о ов обратно в кассе- ляющими для фотошаблонов позволяет петы заталкивателями 70 и 135, При этом пе- ремещать подложки и фотошаблоны в зонуемещение подложек и фотошащ . ф шаблонов 45 экспонирования и располагать их над вакуосуществляется по самому короткому пути, умной прир щй и исоской на разных уровнях, а зачто позволяет значительно повысить произ- тем с э ртой зоны транспортировать их всоответствующие кассеты.Фо м ла изобретенияводительность труда.Вертикальное расположение кассет с Ф о р м у лподложками и фотоша лофотошаблонами позволяет 50 Устройство для совмещения и экспониполностью автоматизировтизировать процесс экс- рования фотошаблона и подложки, содерпонирования,так как замена кассет осуще- жащее стол с вакуумной присоской,помощью транспортного осветитель, кассеты для подложек и фотоствляется с и мшаблонов, транспортиру щ У Ри ти ю ие ст ойства,Для надежного перемещения подложек 55 механизмы фиксаци дл Фи по ожек и Фотошаби фотошаблонов из кассет на стол 1 и из лонов,о тличаю ееся тем,что,сцельющстола 1 обратно в кассеты направляющие в автоматизации работы, повышения произячейках кассет для подложек и фотоша л -фотошабло- водительности и надежности, в него введе"нов имеют возможность в момунт выгрузки ны выталкиватели и заталкивателинаходиться выше соответствующих нта ощик иапраа- подпожеки фотошабпоиоа. причем аатапки 13167583314ватели расположены по разные стороны от плоскости, в которой расположены направляющие для фотошэблонов, на столе по трассе перемещения подложек по обе стороны от вакуумной присоски установлены упоры, механизм фиксации фотошаблонов выполнен в виде подпружиненных рычагов,расположенных на подвижной раме с воэможностью взаимодействия с приводом, а подпружиненный рычаг боковой фиксации механизма фиксации фотошаблонов выпол нен клещеобразной формы и установлен свозможностью колебательно-вращательного перемещения,1.675833 аоберну Фиг Составитель Ю,Иванов дактор Н,Бобкова Техред М.Моргентал Корректор Н. Коротиям при ГКНТ С изводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 1 Заказ 3001 Тираж ГВНИИПИ Государственного комитета113035, Москва, Ж Подпис о изобретениям и отк 5, Раущская наб., 4(5