Патенты с меткой «электронном»

Страница 2

Способ изготовления реплик с керамических материалов для исследования в электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 960572

Опубликовано: 23.09.1982

Авторы: Бочкарева, Усачев, Христич

МПК: G01N 1/28, G01N 1/44, G01N 23/225 ...

Метки: исследования, керамических, микроскопе, реплик, электронном

...скола напыляют одновременно углерод .иплатину при остаточном давлении невыше 4 10 4 ГПа, На слой углерода иплатины наносят концентрированныйраствор желатина, который после сушки вместе со слоем углерода и платины отделяют от поверхности материала, Отделение слоя углерода и платины от желатина производят растворением его в дистиллированной воде при60"70 С, Углерод-платиновый слой, который и представляет реплику, остаетсяна поверхности воды. Для полной очистки реплики от желатина операцию растворения,его производят дважды. Плавающую на поверхности воды реплику вылавливают на медную сетку-подложку исушат.Полученные таким способом С/Рсреплики с керамических материаловимеют более высокое качество дляисследования микроструктуры по...

Способ получения вторичного поляризованного гаммаизлучения в электронном синхротроне

Загрузка...

Номер патента: 974622

Опубликовано: 23.04.1983

Автор: Туманьян

МПК: H05H 7/10

Метки: вторичного, гаммаизлучения, поляризованного, синхротроне, электронном

...для получения поляризованногогамма-излучения обусловливается необ 45ходимостью устранения внутреннего рассеивания излучения на самой мишени,в то же время это приводит к возможности многократного прохожденияпервичного наводимого пучка через 4 Отакую мишень.Недостатком известного способаявляется невысокая степень поляризации вторичного излучения, определяемая как отношение амплитуды когерентной части к некогерентной частипучка вторичного излучения, что обусловлено значительным угловым разбросом частиц вследствие многократногопрохождения одних и тех же электронов через тонкую кристаллическую ми 5 Ошень.Цель изобретения - увеличить степень поляризации гамма-излучения.Поставленная цель достигается тем.чтов способе получения вторичного...

Устройство для изменения масштабов гравирования в электронном гравировальном автомате

Загрузка...

Номер патента: 1014757

Опубликовано: 30.04.1983

Авторы: Дыл, Эпштейн

МПК: B41C 1/02

Метки: автомате, гравировальном, гравирования, изменения, масштабов, электронном

...изобретения - повышение точности изменения масштаба гравирования,Поставленная цель достигаетсятем, что устройство, содержащеемеханизм продольного изменения,включающий кинематически связанныемежду собой посредством размещеннойна станине каретки рычага, плечоодного из которых соединено со столом для оригинала, а плечо другого -с формным столом, и размещенные впазах рычагов шарниры, один из которых связан с направляющей станины,и механизм поперечного изменениямасштаба, включающий коромысло с 60полэуном, одно плечо которого связано с гравировальной головкой, адругое - с фотоголовкой, и ходовойвинт с гайкой, жестко связанной сползуном коромысла, имеет дополни тельный ходовой винт с гайкой, смонтированной на станине, и зубчатый передаточный...

Устройство отсчета и регулировки увеличения в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1042108

Опубликовано: 15.09.1983

Авторы: Бульба, Веприк, Давиденко, Остапов, Павленко, Удальцов

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскопе, отсчета, растровом, регулировки, увеличения, электронном

...тока разверток, регулятор числа витков включен между Формирующей линзой и стабилизатором тока, а выход регулятора ускоряющего. напряжения соединен с дополнительными входами регулятора числа витков .и усилителя-компенсатора.На чертеже предетавлена схема устройства.В состав РЭМ входят отклоняющая система 1, формирующая линза 2 и исследуемый объект 3. С формирующей линзой соединен регулятор 4 числа витков и стабилизатор 5 тока, образующие канал фокусировки электронного зонда. Канал формирования разверток содержит последовательно включенные задающий генератор б, регулятор 7.увеличения, усилителькомпенсатор 8 и усилитель 9 тока разверток.Схема 10 умножения, аналого-цифровой преобразователь 11, счетчик 12 импульсов и,цифровой индикатор...

Способ подготовки для исследования на электронном микроскопе мелких водных животных

Загрузка...

Номер патента: 1042720

Опубликовано: 23.09.1983

Авторы: Коренева, Маркевич

МПК: A01N 1/00

Метки: водных, животных, исследования, мелких, микроскопе, подготовки, электронном

...необходимости применения особых криостатов, главным образом зарубежного производства, а.такженеобходимость получения и хранениясжиженного углекислого газа.Цель изобретения - устранение дороговизны, малой доступности для исследователей - морфологов и необходимости работы со сжиженными газами.Поставленная цель достигается35тем, что согласно способу подготовкидля исследования нэ электронном микроскопе мелких, водных животных, включающему фиксацию животных органичес 40кими растворителями, химическое обезвоживание, многократную промывкуэфиром при повышении его концентрации и сублимационной сушке последнюю проводят спомощью нафталина,45которым пропитывают животных, предварительно введя нафталин в эфир впроцессе химического...

Устройство для измерения потенциала поверхности в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1058006

Опубликовано: 30.11.1983

Авторы: Ракитин, Трубин, Циунелис

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскопе, поверхности, потенциала, растровом, электронном

...тем,что устройство для измерения потенциала поверхности в РЭМ, содержащееэнергоанализатор,включающий вытяги-вающий и анализирующий электроды, исцинтилляционный преобразовательс фотоэлектронным умножителем, соединенным с одним из входов схемысравнения, выход которой соединенс входом задающего генератора, аляющая.с ФЗУ с определенным коэффициентом, определяемым делителем 13. Принеравенстве сигнала с выпрямителя 10и опорногЬ выходного сигнала схемасравнения регулирует уровень постоян 5 ной составляющей потенциала задержки .на электрод 5 таким образом, чтобывосстановилось равенство сравниваемыхсигналов,Перед началом работы устройство10 измерения настраивается следующимобразом. При разорванной обратнойсвязи и потенциале образца 3 и...

Устройство для изготовления фазовых фильтров для светооптической коррекции изображения в электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1059528

Опубликовано: 07.12.1983

Авторы: Агеев, Анаскин, Токарева

МПК: G02B 5/32

Метки: изображения, коррекции, микроскопе, светооптической, фазовых, фильтров, электронном

...величины дефокусировки электронного микроскопа необходимо изготовление отдельного фильтра.Бель изобретения - расширение корректирукщих возможностей Фильтров путем получения Филвтров с непрерывньм сдвигом фазы. Поставленная цель достигается тем, что в устройство для изготовления Фазовых Фильтров для светооптической коррекции изображения в электронном микроскопе, содержащее .когерентный источник света, полупроз.55 рачное зеркало, коллиматор, две диафрагмы и фотопластину, расположенные соосно, а также систему формирования опорного пучка, состоящую иэ второго .коллиматора и поворотного зеркала, 60 введена положительная линза, установленная между диафрагмами, причем коэффициент сферической аберрации положительной линзы определяется из...

Способ локального рентгеноспектрального анализа образцов в электронном микроскопе с микроанализатором

Загрузка...

Номер патента: 1081496

Опубликовано: 23.03.1984

Авторы: Кипнис, Корсунский

МПК: G01N 23/225

Метки: анализа, локального, микроанализатором, микроскопе, образцов, рентгеноспектрального, электронном

...предназначен для анализа только тонких ббразцов.Известен также способ локального рентгеноспектрального анализа образцов в электронном микроскопе с микроанализатором, включающий выделение анализируемого участка образца и проведение микроанализа.Выделение участка произвоцят по отверстию в образце. Образец при этом помещается в микроскоп, и электронный зонд фокусируется у края отверстия 2 3.Однако при изготовлении отверстия в образце можно частично разрушить область поверхности вблизи отверстия или загрязнить ее.Цель изобретения - обеспечение проведения локального анализа образца беэ его разрушения и загрязнения.Цель достигается тем, что согласно способу, включающему выделение анализируемого участка поверхности образца и проведение...

Способ формирования изображения микроструктуры металл диэлектрика в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1200176

Опубликовано: 23.12.1985

Автор: Олейников

МПК: G01N 23/225

Метки: диэлектрика, изображения, металл, микроскопе, микроструктуры, растровом, формирования, электронном

...потока 2 установлен детектор 3 отраженных электронов. Образец имеет 25 металлическое покрытие 4, нанесенное на диэлектрике 5. Между диэлектриком и покрытием имеется переходный слой 6. С покрытия снимается сигнал, регистрируемый измерительным устрой- ЗО ством 7.На фиг,2 показаны эпюра 8 сигнала отражейных электронов, эпюра 9 поглощенных электронов, эпюра 10азности между этими сигналами и 35 эпюра 11 проинтегрированного разностного сигнала.Способ осуществляют следующим образом.Импульсное облучение образца мо О жет осуществляться как с помощью специальных схем, так и электромеханическим путем, например, с помощью диска с отверстиями, приводимого во вращение электродвигателем, При этом 45 часть электронов отражается, образуя поток...

Гониометрическая приставка для деформирования объекта в электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1205207

Опубликовано: 15.01.1986

Авторы: Абушенков, Аппель, Веркин, Лаврентьев, Мессершмидт, Чернецкий

МПК: H01J 37/20

Метки: гониометрическая, деформирования, микроскопе, объекта, приставка, электронном

...Ина корпусе гониометра, снабженномкарданным сочленением, выполненньемБ виде двух помещенных однО В другоеколец, сси вращения которых распсГн)жены в одной плоскости и разве)- нуты год прямьп углом одна отно - сительнс пругой и Объектодержа - таль Г 2 ",Для устройства характерны надежность конструкции, повышенная плавность к жесткость нагруженяя,т а также большой интервал углов псБзрота ОбъектаДО + 22) .НеДсстатком язвестногс устрОйства является Отсутствие Бозможносги совместить силовое нагружение я,следуемого объекта с его охлаждением до криогенньж температур. Объясняется это тем, что электронные микроскопы с вертикальным вводом обьекта имеют весьма ограниченные габариты рабочего пространства вблизи объекта, так как в...

Способ формирования кадрового ступенчато-пилообразного напряжения в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1224853

Опубликовано: 15.04.1986

Авторы: Морозов, Потахин

МПК: H01J 37/28

Метки: кадрового, микроскопе, растровом, ступенчато-пилообразного, формирования, электронном

...стандартов разложения при повышении надежности за счет исключения системы коммутации и упрощения настройки.На фиг, 1 показана функциональная схема устройства для реализации способа; на фиг, 2 - эпюры напряжений в различных точках схемы. Схема содержит ждущий мультивибратор 1 (фиг. 1), логический блок 2 типа 2-2 И-ИЛИ-НЕ, двенадцатираэрядный счетчик 3 и цифроаналоговый преобразователь,(ЦАП) 4. Эпюры напряжений (фиг. 2) отражают импульсы 5 строчной частоты, импульсы 6 тактовой частоты, импульсы 7 на выходе счетчика при максимальном числе строк в кадре (п=О) и соответствующую ему форму выходного напряжения 8 ЦАП, импульсы 9 на входе счетчика при уменьшении числа строк в кадре в два раза (и 1) и соответствующую форму выходного напряжения...

Способ получения изображения в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1224854

Опубликовано: 15.04.1986

Авторы: Аристов, Казьмирук

МПК: H01J 37/28

Метки: изображения, микроскопе, растровом, электронном

...ВЭ 1-ВЭ 4 соответственно.10 Количество НОЭ, попадающих на детектор, весьма незначительно (менее1 Е) и в дальнейшем может не учиты- .ваться.Сигнал вторичной эмиссии можнозаписать в видеБар =к т(1+ Вг)(2)Этот сигнал будет на выходе детектора в том случае, если задержать третичные и фоновые электроны, подавая 20 на пластину 5 (фиг. 1) положительныйпотенциал порядка 5 ОВ,Количество образуемых в РЭМ вторичных, третичных и фоновых электронов связано между собой соотношением 25Вг =о(Я;+8,), (3)где М - коэффициент пропорциональности,Вычитая из суммарного электричесЗ 0,кого сигнала сигнал вторичной эмиссии, имеемБ -Б=кцт (8,+В)(4)Усиливая разность (Я - Б ) в 2 раза и вычитая ее из сйгнала вторичной 35.эмиссии, получим 8=К Т , (5)Таким образом,...

Устройство для регистрации неупругоотраженных электронов в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1265887

Опубликовано: 23.10.1986

Авторы: Аристов, Казьмирук

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскопе, неупругоотраженных, растровом, регистрации, электронном, электронов

...относительно задерживающей сетки 7, поэтому любой его участок можно подвести в область сканирования электронного пучка. Поэтому неосвещенные пучком участки на образце отсутствуют.П р и м е р. Секционированная пре. образовательная пластина состоит из трех концентрических колец с внешним диаметром 40, 65 и 90 мм, выполненных подобно токоведущим дорожкам печатной платы из фольгированного стек" лотекстолитаКольца покрыты окисью магния для увеличения коэффициента вторичной эмиссии.Задерживающая и вытягивающая сетки изготовлены из стандартной стальной сетки с площадью ячейки 1 мм и Фпрозрачностью около 603, Задерживающая сетка в виде полусферы радиусом 12 мм закреплена посредством пайки на экране в виде трубки с внутренним...

Способ приготовления образца дифракционной решетки для исследования в электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1272160

Опубликовано: 23.11.1986

Авторы: Дегтева, Сулабе, Тихомиров

МПК: G01N 1/28, G01N 1/36

Метки: дифракционной, исследования, микроскопе, образца, приготовления, решетки, электронном

...заключается в следующем. 1 ОНа поверхность дифракциоиной решеткичерез заслонку в вакууме напыляют углерод толщиной 1 О - 20 нм. Заслонка необхо.дима для получения более прочного слоя.Для уменьшения времени изготовления реп.лики желательно дополнительно напылить15углерод без использования заслонки такойтолщины (30 - 40 нм), чтобы прн перегибе реплика не рвалась, После напыленияуглеродную реплику отделяют от поверхности решетки с. помощью желатина. По 2 овысохшей поверхности желатина делают разметку образца, одна из сторон которогопараллельна линии перегиба, перпендикулярной направлению штрихов решетки. Далеевырезают образец, отмывают его от желатина в дистиллированной воде и вылавливают на ребро сетки-подложки, подводя ееснизу под...

Устройство для измерения потенциала поверхности в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1274028

Опубликовано: 30.11.1986

Авторы: Денисюк, Добролеж, Клименко, Мен

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскопе, поверхности, потенциала, растровом, электронном

...устройство работает врефлекторном режиме, т,е. с замкнутой цепью обратной связи. 25При изменении потенциала образца,например, в сторону отрицательныхзначений энергетический спектр вторичных электронов смещается в область более высоких энергий. При этом 30уменьшается глубина высокочастотноймодуляции потока электронов и, соответственно, уровень переменной составляющей сигнала на выходе энергоанализатора. Связанное с этим умень- З 5шение числового значения кода АЦП 11по сравнению с опорным ведет в результате работы цифрового процессора1.: к появлению на выходе ЦАП 13 управляющего сигнала обратной связи, 40который с помощью схемы 14 сравненияизменяет величину постоянной состав-ляющей напряжения задержки на анализирующем электроде 5, смещая...

Устройство для разметки магнитной ленты при электронном монтаже видеофонограмм

Загрузка...

Номер патента: 1283844

Опубликовано: 15.01.1987

Авторы: Бухонин, Никольский, Силов

МПК: G11B 27/02

Метки: видеофонограмм, ленты, магнитной, монтаже, разметки, электронном

...2, который устанавливает реверсивный счетчик 12 в нулевое состояние. Информация о положении магнитной ленты со счетчика 1 ленты поступает на первый логический элемент 2, воздействующий на реверсивный счетчик 12, подсчитывающий импульсы, характеризующие скорость ее движения. Во второй момент времени переключатель 3 режимов работы видеомагнитофона по команде с первого логического элемента 2 выдает команду в блок 5 управления на включение режима перемотки назад,3 12838В третий момент времени переключатель 3 режимов работы видеомагнитофона по команде с первого логического элемента 2 выдает команду вблок 5 управления на включение режима воспроизведения,В четвертый момент времени первый логический элемент 2 выдает впереключатель 3 режимов...

Способ обработки видеосигнала в растровом электронном микроскопе и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 1285544

Опубликовано: 23.01.1987

Автор: Камалягин

МПК: H01J 37/28

Метки: видеосигнала, микроскопе, растровом, электронном

...на вход блокиронки анализа второго блока 10 автоматической нормализации экстремумон, который выделяет локальные экстремумы видеосигнала, соответствующие малоконтрастному фрагменту, и поним регулирует уровень черного и размах видеосигнала. Видеосигнал 19(фиг. 2) с выхода второго блока 10ан гоматической нормализации экстремумов позволяет сформировать изображение с высоким контрастом н пределах выбранного оператором фрагмента,за пределами которого часть информации, оказавшаяся ниже уровня 22 черного и выше .уровня 21 белого, теряется.Обработанный видеосигнал 20 (фиг.2),используемый для воспроизведенияизображения микрообъекта на экранеЭЛТ нидеоконтрольного блока 12, снимается с выхода коммутатора 13,управляемого сигналом 16...

Устройство для масштабирования изображения в электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1310922

Опубликовано: 15.05.1987

Автор: Онищенко

МПК: H01J 37/295

Метки: изображения, масштабирования, микроскопе, электронном

...индикатора 17 соединен с блоком 19 управления фотосъемкой электронного микроскопа,Устройство работает следующим об" разом.Электронный поток экранируется двумя металлическими иглами 3 и 5 над люминесцентным экраном 2. В процессеконтроля изменяют расстояние между концами экранирующих игл пропорционально размерам между заданными точками объекта на изображении, Электрический сигнал с преобразователя 11 поступает на вход первого АЩ 1 18, где преобразуется в цифровую величину, пропорциональную продольному смещению игл по координате Х, и далее возводится в квадрат в первом квадраторе 21, после чего поступает на первый вход сумматора 22. Электрический сигнал с преобразователя 12 поступает на вход второго АЦП 19, где преобразуется в цифровую...

Способ получения поляризованного гамма-излучения в электронном синхротроне

Загрузка...

Номер патента: 1412013

Опубликовано: 23.07.1988

Авторы: Запольский, Маркарян, Симонян, Туманьян

МПК: H05H 13/00

Метки: гамма-излучения, поляризованного, синхротроне, электронном

...том, что частицы из устойчивой области, ограниченной треугольной сепаратрисой на фазовой плоскости (г, г ), выводятся в неустойчивую область, где движутся вдоль ветвей сепаратрисы по закону, в удовлетворительном приближении, описывае О мом выражением ьг=Кггден 11Ъ к-ьг - шаг изменения радиальной координаты частицы на 1-м цикле," г1 - радиальная координата частицы по отношению к возмущающей замкну той орбите на Ь)-м цикле, 1 - номер цикла (цикл равен трем оборотам). Для вывода необходимо, чтобы на каждом обороте одна из ветвей была направлена к мишени. Через каждые три оборота ветви повторяют свою ориентацию относительно мишени, поэтому движение частиц по ветвям сепаратрисы должно быть таким, чтобы на каждом третьем обороте координаты...

Вычислительный томограф на электронном парамагнитном резонансе

Загрузка...

Номер патента: 1413496

Опубликовано: 30.07.1988

Автор: Терентьевский

МПК: G01N 24/10

Метки: вычислительный, парамагнитном, резонансе, томограф, электронном

...соединенного по входу с выходом интегратора 11 и подключенного выходом к модуляционным катушкам.Блок 6 управления градиентом подает напряжение на градиентные катушки 4 и в определенной плоскости, проходящей через образец, находящийся в резонаторе 2, с помощью магнитного поля от постоянного электромагнита 3 и градиентного поля от градиентных катушек 4 выделяется резонансная плоскость. Г 1 ри сканировании этой резонансной плоскости магнитным полем от модуляционных катушек 5 на выходе блока 1 регистрации и управления ЭПР-спектром етра дважды появляется ЭПР-сигнал, первый раз на возрастающем склоне треугольного импульса и во второй раз на его убывающем склоне, В процессе первого появления ЭПР-сигнала при его поступлении на АЦП 9...

Устройство для поиска информации в электронном словаре

Загрузка...

Номер патента: 1513478

Опубликовано: 07.10.1989

Авторы: Городничий, Журавлев, Корнейчук, Михайлюк, Новиков, Савельев

МПК: G06F 17/30

Метки: информации, поиска, словаре, электронном

...ИЛИ группы 8, поступит на второй вход сумматора 6, на первый вход которого с выхода регистра 4 поступает адрес нулевой ячейки, Полученная сумма (А + К) с выхода сумматора 6 запишется в регистр 4 по заднему Фронту сигнала,поступившего на его вход с первоговыхода 5 блока 3 управления под действием Т 1 (т.е. по заднему ФронтуТ 1), Под действием импульса Т 2 натретьем выходе 11 блока 3 управленияпоявится сигнал, открывающий первуюгруппы 13 элементов И. С разрядов16 16.16 выходной шины16 регистра 17 относительный адрес,содержащийся в соответствующих раз 53478рядах нулевой ячейки через открытые элементы И группы 13 и элементы ИЛИ группы 8 (элементы И второй группы 12 к этому времени уже закрыты), по, ступит на второй вход сумматора 6,на...

Устройство для формирования тестового изображения в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1527548

Опубликовано: 07.12.1989

Авторы: Бирюкова, Рыбалко

МПК: G01N 23/225, H01J 37/00

Метки: изображения, микроскопе, растровом, тестового, формирования, электронном

...соответстнуетвпадинам устройства, На Фиг, 3 в увеличенном виде показана одна из впадинс силовыми линияьо 3 электрического поля, траекторией 4 первичного зонда итраекторияье 5 вторичных электронов.Кривые 6, 7, 8 и 9 на фиг, 4 полученыэкспериментально для различных соотношений соответственно Ь =0,5; 1,О; 1,5;3,0,Устройство работает следующим образом,При сканировании зубчатой структуры поверхности устройства вторичноэмиссионный сигнал не изменяется, пока зонд облучает хорошо отражающийматериал ныступа и пока расстояниеот точки облучения до границы выступа не станет меньше радиуса областивыхода регистрируемых электронов,Далее, поскольку с боковой поверхности выступа также начинают выходитьэлектроны, то амплитуда видеосигналаначинает...

Перемагничивающее устройство для термомагнитных исследований в просвечивающем электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1531182

Опубликовано: 23.12.1989

Авторы: Василенко, Воробьев

МПК: H01J 37/26

Метки: исследований, микроскопе, перемагничивающее, просвечивающем, термомагнитных, электронном

...противоположно направленными полями, которые создают катушки 5 и 6 компенсации отклонения на последовательно расположенныхмагнитопроводах 2 и 3. Изменение направления намагничивающе го поля в плоскости образца осуществляют поворотом магнитопроводов 1-3 с катушками 4-6, укрепленных на латунной гильзе 7, вокруг неподвижного образца 9, установленного в патрон 8. 25 Нагрев образца 9 осуществляется нагревателем 10, Необходимая температура в диапазоне от 170 до 670 К устанавливается регулировкой тока, пропускаемого через нагреватель 10, и 30 отводом тепла при помощи кронштейна 11 и хладопровода 12.Использование пермаллоевых магнито проводог, в виде разрезанных колец прямоугольного профиля с уменьшающейся в области зазора площадью...

Способ приготовления образцов порошкообразных объектов для исследования в просвечивающем электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1559263

Опубликовано: 23.04.1990

Авторы: Григорьева, Ерофеев

МПК: G01N 1/28, G01N 1/36, G01N 23/225 ...

Метки: исследования, микроскопе, образцов, объектов, порошкообразных, приготовления, просвечивающем, электронном

...частицы порошксоединяют с инертной жидкостью иготавливают суспензию, напримердом перемешивания. Приготовленнуюспекзию продавливают через твердпористый фильтрующий элемент, сттура которого подобна губке. В п неи исследуемыми ча - Л ную часть матрицы ус- лектронно-Аикрсскопи1559263 нейшее препарирование производили по стандартному методу ультратонких срезов. Полученные срезы фильтрующего элемента толщиной 300 А закреплялись на электронно"микроскопической сетке.Из примеров видно, что по предложенному способу образцы могут приготовляться из смеси разнородных материалов, включая металлы, а также из малых примесей, содержащихся в сырье,Формула изобретения Составитель В.ГаврюшинТехред М.Дидык . Корректор М.Самборская Редактор В,Данко Заказ...

Способ измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1569912

Опубликовано: 07.06.1990

Авторы: Немцев, Немцева, Симонов

МПК: H01J 37/28

Метки: диаметра, зонда, микроскопе, растровом, электронного, электронном

...переходной области на этихуровнях. Поэтому измеряют протяженность участка нарастания сигнала отуровня Я, + 0,3(Б - Б) до уровня1 Б + 0,69(Я - Я) на резком участке переходной области (т.е. времяпрохождения зондом расстояния, равно 55го параметру 6 в распределенииГаусса),При этом с увеличением энергииэлектронов зонда РЭМ не сказывается расширение области взаимодействияпервичных электронов с краями вольФрамовой пленки, и точность определениядиаметра зонда не изменяется,П р и м е р. Для измерения диаметра электронного зонда изготавливаютспециальный объект, представляющийсобой набор участков вольФрамовойпленки на кремниевой подложке,Изготовление объекта осуществляют методом ФотолитограФии.Приготовленный объект устанавливают в камеру РЭМ и...

Способ возбуждения медленной циклотронной волны в электронном пучке

Загрузка...

Номер патента: 1212306

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Иванов, Прищепов

МПК: H03H 9/00

Метки: возбуждения, волны, медленной, пучке, циклотронной, электронном

...является повыше- , - минимальное значение простние избирательности при возбуждении ранственного инкремента волтребуемого типа волны, что позволяет 16 ны требуемого типа;повысить эффективность использования ., - пространственный инкременттаких пучков для автореэонансного . конкурирующей волньцускорения ионовт.к. подавляются ьц, - полуширина резонансной крипараэитные типы колебаний вой, для конкурирующей волны;Изобретение поясняет пример воз-. 15," продольная скорость электронбуждения медленной циклотронной вол- ного пучка;ны (ИЦВ) в. электронном пучке при егои А, - начальные амплитуды требуе-прохождении вдоль оси спиральноймой волны .и конкурирующейзамедляющей структуры, находящейся волны,во внешнем резонансном магнитном по" длина...

Способ фиксирования образцов при исследованиях в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1608531

Опубликовано: 23.11.1990

Автор: Филиппов

МПК: G01N 1/36, G01N 23/225

Метки: исследованиях, микроскопе, образцов, растровом, фиксирования, электронном

...в процессе поующие операций. На подготовленный м образом держатель образцов, наблюв оптический микроскоп. размещают кты исследования. Затемдержательобов с установленными объектами поме(55 0 01 К 23/225,1/28(54) СПОСОБ ФИКСИРОВАНИЯ ОБРАЗЦОВ ПРИ ИССЛЕДОВАНИЯХ В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ (57) Изобретение позволяет снизить вероятность загрязнения исследуемой поверхности образца. Для этого слой клеевого состава высушивают после нанесения его на обьектодержатель. Затем на высушенную поверхность устанавливают образец и парами растворителя размягчают клеевой состав. щают в сосуд, на дно которого наливают необходимое количество растворителя, например ацетон, для клея "Суперцемент", и накрывают стеклом. При этом пары растворителя...

Устройство для зондирования микросхем в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1615822

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Веприк, Никифоров, Феклистов, Шестаков

МПК: H01J 37/26

Метки: зондирования, микроскопе, микросхем, растровом, электронном

...карта 3 с пьезоподъемником 4, выполненным в виде кольцевого элемента с иглами 5, крепящимися к его внутренней поверхности с помощью эпоксида 6. Два пьеэокерамических кольца 7 соединены через металлическую шайбу 8 и образуют биморфное кольцо пьезоподъемника 4, На контактирующих поверхностях колец 7 и металлической шайбы 8 выполнена насечка. Кольца 7 и шайба 8 снабжены электроподводами 9. Шайба 8 улучшает механические характеристики кольца при изгибе, а насечка предотвращает сдвиг элементов кольца друг относительно друга.Устройство работает следующим образом,На предметный столик 1 помещают. исследуемую интегральную микросхему (не показана) и объем вокруг столика вакуумируется. Затем на биморфное кольцо пьезоподъемника 4 подают...

Устройство для исследования полупроводниковых пластин в электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1619356

Опубликовано: 07.01.1991

Авторы: Веприк, Краснянский, Никифоров, Феклистов

МПК: H01J 37/26

Метки: исследования, микроскопе, пластин, полупроводниковых, электронном

...пластина помещается на столик 1 под зондовую карту 5, которая опускается до образования зазора примерно в 1 мм между ней и пластиной. Затем объем вокруг столика вакуумируется и произ" водятся исследования. Для осуществления контакта игл 7 с пластиной опускают подвижное. кольцо 6, пропуская электрический ток через терморегулирующий элемент 10. Поскольку элемент 10 контактирует с гофрированным наполненным кольцевым газом элементом 9, происходит либо расширение,либо сжатие газа, что воздействует на гофрированные стенки кольцевого элемента 9. Тем самым осуществляется подъем-опускание кольца 6 с иглами 7. Полупроводниковая пластина перемещается по осям горизонтальным, а также вращается при поднятом кольце 6 .зондовой карты 5 за счет...

Устройство для контактирования интегральных схем в растровом электронном микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 1626467

Опубликовано: 07.02.1991

Авторы: Баскенов, Никифоров, Пухкало, Феклистов, Шестаков

МПК: H05K 1/11

Метки: интегральных, контактирования, микроскопе, растровом, схем, электронном

...и блоком зондов.Устройство для контактирования интегральных схем содержит столик 1 и зондодержатель 2 с иглами 3, Зондодержатель 2 связан с электромагнитом 4 посредством толкателя 5 и имеет центральное подвижное кольцо 6, Между зондодержателем 2 и блоком зондов 6 установлено биморфное пьезокерамическое кольцо 7, являющееся составной частью поджимающего узла 8, В состав узла 8 входит также болт 9 и пружина 10,Устройство работает следующим образом,Исследуемая интегральная схема помещается на столик 1, размещенный в вакуумном объеме, Включается электронный луч, и с помощью электромагнита 4 опускается эондодержатель 2 до максимального сближения (но не контакта) игл с интегральной схемой. На пьезокерамические биморфные кольца 7 подаются...