Способ измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
да вторичных электронбв 5-10 нм,поэтому уровень Я определяется только.пленкой вольйрайа и значительнд пре.вышает уровень Я . Использование достаточно тонкого слоя вапьФрама 10 -50 нм позволяет уменьшить влияниебоковых граней на сигнал вторичнойэмиссии, так как кремниевая подложкапод участком с вольФрамом и вне егоодинакова.Малая толщина вольФрамовой пленки обеспечивает малую величину топограФического контраста от,:ступеньки по сравнению с композиционным контрастом (от атомного номера).В результате на Форме сигнала отсутствует максимум, характерный дляобычной достаточно высокой ступенькина однородном материале. Наличие мак:симума обычно сопровождается расширением переходной области в сигнале.;за счет эФФектов самозатенения вторичных электронов и не позволяетприменять известные расчетные Форму.лы, Уменьшение толщийы вольФрамовой 25пленки менее 10 нм приводит к уменьшению уровня Б за счет участиякремниевой подложки в Формированиисигнала и,как следствие, к нежелательному уменьшению композиционногоконтраста и уменьшению отношениясигнала к шуму. Увеличение толщинывольФрамовой пленки вьппе 50 нм приводит к нежелательному увеличениютопограФического контраста, Малаятолщйна вольФрамовой пленки обеспечивает также малое "размытие" краяпленки в горизонтальном, направлении.При определении диаметра зонда.по Форме сигнала обычно считают,чтораспределение электронов в зонде подчиняется гауссовскому закону, а диаметром зонда является размер участка,на котором сигнал возрастает от уровНЯ Я( + Ор 1 Я.р - Я ) до уровня Б+ 15+ 0,9(Я - Б, ), Однако, если измерение диаметра зонда проводить по этимуровням, то точность невысока из-запологой переходной области на этихуровнях. Поэтому измеряют протяженность участка нарастания сигнала отуровня Я, + 0,3(Б - Б) до уровня1 Б + 0,69(Я - Я) на резком участке переходной области (т.е. времяпрохождения зондом расстояния, равно 55го параметру 6 в распределенииГаусса),При этом с увеличением энергииэлектронов зонда РЭМ не сказывается расширение области взаимодействияпервичных электронов с краями вольФрамовой пленки, и точность определениядиаметра зонда не изменяется,П р и м е р. Для измерения диаметра электронного зонда изготавливаютспециальный объект, представляющийсобой набор участков вольФрамовойпленки на кремниевой подложке,Изготовление объекта осуществляют методом ФотолитограФии.Приготовленный объект устанавливают в камеру РЭМ и ориентируют так,чтобы полоски вольФрамовой пленкибыли перпендикулярны направлению сканирования, Затем производят сканированиеэлектронным зондом с энергиейэлектронов. 30 кэВ при увеличении50 000 и регистрирующий сигнал токавторичной эмиссии. Далее производятФотограФирование сигнала с экранавидеоконтрольного устройства и затемпри печатании с негатива увеличиваютизображение в 10 раз. Затем по отпечатку определяют размер участка 1 == 3 мм, на котором сигнал меняетсяв заданных пределах.Далее вычисляют диаметр зондаР = 15,6 нм,Формула изобретенияСпособ измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе, включающий сканирование объекта с выступами прямоугольного сечения в перпендикулярном к их боковым граням направлении, регистрацию сигнала тока вторичной эмиссии с поверхности объекта и определение диаметра электронного зонда по параметрам Формы регистрируемого сигнала, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения Функциональных возможностей за счет расширения диапазона измерений в сторону увеличения энергии электронов зонда при сохранении точности, в качестве объекта используют участки вольФрамовой пленки толщиной 1050 нм на кремниевой подложке, а диаметр электронного зонда определяют из выражения0=261 й. М где 1. - протяженность Фронтальной части сигнала в пределах изОба.8,) СоставитеЛь В,ГаврюшинТехред М,Ходанич Корректор О,Ципле актор О. Головач Тираж 405Подписноеарственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 1454ВНИИПИ Гос омбинат "Патент", г. У)кгород, ул. Гагарина, 10 Производственно-издатель 5 1569912менения его уровня от Я, +
СмотретьЗаявка
4487251, 28.09.1988
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6429
НЕМЦЕВ ГЕННАДИЙ ЗИНОВЬЕВИЧ, СИМОНОВ АНАТОЛИЙ НИКОЛАЕВИЧ, НЕМЦЕВА НИНА СТЕПАНОВНА
МПК / Метки
МПК: H01J 37/28
Метки: диаметра, зонда, микроскопе, растровом, электронного, электронном
Опубликовано: 07.06.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1569912-sposob-izmereniya-diametra-ehlektronnogo-zonda-v-rastrovom-ehlektronnom-mikroskope.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе</a>
Устройство для стабилизации уровня сигнала
Номер патента: 446874
Опубликовано: 15.10.1974
Авторы: Ефремов, Колгин, Кондрашов, Рыкачевский, Стрелов
МПК: G05B 11/06
Метки: сигнала, стабилизации, уровня
...напряжения и усилитель 12 проходит на выход устройства. Выпрямленный выКорректор Л. Котова актор Б. Нанкина Изд.1213И Государственногопо делам изобМосква, Ж, Р ПодписноеССР Тираж 760омитета Совета Министетений и открытийаушская наб., д. 4/5 Заказ 1069/6ЦНИ ппография, пр. Сапунова, 2 ЯВИТЕЛЕМ МОДУЛЯ 4 ВЫХОДНОЙ СивнаЛ Увык аЛ- гебраически суммируется с опорным напряжением 1.1 получаемым от источника опорного напряжения 6. Сигнал рассогласования ЛУ с выхода сумматора 7 поступает через потенциометрический угравляемый делитель напряжения 3 на вход электромеханического интегратора 5. Двигатель 9 электромеханического интегратора 5, отрабатывая сигнал рассогласования, через тормозную муфту 13 и редуктор 14 вращением движка потенциометрического...
Компенсатор скачка уровня сигнала
Номер патента: 1150728
Опубликовано: 15.04.1985
МПК: H03G 3/20
Метки: компенсатор, сигнала, скачка, уровня
...сумматора и входом блока деления, а выход соединен с вычитающим входом дополнительного алгебраического накапливающего сумматора, и четвертый элемент задержки, вход и выход которого соединены соответственно с выхОдом элемента совпадения и входом разрешения записи элемента памяти, выход порогового элемента соединен с другим входом элемента совпадения, выход элемента с регулируемым коэффициентом передачи является выходом компенсатора.На фиг. 1 представлена структурная электрическая схема компенсатора скачка уровня сигнала; на фиг. 2 - эпюры напряжений, поясняющие работу ком пенсатора скачка уровня сигнала,Компенсатор скачка уровня сигнала содержит первый элемент 1 задержки, второй элемент 2 задержки, элемент 3 с регулируемым...
Устройство автоматической установки калиброванных уровней сигнала
Номер патента: 1318922
Опубликовано: 23.06.1987
Авторы: Баковецкий, Максимов, Петренко
МПК: G01R 21/00
Метки: автоматической, калиброванных, сигнала, уровней, установки
...проводится калибровка этого управляемого аттенюатора 2 для других значений ослабления, однако запись кодов второго цифроаналогового преобразователя 10 производится5 13по другим адресам первого блока 16,Таким образом, по окончании калибровки второго управляемого аттенюатора 2 в соответствующем блоке 16 по заранее заданным адресам заносятся коды для второго цифроаналогового преобразователя 10, обеспечивающие получение заданных значений ослаблений калибруемого второго управляемого аттенюатора 2.Затем для проведения калибровки ослаблений третьего управляемого аттенюатора 2 на вход второгоцифроаналогового преобразователя 10 подается информация, соответствующая начальному ослаблению второго управляемогоаттенюатора 2. Калибровка...
Устройство индикации канала с экстремальным уровнем сигнала
Номер патента: 1467518
Опубликовано: 23.03.1989
Автор: Брезгунов
МПК: G01R 19/30
Метки: индикации, канала, сигнала, уровнем, экстремальным
...ИЛИ 12 с другимвходом и выходом триггера 8 в каждой последующей цепи,Импульс с выхода триггера 8 черезэлемент ИЛИ 3 устанавливает триггер1 в нулевое состояние, вследствиечего генератор 2 возвращается в ис,ходное состояние и через элемент 5,время задержки которого равно максимальному времени установки триггеров8,-8; (через элементы ИЛИ 2,-12, )в нулевое состояние, поступает навторые входы элементов И 10,-10, иединичный сигнал с выхода триггера 8цепи с максимальным напряжением через элемент И 10 устанавливает триггер 9 этой цеги в единичное состояниеи в результате нулевой сигнал с выхода элемента И 11 закрывает ключ 6данной цепи, На втором выходе триггера 6 цепи с максимальным напряжениемпоявляется единичный сигнал, На...
Устройство для выбора канала с максимальным или минимальным уровнем сигнала
Номер патента: 1697270
Опубликовано: 07.12.1991
Автор: Руднев
МПК: H04J 7/00
Метки: выбора, канала, максимальным, минимальным, сигнала, уровнем
...(фиг, 2 г) на выходе первогокоммутатора 1 (последовательность на фиг.2 д) выделяется период напряжения пятогоканала, а на выходе второго коммутатора 2(последовательность на фиг. 2 е) - период седьмого канала, Напряжение на выходе компаратора3 (фиг. 2 ж) в соответствии с О 7 О 5 имееет высокииуровень на положительном полупериоде и низкий на отрицательном. В момент переходанапряжения (фиг. 2 г) от высокого уровня книзкому триггер 5 удерживается в нулевомсостоянии по входу В высоким уровнем последовательности, указанной на (фиг. 2 ж), и состояние его не изменяется: в регистре 6остается адрес седьмого канала. Очередным перепадом последовательнск;ти (фиг. 2 д)счетчик 4 устанавливается в шестое положение, первый коммутатор 1 подключает на...
Предыдущий патент: Способ фоторегистрации видеосигнала с экрана электронно лучевой трубки видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа
Следующий патент: Способ изготовления фотоприемника
Случайный патент: Узел податливости шахтной крепи