Устройство для формирования тестового изображения в растровом электронном микроскопе
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Изобретение относится к техникеэлектронной микроскопии и может бытьиспользовано для создания тест-объектов, предназначенных для калибровкиразрешающей способности и масштабаувеличения в растровых электронныхмикроскопах,Целью изобретения является повышение контраста формируемого изображения эа счет усиления поглощениявторичных электронов н промежуткахмежду впадинами зубчатой поверхностиустройства.На фиг, 1 показано предлагаемоеустройство, поперечный разрез; нафиг, 2 - форма видеосигнала при сканировании первичного электронногозонда поперек к зубчатой поверхности;на фиг, 3 - линзовая конфигурацияэлектрического поля, возникающая призарядке диэлектрического дна впадины устройства; на фиг. 4 - зависимости отношения величин контраста Кдля предлагаемого устройства и К 25для устройства с проводящим дном впадин от энергии Е електронон зонда,нормированной величиной энергии Ео,соответствующей коэффициенту вторичной эмиссии, равному единица.30Рабочая поверхность устройстваобразована ( фиг, 1) последовательнорасположенными выступами 1 прямоугольног поперечного сечения, которые чередуются с нпадинами 2 шириной Г и глубиной й, 35Выступы и впадины могут быть образованы чередующимися слояьы различныхматериалов, При этом ширина образованных выступов превышает расстояние меж 40ду ними, т,е, размер ь, а дно впадинвыполнено иэ диэлектрика (например,диоксид кремния) с меньшим атомнымвесом по сравнению с материалом, иэкоторого образованы выступы ( например, 45золото), Отношение величин Ь(6 выбирается не менее единицы. В показанной нафиг, 2 форме видеосигнала резкое уменьшение его амплитуды соответстнуетвпадинам устройства, На Фиг, 3 в увеличенном виде показана одна из впадинс силовыми линияьо 3 электрического поля, траекторией 4 первичного зонда итраекторияье 5 вторичных электронов.Кривые 6, 7, 8 и 9 на фиг, 4 полученыэкспериментально для различных соотношений соответственно Ь =0,5; 1,О; 1,5;3,0,Устройство работает следующим образом,При сканировании зубчатой структуры поверхности устройства вторичноэмиссионный сигнал не изменяется, пока зонд облучает хорошо отражающийматериал ныступа и пока расстояниеот точки облучения до границы выступа не станет меньше радиуса областивыхода регистрируемых электронов,Далее, поскольку с боковой поверхности выступа также начинают выходитьэлектроны, то амплитуда видеосигналаначинает возрастать, пока зонд непересечет границы выступа, При этомамплитуда резко уменьшается с однойстороны за счет меныпего коэффициента отражения материала впадины, имеющего меньший атомный вес, а с другойстороны - за счет того, что диэлектрическое дно впадины, заряжаясь приоблучении, создает в совокупности спроводящими бокоными стенками ныступа рассеивающую линзу, силовые линии поля в которой отклоняют вторичные электроны на боковые стенки, Начиная с отношения Ь/С 1 это приводитк дополнительному снижению числа электронов, выходящих из пространства впадины, и более сильному уменьшению амнлитуды видеосигнала, Соответственноувеличивается контраст формируемогоизображения н достаточно широком диапазоне энергиий электронов первичногозонда.Более сильно эффект проявляется вдиапазоне низких энергий,Формула из обр ет ения УстРойство для форьиронания тестового иэображения в растроном электронном микроскопе, выполненное н виде подложки с последовательно расположенными проводящими выступами прямоугольного поперечного сечения, причем ширина выступов превышает расстояние между ниьи, а дно впадин ныполнено иэ диэлектрика с меньшим атомным весом по сравнению с материалом выступон, о т л и ч а ю Щ е е с я тем, что, с целью повышения контраста формируемого иэображения, глубана впадин не меныпе расстояния между выступания,1527548 Корректор Н, Корол оизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужг 101 ул, Гага Составитель В.ГаврюшРедактор И, Грьая Техред М. Дидык Заказ 7505/49 Тираж 789ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям113035, Москва, Ж, Раушскаяна открытиям д, 4/5
СмотретьЗаявка
3898766, 21.05.1985
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
БИРЮКОВА ТАТЬЯНА НИКОЛАЕВНА, РЫБАЛКО ВЛАДИМИР ВИТАЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01N 23/225, H01J 37/00
Метки: изображения, микроскопе, растровом, тестового, формирования, электронном
Опубликовано: 07.12.1989
Код ссылки
<a href="https://patents.su/4-1527548-ustrojjstvo-dlya-formirovaniya-testovogo-izobrazheniya-v-rastrovom-ehlektronnom-mikroskope.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для формирования тестового изображения в растровом электронном микроскопе</a>
Устройство для электронной записи видеосигнала
Номер патента: 605339
Опубликовано: 30.04.1978
Автор: Серегин
МПК: H04N 5/76
Метки: видеосигнала, записи, электронной
...10На фиг. 1 приведена структурная электрическая схема предложенного устройства; на фиг. 2 - временные диаграммы.Устройство для электронной записи видеосигнала содержит последовательно соединен ные задающий генератор 1 и синхрогенератор 2, первый выход которого соединен через генератор 3 кадровой развертки с кадровой отклоняющей катушкой 4, а второй выход соединен с первыми входами формирователей 5 20 и 6 импульсов сброса и импульсов сдвига, при этом второй вход последнего соединен с входом синхрогенератора 2, а выход соединен с одним из входов формирователей 7 - 9 импульсов опроса, импульсов записи, импульсов 25 остановки и с вторым входом формирователя 5, выход которого соединен с другим входом формирователя 9 и с первым входом...
Устройство для электроэрозионного упрочнения поверхностей ферромагнитными порошками в магнитном поле
Номер патента: 1425007
Опубликовано: 23.09.1988
Авторы: Дорожкин, Марченко, Щербаков
МПК: B23H 9/00
Метки: магнитном, поверхностей, поле, порошками, упрочнения, ферромагнитными, электроэрозионного
...с возможностью осевого перемещения, на изоляционной втулке 3 диск 4, на которрм установлены электроды 5, располо же 11 ные в отверстиях корпуса 2. Диск 4 вьп 1 олнен с бункерами 6 в виде углублений в 1 иске, в отверстиях которых закреплены электроды. Электроды 5 выполнены с отверстиями 7 с установленными в них втулками 8, Мекду корпусом 2 и диском 4 установлены пружины 9. В корпусе 2 жестко закреплена катушка элетромагнита 10, выводы которой соединены с контактными кольцами 11 и 12.Источник технологического тока подключен к корпусу 2 через контактное кольцо 25 13. В корпусе 2 сделана вставка 4 из эпоксидной смолы. Корпус 2 закреплен на оправке 1 вставкой 15 из магнитного материала, уменьшающей потери магнитного потока.Устройство...
Способ фоторегистрации видеосигнала с экрана электронно лучевой трубки видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа
Номер патента: 1569911
Опубликовано: 07.06.1990
Автор: Кипнис
МПК: H01J 37/28
Метки: видеоконтрольного, видеосигнала, лучевой, микроскопа, растрового, трубки, устройства, фоторегистрации, экрана, электронно, электронного
...не создает барельефности, Смещение объекта на величинуболее 25 размеров наименьшей существенной детали поверхности,. которую исследуют при данном увеличении, приводит к , двойному негативно-позитивному изображению на. одном снимке. Выбор опре- З 0. деленного значения смещения в указанном интервале обусловлен характеромисследуемого объекта и определяетсяв каждом конкретном случае индивидуально.35Выбор среднего уровня яркости ЭЛТи амплитуды видеосигнала осуществляется из условия обеспечения при Фог торегистрации максимального числадискретных уровней яркости изображения исследуемого объекта за времяэкспозиции, равное длительности двухразверток кадра при неизменной полярности видеосигнала. Это позволя,ет получить высококачественный...
Устройство для обработки видеосигнала в растровом электронном микроскопе
Номер патента: 940261
Опубликовано: 30.06.1982
Авторы: Давиденко, Кисель, Остапов, Павленко
МПК: H01J 37/26
Метки: видеосигнала, микроскопе, растровом, электронном
...схем расположена в области низких частот. формула изобретения Устройство для обработки видеосигнала в растровом электронном микроскопе, содепкащее последовательн о соединенные детектор, усилитель постоянного тока, блок преобразования видеосигнала и блоки отобрвкения информации медлэнной и быстрой разверток, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения точности обработки за счет увеличения атношения сигнал/помеха и повьгшения.стабильности яркости изображения при совмещении разверток, оно снабжено блоком сложения и блоком фиксации уровня видеосигнала, при этом блок сложения включен между детектором и усилителем ностоянного тока, а блок фиксации уровня видеосигнала включен между блоком преобразования и блоком отобрвкения...
Устройство для электронно-лучевой сварки
Номер патента: 1516280
Опубликовано: 23.10.1989
Авторы: Лысенков, Михалев, Стрельцов
МПК: B23K 15/00
Метки: сварки, электронно-лучевой
...4 обеспечивается приводом 7 через приводную шестерню 27, находящуюся в зацеплении с рейкой 28. Эластичный эле 5мент 6 посредством приставки 29 герметично соединен с кареткой 4, длячего в полюсной приставке 2 и корпусе 1 имеются пазы для ввода луча вкамеру 30Герметизация эластичного 10элемента 6 обеспечивается с помощьюраспорной втулки 31, которая привращении гайки 32 деюрмирует кольцо 33 и уплотняет поверхности эластичного элемента 6. 15В целях обеспечения плавного беззаеданий перемещения эластичного элемента 6 в зазоре магнитного узла двеполюсные приставки 3 снабжены звездочками 34, которые с помощью цепной 20передачи 35 связаны с приводом 8,установленным на корпусе 1,Привод 7 перемещения каретки 4и привод 8 вращения полюсных...
Предыдущий патент: Элетроаспиратор
Следующий патент: Образец для оценки прочности материала
Случайный патент: Способ получения диенов