Устройство для зондирования микросхем в растровом электронном микроскопе

(й)з Н 01 4 37/ ЕТЕНИЯ фиг.г ГОсудАРстВенюИ кОм 4 тетПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(46) 23;12.90. Бюл. ЬЬ 47Р 1) Сумское производственное объединение "Электрон"(56) Смажевская Е,Г., Фельдман Н.Б. Пьезоэлектрическая керамика, - М.: Сов.рэдио, 1971, с. 199.Проспект фирмы "Вам", США, 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗОНДИРОВАНИЯ МИКРОСХЕМ В РАСТРОВЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПАХ(57) Изббретенйе относится к устройствам для исследования микроструктуры и топо- . грэфии твердых тел. Цель изобретения - повышение надежности и упрощение конструкции достигается путем размещения пьезоподъемника в зондовой карте и выполнения его в виде биморфного пьезокерамического кольца, на котором звкреплены зондирующие иглы. Устройство содержит столик, над которым расположена зондовая картэ Э с пьезоподъемником 4, нв котором эвкреплены зондирующие иглы 5. Пьезоподъемник 4 выполнен в виде двух пьезокерамических колец 7, соединенных через металлическую шайбу 8. Кольце 7 снэбжены электроподводэми 9, На прц- метный столик помещают исследуемую интегральную схему и подают нв биморфное кольцо пьеэоподъемникв 4 нвпряжечие, Внутренняя часть пьеэоподъемника 4;,сгибается книзу и иглы 5 опускаюТся до контакта с образцом, По завершении исследования обраэцэ напряжение с биморучного кольца сни-, Я мают и иглы поднимвются в исходное положение, Использование устройства позволяет упростить конструкцию пьезоподьемника, а также управлять его работой с помощью микропроцессора. 2 ил.Изобретение относится к устройствам для исследования микроструктуры и топографии твердых тел и может использоваться в микроэлектронике для контроля и анализа сверхбольших интегральных схем. материаловедении, физике твердого тела, металлургии, геологии и др,Цель изобретения - повышение надежности и упрощение конструкции за счет размещения пьезоподъемника в зондовой карте и выполнения его в виде биморфного пьезокерамического кольца, на котором закреплены зондирующие иглы,На фиг.1 представлено устройство, установленное в колонне электронного микроскопа; на фиг.2 - пьезоподъемник.Устройство для зондирования микросхем содержит столик 1, помещенный внутрь колонны 2 растрового электронного микроскопа. Над столиком 1 расположена зондовая карта 3 с пьезоподъемником 4, выполненным в виде кольцевого элемента с иглами 5, крепящимися к его внутренней поверхности с помощью эпоксида 6. Два пьеэокерамических кольца 7 соединены через металлическую шайбу 8 и образуют биморфное кольцо пьезоподъемника 4, На контактирующих поверхностях колец 7 и металлической шайбы 8 выполнена насечка. Кольца 7 и шайба 8 снабжены электроподводами 9. Шайба 8 улучшает механические характеристики кольца при изгибе, а насечка предотвращает сдвиг элементов кольца друг относительно друга.Устройство работает следующим образом,На предметный столик 1 помещают. исследуемую интегральную микросхему (не показана) и объем вокруг столика вакуумируется. Затем на биморфное кольцо пьезоподъемника 4 подают напряжение, Внутренняя часть пьезоподъемника 4, а следовательно, и иглы 5, опускается до контакта игл с исследуемым участком микросхемы. По завершении исследований отключается напряжение, подаваемое на пьезокерамическое биморфное кольцо пьезоподъемника 4, что приводит к подъму игл 5 в исходноеположение,Использование устройства позволяетупростить конструкцию пьезоподъемника и5 процесс управления им, а также позволяетлегко управлять работой пьезоподъемникас помощью микропроцессора и ЭВМ. Важным преимуществом устройства являетсявоэможность его работы при отключенном10 напряжении, питающем биморфное кольцопьеэоподъемника (наличие этого напряжения крайне неблагоприятно сказываетсяпри исследовании сверхбольших интегральных схем), В этом случаев составляющие би 15 морфное кольцо пьезокерамическиеэлементы поляризуются так, что при подаченапряжения центр кольца с иглами выгибается вверх, а при отключении возвращаетсяв исходное положение, вводя тем самым20 иглы в контакт с исследуемым участком микросхемы (при отключенном питающем напряжении),Формула изобретения 25 Устройство для зондирования микросхем в растровом электронном микроскопе, содержащее предметный столик с приводами перемещения его по горизонтальным осям и поворота, зондовую карту, выпол ненную в виде кольцевой обоймы, с зондирующими иглами и пьезоподъемник, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности и упрощения конструкции, пьеэоподъемник выполнен в виде кольцевого 35 элемента, установленного в кольцевойобойме и составленного из двух поляризованных пьезокерамических колец, соединенных через кольцевую металлическую прокладку, на плоские поверхности которо го нанесено металлическое покрытие, соединенное с электроподводами, а зондирующие идолы закреплены на внутренней поверхности кольцевого элемента, причем на контактирующих поверхностях 45 пьезокерамических колец и металлическойпрокладки, снабженной электроподводом, выполнены насечки.1615822 фиа оставитель Д.Рауехред М. Моргентал Корректс Редактор Л.Зайцев аксимишинец Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 10 аз 3993 Тираж 405 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5