Устройство для контактирования интегральных схем в растровом электронном микроскопе

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 162646 Н 05 К 1/11 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ К АВТО УУ СВ ЕЛЬСТ(71) Сумское производственное обьединение "Электрон"(56) Авторское свидетельство СССРМ 718953, кл. Н 05 К 1/11, 1978,Авторское свидетельство СССРМ 1262749, кл. Н 05 К 1/11, 1984.(54) УСТРОИСТВО ДЛЯ КОНТАКТИРОВА НИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ В РАСТРО ВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ (57) Изобретение относится к устройствам для исследования макроструктуры и топо графии твердых тел и может применяться в микроэлектронике для контроля и диагностики многослойных печатных плат, СБИС, в физике твердого тела, металлургии, геологии. Цель изобретения - повышение надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещений блока зондов. Устройство для контроля контактирования интегральных схем содержит столик 1, зондодержатель 2 с иглами 3, электромагнит 4, толкатель 5, центральное подвижное кольцо 6, биморфное пьезокерамическое кольцо 7, являющееся составной частью поджимающего узла 8, в состав которого входят блат и пружина. Устройство может работать при отключении напряжения, питающего биморфное пьезоэлектрическое кольцо. 1 з.п.ф-лы, 3 ил.Изобретение относится к устройствам для исследования микроструктуры и топографии твердых тел и может применяться в микроэлектронике для контроля и диагностики многослойных печатных плат, СВИС, материаловедения, физике твердого тела, металлургии, геологии,Цель изобретения - повышение надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещений блока зондов,На фиг,1 представлено устройство, вид спереди; на фиг.2 - то же, вид сверху; на фиг,3 - соединение между зондодержателем и блоком зондов.Устройство для контактирования интегральных схем содержит столик 1 и зондодержатель 2 с иглами 3, Зондодержатель 2 связан с электромагнитом 4 посредством толкателя 5 и имеет центральное подвижное кольцо 6, Между зондодержателем 2 и блоком зондов 6 установлено биморфное пьезокерамическое кольцо 7, являющееся составной частью поджимающего узла 8, В состав узла 8 входит также болт 9 и пружина 10,Устройство работает следующим образом,Исследуемая интегральная схема помещается на столик 1, размещенный в вакуумном объеме, Включается электронный луч, и с помощью электромагнита 4 опускается эондодержатель 2 до максимального сближения (но не контакта) игл с интегральной схемой. На пьезокерамические биморфные кольца 7 подаются электрические импульсы, что приводит к выгибанию их центров и, соответственно, перемещению блока эондов 6 до контакта игл 3 с исследуемой интегральной схемой. При снятии напряжения сбиморфных колец иглы 3 выводятся иэконтакта и после горизонтального пере 5 мещения столика под электронный луч подставляется новый участок микросхемы, иисследования продолжаются,Применение устройства позволяет упростить конструкцию пьеэоподъеника и10 процесс управления им, а также легко увязать работу пьеэоподъемника с микропроцессорами и ЭВМ. Важным преимуществомустройства является воэможность его работы при отключенном напряжении, питаю 15 щем биморфное пьезокерамические кольца.Формула изобретения1, Устройство для контактирования интегральных схем в растровом электронноммикроскопе, содержащее размещенные в20 вакуумном объеме столик, зондодержательс блоком зондов, образующих контактноеполе, установленный с возможностью перемещения по направлению нормали к столику, и узел поджатия с пьеэокерамическими25 элементами, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью повышения надежности контактирования путем упрощения приводамакроперемещения и блока зондов, пьезокерамические элементы узла поджатия вы 30 полнены из биморфной пьезокерамики.2, Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что пьеэокерамические элементывыполнены в форме шайб и прижаты к зондодержателю головками болтов, закреплен 35 ных в блоке зондов и подпружиненныхпружинами сжатия относительно эондодержателя,ле Корректор инич КНТ СС д, ул.Гагарина, 10 одственно-издательский комбинат "Патент", г. У каз 290 Тираж 494 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открыти 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5