Перемагничивающее устройство для термомагнитных исследований в просвечивающем электронном микроскопе

(21) 4312 (22) 16,0 (46) 23. (71) Нау для цсслед измерения пользов трЪктур итных х статических маг -гонких магнитныхения является расх возможностей теристи ель пленок, ширенце изабрет ональнь ун ни уменьшеия диапа ия е устроиства за сче баритов и увеличе ня цамагничивания оца уровУстройст катушку н компенсаобразца,опровод,содержит магни ничивания и дв тушки ий отклонен цного луча, гат нагревателем,эйства и кооъекто ЕЕ УСТРОЙСТВОССЛЕДОВАНИЙ ВРОННОМ МИКРОСКО(54) ПЕРЕМАГНИЧИВАЮ 11ДЛЯ ТЕРМОМАГНИТНЫХ ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕ координ жет быт иненным(57) Изобретение о ронной микроскопии целесо осится к элект может быть ис аб строист за счичения уменьшен пазонатов и вня назован для исследования до ры и измерения стат характеристик тонки еннои стр ческих ма магничивания образца. струк нитнш На фиразрез,фиг.фиг. 1. ано устройство, разрез А-А на разрез Б-Б на по гцитн а и ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР 12,89, Бюл. Ф 47чно-исследовательский физикокий институт при Дальневосточ ном государственном университете (72) 1 О,Д.Воробьев и Ю.В,Василенко (53) 621.385,833(088,8)(56) Погосян Л,М, и др. Устройство к электронному микроскопу. УЭМ Ф 100 для исследования структуры тонких пленок. - Заводская лаборатория, 1970, В 3, с, 362-363.Тагиров Р.И., Глазер А.А. Устройство для перемагничивания ферромагнитного образца в электронном микроскопе УЭМВ - 100 А. - В кн.; Аппаратура и методы исследования тонких магнитных пленок. Красноярск,1968,с.188-190. Изобретение относится к электронй микроскопии и может быть испольпленок,Целью изобретения является расширение функциональш,х возможностей рон об держателя смеханизм поворота устрс р дицатный стол. Магнитопровод выполнен в виде последовательно расположенных по ходу электронного луча разрезных колец с уменьшающейся в области рабочего зазора площадью поперечного сечения. При этом каждая катушка установлена на отдельном разрезном кольце, а патрон с помощью кронштейна, соединенного с его верхней частью - наатном столе. Устройство моь снабжено хладопроводом, соес кронштейном. Нагревательобразно размещать на нижней части патрона. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.Устройство содержит кольцевые пермаллоевые магнитопроводы 1-3, катушки 4-6, латунную гильзу 7, патрон 8, образец 9, нагреватель 10, кронштейн 11, гибкий хладопровод 12, механизм 13 поворота, координатный стол 14Устройство работает следующим образом.Намагничивающее образец 9 магнит ное поле создается при пропускании тока через катушку 4 намагничивания, намотанную на первый магнитопровод 1, Отклонение электронного луча, вызываемое этим полем, компенсируется противоположно направленными полями, которые создают катушки 5 и 6 компенсации отклонения на последовательно расположенныхмагнитопроводах 2 и 3. Изменение направления намагничивающе го поля в плоскости образца осуществляют поворотом магнитопроводов 1-3 с катушками 4-6, укрепленных на латунной гильзе 7, вокруг неподвижного образца 9, установленного в патрон 8. 25 Нагрев образца 9 осуществляется нагревателем 10, Необходимая температура в диапазоне от 170 до 670 К устанавливается регулировкой тока, пропускаемого через нагреватель 10, и 30 отводом тепла при помощи кронштейна 11 и хладопровода 12.Использование пермаллоевых магнито проводог, в виде разрезанных колец прямоугольного профиля с уменьшающейся в области зазора площадью поперечного сечения значительно уменьшает общую высоту устройства и позволяет смонтировать все устройство на координатном столе. Уменьшение сечения 40 магнитопроводов и их плоская форма в области зазора обеспечивают величину намагничивающего поля при зазоре 7 мм до 16 кА/м и улучшает однородность поля в плоскости образца. Это позволяет проводить исследованиявысококоэрцитинньх материалов. Монтаж устройства на координатном столе микроскопа, например, в случае использования электронного микроскопа ЭВМ 100 АК, позволяет обойтись без каких- либо изменений в конструкции микроскопа, дает возможность использования апертурной диафрагмы, сохраняет пятилинзовую схему формирования изоб 55 ражения. Последнее позволяет значи" тельно поднять увеличение при наблюдении магнитной структуры тонких пленок, легко переходить от режима наблюдения магнитной структуры к набюдению дефектов кристаллического строения, малоуглового рассеяния нли микродифракционной картины. Это существенно расширяет функциональные возможности устройства в плане одновременного наблюдения кристаллической и магнитной структуры, например, -при изучении взаимодействия доменных границ с дефектами с целью усгановления основных структурных дефекгов, определяющих величину коэрцитивной силы и других структурно-чувствигельньгх характеристик.Формула иэ обретения1. 11 еремагничивающее устройство для термомагнитных исследований в просвечивающем электронном микроскопе, содержащее магнитопровод, катушку намагничивания и две катушки компенсации отклонения электронного луча, патрон обьектодержателя с нагревателем, механизм поворота устройства относительно электронно-оптической оси и координатный стол, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет уменьшения габаритов и увеличения диапазона уровня намагничивания образца, магнитопровод выполнен в виде последовательно расположенных по ходу электронного луча разрезных колец с уменьшающейся в области рабочего зазора площадью поперечного сечения, при этом каждая иэ катушек установлена на отдельном разрезном кольце, а патрон с помощью кронштейна, соединенного с его верхней частью, установлен на координатном столе.2, Устройство по и, 1, о т л и ч а ю щ е е с я гем, чго оно снабжено хладопроводом, соединенным с кронштейном.3. Устройсгво по пп. 1 и 2, о т л и ч а ю щ е е с я гем, чго нагреватель размещен на нижней часги патрона.15.3 1182 6-5 Составитель В.Гаврюшинтор Г.Волкова Техред Л.Олийнык Обруч ар орр при ГКНТ СС а по и брг 1 луцкиздательский комбинат 11 атент, г. Ужгород, ул. Гага оизводст Заказ 79 ВНИИПИ Г