Способ приготовления образца дифракционной решетки для исследования в электронном микроскопе

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТ ИЧЕСНИРЕСПУБ ЛИК ЯО 127216 51 4 0 01 ХПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ВГОРСКОМУ СВИДЕ ЬСТВ(56) Ииммель Г. Методика электроннороскопни. - М.: Мир, 1972, с. 120.Верцнер В. Н., Дегтева Л. В.,новский Ю. С. Способ наблюдения профдифракционных решеток в электроннороскопе, - Оптика и спектроскопият. 1 П, с. 81 - 183. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦА ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ (57) Изобретение относится к технике подготовки образцов для исследования методамик- ми электронной микроскопии. Цель изобретения - повышение качества образца, На арно. поверхность дифракционной решетки напыфиля ляют углерод толщиной 10 - 20 нм, Углеродмик- ную реплику отделяют от поверхности ре щетки с помощью желатина. По высохшейповерхности желатина делают разметку об, разца, одна из сторон которого параллельна линии перегиба, перпендикулярной направлению штрихов решетки. Затем образец отмывают от желатина в дистиллированной во- д де и вылавливают на ребро сетки-подложки, подводя ее снизу под плавающую углеродную реплику. При этом на ребре сетки-подложки образуется перегиб реплики, С рельеф которого определяет профиль штрихов дифракционной решетки в электронном р микроскопе,Маей1272160 Формула изобретения Составитель Б. Гаврюшин Редактор М. Бланар Техред И. Верес Корректор А. Тяско Заказ 6329/39 Тираж 778 Подписное ВпИИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий33035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Изобретение относится к технике подготовки образцов для исследования методамиэлектронной микроскопии, в частности к приготовлению реплик с дифракционных реше.ток, позволяющих наблюдать профиль ихштрихов,Цель изобретения - повышение качества образца за счет повышения точностиперегиба реплики.Сущность способа заключается в следующем. 1 ОНа поверхность дифракциоиной решеткичерез заслонку в вакууме напыляют углерод толщиной 1 О - 20 нм. Заслонка необхо.дима для получения более прочного слоя.Для уменьшения времени изготовления реп.лики желательно дополнительно напылить15углерод без использования заслонки такойтолщины (30 - 40 нм), чтобы прн перегибе реплика не рвалась, После напыленияуглеродную реплику отделяют от поверхности решетки с. помощью желатина. По 2 овысохшей поверхности желатина делают разметку образца, одна из сторон которогопараллельна линии перегиба, перпендикулярной направлению штрихов решетки. Далеевырезают образец, отмывают его от желатина в дистиллированной воде и вылавливают на ребро сетки-подложки, подводя ееснизу под плавающую на поверхности водыуглеродную реплику параллельно базовой стороне образца. При этом реплика облегаетсетку. подложку с двух сторон,В результате на ребре сетки-подложкиобразуется перегиб реплики, рельеф которого определяет профиль штрихов дифракционный решетки в электронном микроскопе. Толщину углеродной реплики используют такую, что с одной стороны пленкапрочная н не рвется прн перегибе, а с другой стороны остается прозрачной для электронов. Прн выполнении этого условия имеется возможность контроля качества перегиба по совпадению штрихов перегнутой реплики. При полном совпадении штрихов делают вывод о достоверности изобретения профиля штрихов дифракционной решетки, Для просмотра в электронном микроскопе сетку-подложку с перегнутой репликой вырубают так, что ее край располагается примерно по середине объектного патрончика. На удаленных от края ячейках сеточки практически всегда есть .участки, где реплика располагается в один слой, и можно наблюдать структуру поверхности решетки, что дает возможность получить микрофотографии профиля решетки и ее поверхности за один цикл. Способ приготовления образца дифраяцнонной решетки для исследования в электронном микроскопе, включающий нанесение на поверхность дифракцнонной решетки пленки материала реплики, отделение реплики, вырезание образца и его перегибание по перпендикулярной к направлению штрихов решетки линни, отличающийся тем, что, с целью повышения качества образца за счет повышения точности перегиба реплики, в качестве материала реплики используют углерод, перед отделением реплики иа нее наносят слой желатина, по поверхности которого производят разметку образца, по крайней мере одна из сторон которого параллельна линии перегиба, вырезание образца осуществляют по разметке, растворяют слой желатина в воде, а перегибания образца производят путем извлечения реплики из воды на ребро сетки-подложки,