Патенты с меткой «микроанализатором»

Способ локального рентгеноспектрального анализа образцов в электронном микроскопе с микроанализатором

Загрузка...

Номер патента: 1081496

Опубликовано: 23.03.1984

Авторы: Кипнис, Корсунский

МПК: G01N 23/225

Метки: анализа, локального, микроанализатором, микроскопе, образцов, рентгеноспектрального, электронном

...предназначен для анализа только тонких ббразцов.Известен также способ локального рентгеноспектрального анализа образцов в электронном микроскопе с микроанализатором, включающий выделение анализируемого участка образца и проведение микроанализа.Выделение участка произвоцят по отверстию в образце. Образец при этом помещается в микроскоп, и электронный зонд фокусируется у края отверстия 2 3.Однако при изготовлении отверстия в образце можно частично разрушить область поверхности вблизи отверстия или загрязнить ее.Цель изобретения - обеспечение проведения локального анализа образца беэ его разрушения и загрязнения.Цель достигается тем, что согласно способу, включающему выделение анализируемого участка поверхности образца и проведение...