Устройство для изготовления микрорисун-kob ha изделии

Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 05.1079 (2 ) 2829615/18-21 Р)м Кл Н 01 Ь 21/302 с присоединением заявки Нов(23) Приоритет -Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОРИСУНКОВНА ИЗДЕЛИИ Изобретение относится к областитехнологии электронной техники, вчастности к устройствам для изготовления микрорисунков на изделии с помощью электронного пучка,Известно устройство для изготовления микрорисунков на изделии,содержащее электронную пушку с управляющим электродом, формирующую систему, отклоняющую систему с генератором разверток, стол для размещенияобрабатываемого изделия и генераторрисунка. 1.Данное устройство не обеспечиваетнеобходимого качества изготовлениямикрорисунков, так как из-за рассеяния электрОнов в слое электронорезиста и в подложке, происходит нежелательная засветка электронами участков,не подлежащих обработке, вследствиечего размер получаемого рисунка несовпадает с программируемым, а соседние элементы рисунка, отстоящиедруг от друга на расстоянии 1 мкми мвнвв, сливаются ("эффект близости )еНаиболее близким к предлагаемомупо технической сущности являетсяустройство для изготовления микрорисунков на изделии, содержащее электронную пушку с управляющим электродом, Формирующую систему, от.- клонякщую систему с генератором разверток, стол для размещения обрабатываемого изделия, генератор рисунка и подключенный к его выходу блок для регулировки параметров электронного пучка, выход которого подключен к формирующей системе.Данное устройство позволяет несколько компенсировать фэффект близости" только на границах элементов рисунка, включающих ряд полос или спиральных линий, поскольку в нем произво- . дится изменение (уменьшение ) диаметра электронного пучка при сканировании внешней границы каждого из элементов рисунка с помощью блока регулировки параметров электронного пучка, подключенного к формирующей системе, по командам от генератора рисунка 21,Однако в данном устройстве не компенсируется эффект близости" на всей площади рисунка, а необходимость усложнения программы обработки и систеж юсткровки из-за изменения диаметра электронного пучка снижает надежность и производительность систевт, вследствие чего дан"ное устройство также не обеспечивает требуемого качества изготовлеия микрорисунков.Цель изобретения - повышение качества изготовления микрорисунков,Укаэанная цель достигается тем, 5 что в устройстве для изготовления микрорисунков на изделии, содержащем электронную пушку с управляющим электродом, формирующую систему, отклоняющую систему с генератором разверток, стол для размещения обрабатываемого изделиягенератор рисунка и подключенный к его выходу блок регулировки параметров электронного пучка, блок регулировки параметров электронного пучка включает пОследовательно соединенные блэк памяти, суммирующий усилитель и интегрирующий блок, выход которого подключен к уп- равляющему электроду электронной пушки а 20Такое выполнение устройства позволяет повысить качество изготовления микрорисунков, поскольку в нем изготовление всех элементов микрорисунка производится электронным пучком, ток которого регулируется с учетом засветки обрабатываемого участка рас. сеянными электронами с соседних элементов рисунка, вследствие чего производится компенсация "эффекта близос ти" - слияние близлежащих элементов рисунка, и обеспечивается совпадение размера экспонированного рисунка с программируемым, Кроме того, исключается необходимость усложнения программы обраоотки и сискемы юстировки, так как изготовление рисунка осуществляется электронным пучком неизменного диаметра, вследствие чего повышается надежность и производительность устройства в целом, 40На чертеже изображено предлагаемое устройство.Устройство содержит размещенные соосно электронную пушку 1 с управляющим электродом 2, бланкирующую систему 3, 45 формирующую систему 4, отклоняющую систему 5, подключенную к выходу генератора б разверток, вход которого соединен со входом генератора 7 рисунка, один выход которого соединен с бланкирующей системой 3, а другой - со входом блока 8 регулировки параметров электронного пучка, выполненного в виде последовательносоединенных блока 9 памяти, суммирующего усилителя 10 и интегрирующегоблока 11, выход которого подключен к управляющему электроду 2 электронной пушки 1. Обрабатываемое изделие 12 размещают на столе 13. Устройство работает следующим образом.Электронная пушка 1 двмпфирует электронный пучок, который фокусируется формирующей системой 4 в элект донный зонд малого диаметра на поверхности обрабатываемого иэделия 12.Сканирование электронным зондомповерхности обрабатываемого иэделия12 осуществляется с помощью отклоняющей системы 5 по сигналам от генератора б разверток,При достижении электронным зондом участка поверхности изделия 12, на который необходимо нанести рисунок, с одного из выходов генератора 7 рисунка на бланкирующую систему 3 поступают сигналы в соответствии с программой обработки, и электронный пучок направляется на обрабатываемую точку поверхности изделия 12.Одновременно с выхода генератора 7 рисунка на вход блока 8 регулировки параметров электронного пучка поступают сигналы, соответствующие программе обработки (дозами облучения) в и соседних строках при сканировании поверхности изделия (число и определяется минимальным размером элемента - увеличивается с уменьшением размером элемента и емкостью блока 9 памяти. Укаэанные сигналы запоминаются в блоке 9 памяти и при поступлении сигнала с и строки подаются на вход суммирукщего усилителя 10, где они суммируются каждый со своим весовым коэффициентом, зависящим от номера данной строки (чем более удалена строка, на которой ведется обработка, тем меньше величина коэффициента. Коэффициенты определяются рассчетным .путем, исходя из расстояния между центрами строк и зависимости от интенсивности рассеяния электронов в данном материале), Суммарный сигнал с выхода усилителя 10, учитывающий засветку в обрабатываемой точке поверхности иэделия от рассеянных электронов с соседних строк, поступает на вход интегрирующего блока 11, который корректирует передний и задний фронты сигнала ( увеличивает длительность переднего и заднего фронтов) и учитывает тем саьым взаимное влияние рассеяния электронов в пределах строки (в направлении строчной развертки), после чего данный сигнал подается на управляющий электрод 2 электронной пуыки 1 и осуществляется регулировка гока электронного пучка, производящего обработку в данной точке поверхности изделия 12 с учетом засветки данноЧ точки иэделия рассеянными электронами с соседних строк. При переходе к обработке другой точки поверхности изделия 12 укаэанные операции повторяются.Предлагаемое устройство может быть широко использовано в микроэлектронике для изготовления интегральных схем, в особенности в схемах с элементами топологии субмикронных разме851555 Формула изобретения Составитель А,Якименкоедактор Ь.Ковач Техред Т,Маточка Корре,Корниенк ПодписноеСР Тираж 784 ударственного изобретений исква, Ж, Р Заказ 6374/76 ВНИИ ПИ Г по дела 1130 35, омитета ткрытий шская н 4/5 лиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,ров, где оно позволяет за счет повышения производительности и качестваизготовления микрорисунков повыситьвыход годных изделий. Устройство для изготовления микро- рисунков на изделии, содержащее электронную пушку с управляющим элект-о родом, формирующую систему, отклонякщую систему с генератором разверток, стол для размещения обрабатываемого изделия, генератор рисунка и подключенный к его выходу блок регуелировки параметров электронного пучка, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью повышения качества изготовления микрорисунков, блок регулировки параметров электронного пучка включает последовательно соединенные блок памяти, суммирующийусилитель и интегрирующий блок, выход которого подключен к управляющему электроду электронной пушки.Источники информациипринятые во внимание при экспертизе1. "Еессгопс йеие", 1976,Оес. 13 Ч, 21, Р 1110, р. 54.2. Патент Англии М 1483171,кл, Н 1 О, 1977 (прототип).