Патенты с меткой «электронно-зондо-вого»

Номер патента: 805445

Опубликовано: 15.02.1981

Авторы: Васичев, Калмыков, Смирнов

МПК: H01J 37/20

Метки: камера, объектов, устройства, электронно-зондо-вого

...образована откачиваемая полость 4, расположенная в неподвижной части 2 корпуса камеры. В кольцевых канавках оснований двух частей корпуса расположены подшипники 5 качения, обеспечивающие плавность вращения подвижной части 1 корпуса относительно оси электронного зонда 6, сформированного электронно-оптической системой 7. Во вращающейся части 1 корпуса камеры расположены приемные элементы спектрометрических детекторов 8 рентгеновского или катодолюминесцентного излучения, герме тично встроенные в окна корпуса. В неподвижной части 2 корпуса расположены стол 9 объектов и другие детекторы 10, например вторичных электронов. В дне неподвижной части камеры 20 расположен патрубок 11, соединенный с вакуумной системой установки.Устройство работает...