Патенты с меткой «электронно-зондовое»

Номер патента: 1112436

Опубликовано: 07.09.1984

Авторы: Вяль, Макаров, Межевич, Морозов

МПК: H01J 37/26

Метки: электронно-зондовое

...системой отклонения зонда,На чертеже изображена блок-схема предложенного устройства на примере растрового электронного микроскопа.Микроскоп состоит из вакуумногерметичного корпуса 1, оперативного стола 2 с вакуумной системой и видео контрольного устройства, В колонне размещены источник 3 заряженных частиц с катодом (эмиттером) 4, система 5 фокусировки, система 6 отклонения, служащая для сканирования электронного зрнда 7 по поверхности образца 8 и отклонения зонда относительно исследуемой области образца, механизм 9 перемещения образца, заканчивающийся держателем 10 образца. Видеоконтрольное устройство содеял жит блок 11 генераторов кадровой и строчной разверток, электроннолучевую трубку 12 с отклоняющей системой 13 и видеоусилитель 14....

Номер патента: 1688303

Опубликовано: 30.10.1991

Авторы: Васичев, Смирнов

МПК: H01J 37/20

Метки: электронно-зондовое

...каналам отклонения по Х,У координатам.Устройство работает следующим образом.На столик б обьектов в неподвижной части 1 корпуса помещают образец для исследования. Электронно-оптическая система 4 формирует электроннь:й пучок и фокусирует его на образец.Включают генератор разверток 12, с которого подается напряжение пилообразной формы на ЭМП 9. Здесь происходит перераспределение напряжения. Часть напряжения (тока) с ЭМП подается на отклоняющую систему 5, Последняя отклоняет электронный пучок вдоль оси, проходящей через спектрометры 7,8. При этом направлениесканирования меняется в прецелах 45. При облучении образца возбуждается рентгеновское излучение. Рентгеновские кванты регистрируются парно-симметричными спектрометрами, на...