Магнитная электронная линза

ОП ИСАНИЕИЗОВРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеслублик995153) МАГНИТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИН х взаимно. увязь я линзаа счетдулей,оцессестическ имеет болееконструктив- возможности ксплуатации й иестабильОднако стабильность работы и пар ров известной магнитной линзы, осо при использовании ее в прецизионных троннооптических устройствах, наприм устройствах для электронолитографии достаточна. Это обусловлено трудно изготовления с высокой точностью иде ных модулей и необходимостью вве для компенсации искажений поля доп тельных обмоток, вносящих нестабиль в работу линзы,Наиболее технической электронная провод и си ную из расп или несколь дулей один буждения н е обесй регукоторая тключения от ому. линзы и точисилы,путем ореключ встреч ретно, их п ения к Изобретение относится к электроннооптическим устройствам и может быть использовано в электроннооптических системах электронных микроскопов и устройств для электронно-лучевой обработки,Известна магнитная электронная линза, содержащая магнитопровод с размещенной в его окне секциоиированной системой возбуждения, состоящей из связанных между собой секций-модулей, питающихся от одинаковых стабилизаторов тока 1. 10Однако данное устройство характеризуется недостаточной стабильностью работы линзы, обусловленной несогласованностью модулей линзы и трудностями изготовления секций с идентичными параметрами, при этом значительно усложняется конструкция линзы и ее питающих устройств. близкой к предлагаемой по сущности является магнитная линза, содержащая магиитостему возбуждения, выполненоложенных коицентрично в один о слоев кольцевых обмоток моаковой высоты, Система возабирается из нескольких типов модулеи, размеры кото ваются друг с другом.Известная магнитна простую конструкцию з ного согласования мо их простой замены в пр и снижение средиестати ности модулей 12. Кроме того, конструкция печивает достаточно плавной лировки магнитодвижущей осуществляется диск ния части модулей и согласованного включ995153 30 Формула изобретения 35 40 45 50 Цель изобретения - повышение стабильности параметров линзы при повышении точности регулирования.Поставленная цель достигается тем, что в магнитной электронной линзе, содержащей магнитопровод и систему возбуждения, размещенную в его окне, система возбуждения выполнена в виде расположенных соосно дисков из диэлектрического материала, на одной из торцовых поверхностей каждого из которых нанесен спиральный проводник.Между дисками могут быть установлены прокладки из теплопроводящего материала.На фиг. 1 показана линза в разрезе; на фиг. 2 - вид на торцовую поверхность одного из дисков.Магнитная электронная линза содержит магнитопровод 1 с размещенной в его окне 2 системой 3 возбуждения с выводами 4. Система 3 возбуждения содержит набор дисков 5 из диэлектрического материала, например стеклотекстолита. На одном из торцовых поверхностей каждого из дисков 5 нанесен, например, методом фотолитографии или методом напыления через маску, спиральный проводник 6. Выполнение проводника 6 указанными методами позволяет достичь высокой степени идентичности их параметров на каждом из дисков 5. Диски 5 системы 3 возбуждения соединяются последовательно так, чтобы обеспечивалось необходимое число ампер-витков. Если на одном диске 5 спираль проводника сходящаяся, то на соседнем расходящаяся, но обязательно обе они правые или левые. Концы про. водников 6 соединяются между собой на краях двух соседних дисков 5, для чего в дисках имеются сквозные отверстия. Крайние диски имеют выводы для подключения к источнику питания. Между дисками целесообразно устанавливать прокладки 7 из теплопроводящего материала для выравнивания температурного поля по сечению, сйстемы возбуждения. Магнитная электронная линза работает следующим образом.При подаче напряжения на выводы 4 системы 3 возбуждения по спиральным проводникам 6 каждого из дисков 5 протекает ток, который возбуждает магнитный поток, протекающий по магяитопроводу 1. При этом магнитодвижущая сила линзы складывается из магнитодвижущих сил, возбуждаемых спиральными проводниками каждого из дисков 5. За счет обеспечения высокой степени идентичности параметров спираль 5 1 О 15 20 25 ных проводников, обусловленной технологией их изготовления, повышается стабильность работы линзы. Облегчается при этом и регулировка магнитодвижущей силы, так как данная конструкция позволяет осуществить плавную и точнкую регулировку магнитодвижу щей силы путем переключения не только части дисков, но и части витков проводника на диске из согласованного включения во встречное.Высокая степень идентичности параметров дисков, входящих в состав системы возбуждения магнитной линзы, обеспечивает также сохранение стабильности ее работы при замене вышедших из строя дисков новыми. При этом сокращаются затраты времени на повторную настройку линзы.Для компенсации искажения поля магнитной линзы на каждый из дисков могут быть нанесены дополнительные (компенсирующие) витки, что позволяет исключить необходимость использования дополнительных компенсирующих катушек и тем самым упростить конструкцию магнитной электронной линзы.Магнитная линза предлагаемой конструкции может быть широко использована в прецизионных электроннооптических приборах для исследования и обработки объектов, где она за счет повышения стабильности работы повышает качество обработки и информативность исследований. 1. Магнитная электронная линза, содержащая магнитопровод и систему возбуждения, размещенную в его окне, отличающаясятем, что, с целью повышения стабильностипараметров линзы при повышении точностирегулирования, система возбуждения выполнена в виде расположенных соосно дисков из диэлектрического материала, на одной из торцовых поверхностей каждого изкоторых нанесен спиральный проводник.2. Линза по п. 1, отличающаяся тем,что между дисками установлены прокладкииз теплопроводящего материала,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Поливанов В. В. и др, Питающее устройство электронного микроскопаУЭМБ - 100, Изв. АН СССР. Сер. физическая, 1959, т. ХХ 111,4, с. 450 - 453.2. Авторское свидетельство СССР684648, кл. Н 01 1 37/26, 1975 (прото.тип) .Составитель В.Твхред И. Верес Тираж 70 осударственного м изобретений а, Ж - 35, Рау атент, г. Ужго аврюши ИПИ Г по дела 113035, Моска Филиал ППП Педактор Н. Стащишинаказ 607)37ВНИ Корректор Г. РешетниПодписноекомитета СССРи открытийшская наб., д. 4/5род, ул. Проектная, 4