H01J 37/244 — детекторы; связанные составные части или схемы для них

Номер патента: 1056309

Опубликовано: 23.11.1983

Авторы: Васичев, Камунин, Смирнов

МПК: H01J 37/244

Метки: вторичных, коллектор, микроскопа, растрового, электронного, электронов

...экране 3, а допопнительд ный сцинткппятор 4 - окно 5 в экране 6. Оба сцинткплятора подключены к блоку 7 преорбразования. сигнала. На электронно-оптической оси размещен исследуемый объект 8. Входные окна сцинтилляторов распопожены в одной, проходящей через электронно-оптическую ось РЭМ, плоскости 9. Показаны (фиг,2) также траекто рии 10 и 11 медленных вторичных электронов, вышедших с разных сторон исспедуемой обпасти объекта, и траектория 12 быстрых вторичных электронов.Блок 7 преобразования сигнала представпяет собой электронное устройство (например, последовательно соединенные дифференцируюший и интегрируняций блок и сумматор), осуществляющие обработкусигнала с каждого иэ сцинтилпяторов ипоспедукяцее суммирование их значений по...

Номер патента: 1064347

Опубликовано: 30.12.1983

Авторы: Обыден, Попов, Сапарин

МПК: H01J 37/244

Метки: излучения, коллектор, светового

...поверхностей;на фиг. 2 - сечение одной иэ секцийколлектора и один из фотоприемников,Электронно"оптическая ось 1 РЭМпересекает поверхность объекта 2и является осью отверстия 3 для прохождения электронного луча. Точкападения луча совпадает с общим фокусом 4 полуэллипсоидов 5. Световое 10 излучение 6 взаимодействует с отражакщими эллиптическими поверхностями 7, имекщими вторые фокусы 8, вкоторых расположены фотоприемники 9Устройство работает следукщим 15 образом.Тонкий электронный луч попадаетна объект 2 через отверстие 3 и вызьвает световое катодолюминесцентноеизлучение. Размер области высвечивания в образце очень мал (десяткимикрон), поэтому источник можно считать точечным по отношению к размерам всей системы. Объект...

Номер патента: 1275583

Опубликовано: 07.12.1986

Авторы: Васичев, Горелов, Камунин, Савкин, Смирнов

МПК: H01J 37/244

Метки: коллекторная, микроскопа, растрового, электронного

...может быть откалиброван на величины сигналов на соответ-.ствующих сцинтилляторах по углам наклона площадок микронеровностей, торазличие в величинах сигналов с различных сцинтилляторов или их нулевые значения позволяют получить более точную информацию о топологииобъекта.формула изобретения Изобретение относится к электрон-.но-оптическому приборостроению, вчастности к коллекторным системамэлектронно-зондовых приборов, например электронных микроскопов.Целью изобретения является повышение точности электронно-микроскопического анализа за счет регистрации вторичных электронов по азимутальным направлениям. 0На фиг. 1 показана коллекторнаясистема в электронном микроскопе;на фиг. 2 - то же, вид по электроннооптической оси.Коллекторная...