H01J 37/147 — устройства для направления или отклонения разряда вдоль требуемого пути
Фокусирующе-отклоняющая система устройства для электронно лучевой литографии
Номер патента: 1127023
Опубликовано: 30.11.1984
МПК: H01J 37/147
Метки: литографии, лучевой, устройства, фокусирующе-отклоняющая, электронно
...фокусирующей линзы,ускоряющее напряжение=0,45-0,55При этом коэффициент пропорциональности 1 зависит от соотношениягеометрических параметров линзы, определяющих распределение индукции фокусирующего поля вдоль оси системы, а также длину и местоположение дефлектрона в канале линзы, Местоположение и длина дефлектрона выбираются так, чтобы в области отклонения электронного пучка фокусирующее поле было в достаточной степени однородно. Эксплуатационный параметр лцнзы 31- является константой для электрон- Юно-оптической системы, положение объекта и изображения которрй постоянно, Величина этой константы определяется геометрией канала фокусирующей линзы.На фиг.1 показана ФОС, общий вид, на фиг,2 - дефлектрон, поперечный разрез, на фиг,З -...