Патенты с меткой «микрозондовое»

Номер патента: 514459

Опубликовано: 15.05.1976

Автор: Коледа

МПК: H05K 13/08

Метки: микрозондовое

...3 Г-образные отрезки проволоки элемента 5, одни концы которых 10 закреплены на внутренней стороне мембраныпрц помощи прцклеек 6. а другие проходят через отверстия 7 в мембране 3, далее через отверстия 8 в диэлектрической втулке 9 и припаяны к находящимся на ней контактным ле 15 пе,"ткам 10.Собранными в жгут 11 монтажными проводами 12 лепестки 10 соединены с измерительной аппаратурой.В механическом контакте с меморацой 3 па ходится состоящий из мягкой резины прижим13, над которым расположены прижимная планка 14, шарик 15 и винт 16.Корпус 1 закреплен в подъемном механизме 17 любой стойки 18 цзвсстного зондового 25 устройства, например, типов ЭМ,ЭМи т. д., содержащего регхлировочный столик 19 для закрепления и перемещения микросхемы,...

Номер патента: 557299

Опубликовано: 05.05.1977

Авторы: Бернштейн, Васичев, Мурашко, Тупик

МПК: G01N 21/22

Метки: анализа, микрозондовое, микрорельефа

...устройство (ВКУ), а также экраны, перемешаюшиеся по исследуемому полю и предназначенные для установки углов отражения вторичных электро нов, по которым находят высоту рельефа ис д следуемого образца, Это устройство имеет очень низкую точность,измерений и не позволяет визуально контролировать микрорельефИзвестно устройство для исследования рельефа полупроводниковых пластин, содэржа 20 шее РЭМ с блоками развертки луча, детей торы первичных и вторичных электронов, уси лители и анализатор иэображения 12.Известное устройство позволяет оценить высоту рельефа на пластине лишь качествен-Я 5 но путем сравнения измеренных тической плотности изображении .фаповерхности объекта в исследу с эталонными значениями, соотв дискретным значениям величийы...