Назаров

Страница 2

Способ изготовления полупроводниковых транзисторных структур

Номер патента: 745297

Опубликовано: 10.06.2001

Авторы: Кокин, Лукасевич, Любушкин, Манжа, Назаров, Чистяков

МПК: H01L 21/18

Метки: полупроводниковых, структур, транзисторных

Способ изготовления полупроводниковых транзисторных структур, включающий создание коллектора, базы, травление в маскирующем диэлектрике эмиттерных окон, осаждение легированной поликристаллической пленки кремния, формирование из пленки мезы, внахлест маскирующей эмиттерное окно, создание эмиттерного p-n-перехода, формирование внутрисхемной разводки, отличающийся тем, что, с целью улучшения воспроизводимости характеристик транзисторных структур и увеличения процента выхода годных, перед осаждением легированной поликристаллической пленки кремния в эмиттерных окнах проводят предварительное подлегирование примесью того же типа проводимости, что и пленки поликристаллического кремния.

Способ получения диоксида титана

Номер патента: 1487368

Опубликовано: 10.09.2000

Авторы: Васильев, Зеликман, Назаров

МПК: C01G 23/07

Метки: диоксида, титана

Способ получения диоксида титана, включающий взаимодействие тетрахлорида титана с диоксидом азота, отличающийся тем, что, с целью получения конечного продукта в аморфном виде, снижения содержания в нем примеси хлора и упрощения процесса за счет сокращения числа технологических операций, исходные продукты используют в газообразном состоянии и процесс ведут при 260 - 340oC, избытке диоксида азота 20 - 60% и времени пребывания тетрахлорида титана в горячей зоне реакции 1 - 2 мин.

Способ получения бензоилмуравьиной кислоты

Номер патента: 1790157

Опубликовано: 10.08.2000

Авторы: Артемьев, Валитов, Мазитова, Назаров, Парфенов, Хамаев

МПК: C07C 51/16, C07C 59/84

Метки: бензоилмуравьиной, кислоты

Способ получения бензоилмуравьиной кислоты окислением ацетофенона перманганатом калия при температуре 35 - 45oC в щелочной среде, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода целевого продукта и утилизации отходов производства фенол-ацетон, используют ацетофеноновую фракцию, содержащую мас.%:Ацетофенон - 75 - 80Диметилфенилкарбинол - 6 - 4Димер альфаметилстирола (жидкий) - 10 - 8Димер альфаметилстирола (твердый) - 2 - 1Кумилфенол - 2 - 1Фенол - 2 - 3Неидентифицированные - Остальноес зольностью при 600oC 0,0042, и процесс ведут при pH 8.5, используя в качестве щелочной среды водный раствор карбоната калия.

Присоединительная камера для испытаний иллюминаторов

Номер патента: 909888

Опубликовано: 10.07.2000

Авторы: Булгаков, Кондратьев, Маурер, Назаров, Никитинский, Николичев

МПК: B63B 19/00, G01M 3/02

Метки: иллюминаторов, испытаний, камера, присоединительная

Присоединительная камера для испытаний иллюминаторов по авт. св. N 689882, отличающаяся тем, что, с целью улучшения эксплуатации путем обеспечения точности испытаний при использовании насосов пониженной мощности, она снабжена обратным клапаном, установленным между полостью винтового пресса и трубопроводом малой полости ступенчатого поршня с одной стороны и упомянутой малой полостью с другой стороны, а на ступенчатом поршне размещен указатель положения последнего.

Скважинный заряд вв

Номер патента: 1514010

Опубликовано: 27.04.2000

Авторы: Кусов, Назаров, Норов, Пшеничный

МПК: F42D 1/08

Метки: заряд, скважинный

Скважинный заряд ВВ, включающий секцию основного ВВ, расположенную в нижней части скважины, и активную забойку из аммиачной селитры, флегматизированной 10 - 15% воды, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности действия взрыва за счет согласованности детонационных характеристик частей заряда, он снабжен дополнительной секцией ВВ с детонационной характеристикой, большей, чем у активной забойки, и меньшей, чем у основного ВВ, расположенной между активной забойкой и секцией основного ВВ.

Способ получения четыреххлористого кремния

Номер патента: 942381

Опубликовано: 27.04.2000

Авторы: Бочкарев, Елютин, Иванов, Кох, Назаров, Огурцов, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/107

Метки: кремния, четыреххлористого

Способ получения четыреххлористого кремния путем обработки полихлорида кремния хлорсодержащим реагентом при нагревании с последующей конденсацией целевого продукта при охлаждении, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода четыреххлористого кремния, охраны окружающей среды и удешевления процесса, полихлорид кремния используют в виде отходов производства кремния, которые подвергают испарению при температуре 370 - 1000oC с одновременной обработкой их газообразным хлором при отношении последнего к отходам 0,3 - 1,5 : 1.

Способ получения октахлортрисилоксана

Номер патента: 1241643

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Аркадьев, Кох, Назаров, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: октахлортрисилоксана

Способ получения октахлортрисилоксана из кремнийсодержащего материала при нагревании с последующей конденсацией, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода, процесс ведут путем обработки кремния хлор-воздушной смесью при соотношении хлора и воздуха равном 1 : 2,5 - 4,0, при 350 - 460oC.

Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния из отходов, содержащих полисиланхлориды и полисилоксанхлориды

Номер патента: 1070844

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Данов, Еременко, Косарев, Малороссиянов, Назаров, Семенов, Силаков, Старобина, Ходяков, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: кремния, отходов, полисиланхлориды, полисилоксанхлориды, содержащих, трихлорсилана, четыреххлористого

1. Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния из отходов, содержащих полисиланхлориды и полисилоксанхлориды, включающий концентрирование отходов, их испарение и хлорирование в реакционной зоне с последующей конденсацией полученных продуктов, отличающийся тем, что, с целью снижения пожаровзрывоопасности процесса, повышения производительности процесса и снижения энергозатрат, хлорирование ведут газообразным хлором в смеси с водородом при их соотношении 1 : (0,3 - 1,2).2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью комплексного использования сырья, в качестве водорода используют абгазный водород после синтеза трихлорсилана и/или процесса водородного восстановления.

Способ переработки кремнийи углеродсодержащих материалов

Номер патента: 1176610

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Бочкарев, Булгаков, Дьяков, Назаров, Огурцов, Плотников, Чапыгин

МПК: C22B 7/00

Метки: кремнийи, переработки, углеродсодержащих

Способ переработки кремний- и углеродсодержащих материалов, преимущественно отходов карбида кремния, включающий хлорирование газообразным хлором при нагревании с получением углерода и парогазовой смеси, содержащей тетрахлорид кремния, вывод смеси из реакционной зоны и последующую конденсацию тетрахлорида кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения чистоты получаемых продуктов, перед хлорированием исходные материалы обрабатывают четыреххлористым кремнием при температуре 800 - 1500oC, хлорирование проводят в течение 5-60 мин, вывод парогазовой смеси осуществляют при температуре 700 - 800oC, а вывод углерода - при температуре 80 - 250oC.

Способ выделения тетрахлорсилана из его смеси с гексахлордисилоксаном и гексахлордисиланом

Номер патента: 1061399

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Аркадьев, Данов, Кох, Малороссиянов, Назаров, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: выделения, гексахлордисиланом, гексахлордисилоксаном, смеси, тетрахлорсилана

Способ выделения тетрахлорсилана из его смеси с гексахлордисилоксаном и гексахлордисиланом, включающий фракционное разделение, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода продукта, фракционное разделение ведут путем охлаждения смеси до минус 35 - минус 50oC со скоростью 1,5 - 10 град/мин, отделение твердой фазы, ее последующего нагрева до минус 30 - минус 15oC со скоростью 0,5 - 1,5 град/мин и вывода жидкой фазы.

Способ выделения гексахлордисилана из его смеси с трихлорсиланом и тетрахлорсиланом

Номер патента: 1061400

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Аркадьев, Кох, Назаров, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: выделения, гексахлордисилана, смеси, тетрахлорсиланом, трихлорсиланом

Способ выделения гексахлордисилана из его смеси с трихлорсиланом и тетрахлорсиланом, включающий фракционное разделение, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода гексахлордисилана, фракционное разделение ведут путем охлаждения смеси до минус 5 - минус 30oC со скоростью 0,5 - 1,5 град/мин и вывода жидкой фазы.

Способ переработки отходов, содержащих полисиланхлориды кремния

Номер патента: 911859

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Бочкарев, Данилевский, Данов, Елютин, Кох, Малороссиянов, Назаров, Огурцов, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: кремния, отходов, переработки, полисиланхлориды, содержащих

Способ переработки отходов, содержащих полисиланхлориды кремния, на тетрахлорид кремния, включающий ввод и испарение кубового остатка при нагревании в реакционной зоне с одновременным вводом хлора и последующую конденсацию продуктов, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и повышения степени использования отходов, ввод кубового остатка осуществляют со скоростью 15 - 40 м/с и временем контакта полисиланхлоридов с хлором 0,05 - 1,0 с при парциальном объеме хлора в парогазовой фазе 25 - 95%.

Способ получения четыреххлористого кремния

Номер патента: 1007320

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Данов, Кравцов, Малороссиянов, Назаров, Старобина, Ходяков, Чапыгин, Швец, Юшко

МПК: C01B 33/08

Метки: кремния, четыреххлористого

Способ получения четыреххлористого кремния из отходов производства кремния, содержащих полисиланхлориды, включающий хлорирование отходов газообразным хлором при повышенной температуре, отличающийся тем, что, с целью снижения энергоемкости процесса и его упрощения, хлорирование проводят в две стадии, на первой стадии при 20 - 25oC, а на второй при 250 - 500oC.

Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния

Номер патента: 1153493

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Аркадьев, Воробьев, Данов, Еременко, Кох, Лозовацкий, Малороссиянов, Назаров, Старобина, Ходяков, Чапыгин, Юшко

МПК: C01B 33/08

Метки: кремния, трихлорсилана, четыреххлористого

1. Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния из кремнийсодержащего сырья, включающий стадии хлорирования, абсорбционной конденсации и очистки сконденсированных продуктов ректификацией, отличающийся тем, что, с целью повышения степени чистоты по борту, в качестве абсорбента используют смесь четыреххлористого кремния и гексахлоридисилоксана или смесь четыреххлористого кремния, трихлорсилана и гексахлордисилоксана.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью снижения потерь хлорсиланов содержание гексахлоридисилоксана в абсорбенте поддерживают в пределах 1 - 80 мас.%.3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что содержание трихлорсилана в абсорбенте поддерживают...

Способ получения гексахлордисилана

Номер патента: 987916

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Данов, Малороссиянов, Назаров, Старобина, Ходяков, Чапыгин, Юшко

МПК: C01B 33/08

Метки: гексахлордисилана

Способ получения гексахлордисилана, включающий хлорирование кремнийсодержащего материала, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода целевого продукта и удешевления процесса, в качестве кремнийсодержащего материала используют кубовые остатки производства кремния, содержащие полисиланхлориды и четыреххлористый кремний, и процесс ведут при (-10) - (+60)oC при соотношении четыреххлористый кремний : полисиланхлориды : хлор, равном 1 : (0,05 - 10) : (0,03 - 5).

Шахтное видеопередающее устройство

Номер патента: 1602111

Опубликовано: 20.04.2000

Авторы: Богомолов, Гаврилин, Гвоздев, Гейхман, Иванов, Назаров, Чернов

МПК: E21C 35/24

Метки: видеопередающее, шахтное

Шахтное видеопередающее устройство, содержащее тиристорный ключ, выход которого через узел сжатия импульсов подключен к источнику излучения в виде сборки лазерных световодов, оптически сочлененных с интегратором смесителем, перед которым установлен выходной объектив, электронно-оптический преобразователь, перед которым установлен входной объектив, регулируемый источник питания, блок управления импульсами, синхрогенератор, видеоусилитель, линейный усилитель, выход которого соединен с видеоконтрольным узлом, генератор импульсов подключен к первому входу блока управления импульсами, первый выход которого соединен с первым входом тиристорного ключа и выходом регулируемой линии задержки, которая...

Способ разработки нефтяного месторождения с обводненными продуктивными пластами

Номер патента: 1633872

Опубликовано: 27.03.2000

Авторы: Гирфанов, Доброскок, Кандаурова, Кубарева, Назаров, Репин, Сергеев, Чернокнижный

МПК: E21B 43/20, E21B 43/22

Метки: месторождения, нефтяного, обводненными, пластами, продуктивными, разработки

Способ разработки нефтяного месторождения с обводненными продуктивными пластами, включающий закачку в пласт воды, снижение давления в обводнившейся части пласта с последующей закачкой в нее раствора полимера и отбор нефти из добывающих скважин, отличающийся тем, что, с целью повышения нефтеотдачи за счет вовлечения в разработку невыработанной части пласта до снижения давления в обводнившейся части пласта, определяют контур обводненности обводнившейся части пласта, в скважинах, расположенных внутри контура обводненности, максимально снижают пластовое давление, а закачку раствора полимера проводят в скважины, расположенные по контуру обводненности.

Способ лечения артроза коленного сустава

Номер патента: 1684977

Опубликовано: 27.03.2000

Автор: Назаров

МПК: A61B 17/56

Метки: артроза, коленного, лечения, сустава

Способ лечения артроза коленного сустава путем формирования каналов в метафизе большеберцовой кости с последующим заполнением канала тканью, отличающийся тем, что, с целью предупреждения послеоперационных осложнений за счет обеспечения жизнеспособности сосудистого пучка, каналы формируют с пересечением их, мобилизуют подкожную ветвь нисходящей артерии колена, вводят ее в один канал, а в другой устанавливают дренаж с последующей аспирацией.

Способ получения диалкилкарбонатов

Номер патента: 1267746

Опубликовано: 27.02.2000

Авторы: Злотский, Назаров, Пастушенко, Рахманкулов, Соколовский

МПК: C07C 68/00, C07C 69/96

Метки: диалкилкарбонатов

Способ получения диалкилкарбонатов формулыгде R1 - R2 - алкил с числом атомов углерода от 2 до 6, R1 - этил и R2 - алкил с числом атомов углерода от 3 до 6,путем окисления алкилортоформиатов при нагревании, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода и расширения ассортимента целевых продуктов, этилортоформиат подвергают окислению ацетатом ртути в автоклаве при 170 - 210oC, и в случае, когда R1 и/или R2 отличны от этила, процесс ведут в присутствии соответствующего С3 - С6-спирта, при соотношении...

Рабочий орган для разрушения горных пород токами высокой частоты

Номер патента: 1258123

Опубликовано: 20.01.2000

Авторы: Бокарев, Буртолик, Долголаптев, Захаров, Красновский, Молчанов, Моргун, Назаров, Наумшин, Образцов, Перов, Радовский, Рафалович, Ривкин, Рогач, Шаркова, Юхно

МПК: E21C 37/18

Метки: высокой, горных, орган, пород, рабочий, разрушения, токами, частоты

1. Рабочий орган для разрушения горных пород токами высокой частоты, включающий корпус с патрубком для подачи сжатого воздуха, высоконапорный шланг и электрод, состоящий из токопровода и забойной части, соединенный с высокочастотным генератором посредством радиочастотного кабеля, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности процесса разрушения горных пород за счет предотвращения растекания тока по поверхности породы и концентрации выделения энергии в приэлектродной зоне шпура, забойная часть электрода, который выполнен полым, имеет радиальные отверстия, а между корпусом и электродом установлены изолирующие втулки, при этом в стенках электрода и втулок выполнены радиальные каналы...

Устройство для восстановления эмиссии цветных электронно лучевых трубок

Номер патента: 1200750

Опубликовано: 27.10.1999

Авторы: Бурмистров, Кувшинников, Назаров, Толмачев

МПК: H01J 9/50

Метки: восстановления, лучевых, трубок, цветных, электронно, эмиссии

Устройство для восстановления эмиссии цветных электронно-лучевых трубок, содержащее клеммы для подключения подогревателя катода, ускоряющих электродов и модулятора, первый источник напряжения, подключенный к клеммам для соединения с подогревателем катода, второй источник напряжения с четырьмя выходами, первый трехпозиционный переключатель, последовательно соединенные второй, третий и четвертый многопозиционные переключатели, регулятор напряжения, вход которого подключен к первому выходу второго источника напряжения, а выход к второму входу второго переключателя, последовательно соединенные пороговый индикатор и интегрирующую RC-цепь, выход которой подключен к входу четвертого переключателя,...

Способ переработки кубовых остатков производств трихлорсилана и поликристаллического кремния

Номер патента: 1422571

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Аркадьев, Аронов, Кох, Лозовацкий, Миттельштейн, Назаров, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/107

Метки: кремния, кубовых, остатков, переработки, поликристаллического, производств, трихлорсилана

Способ переработки кубовых остатков производств трихлорсилана и поликристаллического кремния, включающий их концентрирование, отличающийся тем, что, с целью обеспечения полноты переработки пожаровзрывоопасных веществ, повышения безопасности процесса, а также его упрощения, кубовые остатки после концентрирования до содержания полисилан- и полисилоксанхлоридов 10 - 40 мас. % подвергают взаимодействию с водным раствором карбоната натрия при массовом соотношении кубовых остатков в пересчете на хлор и карбоната натрия, равном 1 : 1,6-3,3.

Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния

Номер патента: 1239983

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Аркадьев, Данов, Еременко, Кох, Крикавцов, Малороссиянов, Назаров, Старобина, Тищенко, Ходяков, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: кремния, трихлорсилана, четыреххлористого

Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния путем гидрохлорирования кремния в кипящем слое, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и повышения степени конверсии хлористого водорода, процесс ведут при линейной скорости 0,18 - 0,28 м/с, высоте кипящего слоя 3,5 - 4,5 м и среднем эквивалентном диаметре частиц кремния 400 - 800 мкм.

Способ получения четыреххлористого кремния

Номер патента: 1287464

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Аркадьев, Кох, Назаров, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: кремния, четыреххлористого

Способ получения четыреххлористого кремния, включающий испарение и хлорирование кубовых остатков производства трихлорсилана при повышенной температуре с последующей конденсацией парогазовой смеси, отличающийся тем, что, с целью повышения чистоты целевого продукта, хлорирование кубовых остатков проводят в присутствии кислорода или гексахлорсилоксана, взятых в количестве, обеспечивающем отношение хлора к кислороду 100:1 - 10:1.

Способ переработки кубовых остатков производства поликристаллического кремния

Номер патента: 1568449

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Данов, Епихин, Копытов, Назаров, Огурцов, Томашов, Халиков, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: кремния, кубовых, остатков, переработки, поликристаллического, производства

Способ переработки кубовых остатков производства поликристаллического кремния, включающий двустадийное хлорирование кубовых остатков в жидкой фазе с получением тетрахлорида кремния, отличающийся тем, что, с целью снижения взрывоопасности процесса и повышения чистоты получаемого тетрахлорида кремния, используют кубовые остатки с массовым соотношением содержания тетрахлорида кремния и сумма полисилан- и полисилоксанхлоридов, равном 1: 0,05 - 0,11, первую стадию хлорирования осуществляют при массовом соотношении хлора и суммы водородсодержащих полисилан- и полисилоксанхлоридов, равном 0,5 - 0,75:1, затем отгоняют тетрахлорид кремния до массового соотношения содержания тетрахлорида кремния и...

Способ получения пентахлордисилоксана

Номер патента: 1389199

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Аркадьев, Кох, Назаров, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: пентахлордисилоксана

1. Способ получения пентахлордисилоксана, включающий обработку трихлорсилана реагентом при повышенной температуре и последующее выделение целевого продукта, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода пентахлордисилоксана, в качестве реагента используют кислород воздуха при объемном соотношении кислорода и трихлорсилана, равном 1:2,9 - 17,5 и процесс ведут при 150 - 500oC.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что пентахлордисилоксан выделяют конденсацией продуктов реакции и дальнейшей их ректификацией.

Способ получения трихлорсилана

Номер патента: 1432950

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Аркадьев, Данов, Кох, Лозовацкий, Назаров, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/08, C01B 33/107

Метки: трихлорсилана

Способ получения трихлорсилана, включающий гидрохлорирование кремнийсодержащего сырья, конденсацию газообразных продуктов реакции, выделение трихлорсилана ректификацией и нейтрализацию несконденсированных газов, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения трихлорсилана из газов при одновременном снижении пожаро- и взрывоопасности процесса, перед стадией нейтрализации проводят абсорбцию трихлорсилана путем орошения тетрахлоридом кремния при температуре от -20 до -60oC и при плотности орошения 2 - 12 кг SiCl4/м3 газов.

Способ получения трихлорсилана

Номер патента: 1432951

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Аркадьев, Кох, Лозовацкий, Назаров, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/107

Метки: трихлорсилана

Способ получения трихлорсилана, включающий взаимодействие водорода и хлора, гидрохлорирование кремнийсодержащего сырья полученным хлористым водородом, конденсацию трихлорсилана и его ректификацию, отличающийся тем, что, с целью уменьшения содержания примесей бора в трихлорсилане и повышения экономичности процесса, конденсацию проводят до остаточного содержания трихлорсилана 0,01 - 7 мас. % в парогазовой смеси, которую затем смешивают с исходным водородом и подают на стадию взаимодействия с хлором.

Способ получения трихлорсилана

Номер патента: 1431254

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Аркадьев, Борисенко, Кох, Назаров, Немкович, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/08, C01B 33/107

Метки: трихлорсилана

Способ получения трихлорсилана, включающий гидрохлорирование измельченного кремния в непрерывном режиме в квазигомогенной среде хлористый водород - кремний при повышенной температуре, последующую конденсацию газообразных продуктов реакции, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода трихлорсилана и удельной производительности процесса, гидрохлорирование осуществляют путем инжектирования и транспортирования кремния в реакционной зоне потоком хлористого водорода, затем кремний отделяют от газообразных продуктов реакции и повторно инжектируют, при этом температуру инжектируемого кремния на входе в реакционную зону поддерживают равной 240 - 320oC.

Способ получения гексахлордисилоксана

Номер патента: 1249871

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Аркадьев, Кох, Назаров, Старобина, Чапыгин

МПК: C01B 33/08

Метки: гексахлордисилоксана

Способ получения гексахлордисилоксана, включающий обработку кремния газовой смесью, содержащей хлор и кислород, при повышенной температуре, охлаждение парогазовой смеси, конденсацию и отделение целевого продукта, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода гексахлордисилоксана, обработку кремния проводят при 550 - 650oC хлор-воздушной смесью при соотношении хлор : воздух 1:0,8 - 2,0, а конденсацию ведут путем продувки парогазовой смеси через жидкий гексахлордисилоксан при 80 - 100oC.