Игнашева

9-диэтиламино-3-метакрилоилокси-5н-бензо феноксазин-5 дицианметилен в качестве термонапыляемого фоторезиста для сухой литографии

Загрузка...

Номер патента: 1556076

Опубликовано: 07.08.1992

Авторы: Агабеков, Алексеев, Гудименко, Игнашева, Лабунов, Солдатов

МПК: C07D 265/38, G03C 1/72, H01L 21/312 ...

Метки: 9-диэтиламино-3-метакрилоилокси-5н-бензо, дицианметилен, качестве, литографии, сухой, термонапыляемого, феноксазин-5, фоторезиста

...ФРтолщиной 1,1 мкм (пример 2) обрабатывают ионами аргона с Е = 30 кэВ, Р = 110 ион/ /см, 1 = 50-80 мкЛ/см и помещают в установку плаэмохимического травления 08-ПХ 0-100 Т, где обрабатывают плазмой "Хладон" (СР) при следующих условиях: давление в камере 1 мм рт.ст мощность 1,8 кВт, ток 0,7 А, время травления 3 мцн, В этих условиях скорость травления, рассчитанная по изменению толщины пленки за Ю время воздействия плазмы, Ч = 100 А/ /мин. Селективцость транлеция, определяемая отношением скорости травления9810/Чб = 1000 Л/миц к скорости траволения маски, Б = 10. 25П р и м е р 14. Пластину 80 на КДБ-О,З с пленкой ФРтолщиной ,1 мкм (пример 2) облучают излучением лампы ДРЦ 1-000 (доза 8-10 Дж/см ) и помещают в установку илазмохимцческого...

Мембранный патронный элемент

Загрузка...

Номер патента: 1468560

Опубликовано: 30.03.1989

Авторы: Артамонов, Гриншпан, Дударчик, Игнашева, Капуцкий, Каталевский, Кумачев, Скутова, Черненко

МПК: B01D 13/00

Метки: мембранный, патронный, элемент

...элемента на ма ный из вискозной ткани, фосфорной кислоте, 1 ил. ва. Для этого необходимо уменьшить толщину опорной сетки, что ограничивается недостаточной жесткостью, Тонкие сетки не могут выполнять функции опорных в патронном фильтре. По этой же причине в качестве опорных сеток не могут быть использованы и обычные тканевые материалы.В предложенной конструкции мембранного элемента в качестве опорной сетки используется вискозная ткань, предварительно обработанная коцентрированной фосфорной кислотой при комнатной температуре в течение 0,5 - 2,0 мин. Обработанная ткань (в отличие от исходной) легко гофрируется и держит форму. При указанных условиях химические реакции в системе не протекают, а происходит лишь изменение физической...

Способ определения размеров частиц в жидкостях

Загрузка...

Номер патента: 1448246

Опубликовано: 30.12.1988

Авторы: Дударчик, Игнашева, Калошкин, Лакоза, Пилипович, Чехович

МПК: G01N 15/14

Метки: жидкостях, размеров, частиц

...находящимися в прокачиваемой жидкости, счетного объема 4, излучение рассеивается ими во все стороны. Рассеянное час тицами йзлучение, распространяющееся от счетного объема, регистрируется первым 5 и вторым 6 фотоприемниками, расположенными симметрично относитель. но плоскости, перпендикулярной нап равлению прокачивания жидкости и проходящей через счетный объем.При попадании частицы в счетный объем на выходе первого 5 и второго 6 фотоприемников формируются импульсы 45 электрических сигналов. При этом фронты и спады этих двух импульсов совпадать не будут. В момент пересечения частицей границы счетного объема 4, когда частица рассеивает свет только частью своей поверхности, индикатрисса рассеяния преобретает несимметричный вид,...

Вакуумный фоторезист

Загрузка...

Номер патента: 1126581

Опубликовано: 30.11.1984

Авторы: Балабанов, Бунаков, Васильев, Иващенко, Игнашева, Калошкин, Титов, Точицкий

МПК: C09B 47/30

Метки: вакуумный, фоторезист

..."У" 15 не применяли по данному изобретению.Целью изобретения является разра" ботка нового вакуумного фоторезиста, позволяющего повысить разрешающую способность при производстве 20 микроэлементов электронных схем, снизить дефектность слоя Фоторезиста, а также упрощение технологии производства защитного слоя, позволяющее осуществить замкнутый вакуумный цикл производства интегральных схем,Указанная цель достигается тем, что используют пигмент зеленовато- голубой Фталоцианиновый "У" Формулы: ЗО3 11265величине плотности мощности и плот-ности энергии лазерного излучения,устойчив к действию травящих фреоновых плазм и ионного облучения с энер. гией ионов (10 эВи полностью ис-.паряется под деиствием лазерного изи5лучения.П р и м е р 1. Навеску...

Электронорезист

Загрузка...

Номер патента: 1056123

Опубликовано: 23.11.1983

Авторы: Игнашева, Калошкин, Корчков, Мартынова

МПК: G03C 1/68

Метки: электронорезист

...и толщины защитной маски,Наличие сурьмы в полученных защитных масках и их высокая термостабильность открывает новое Функциональное назначение резиста - возможность использования его в ка- . честве истоцника диффузанта сурьмы в полупроводниковую подложку и менять тип ее проводимости.П р и м е р 1, Получение защитной маски негативного типа и р- п перехода.Пленку чувствительноГо слоя наносят на установке УВНР 2, для чего 0,2 г (винил,стибин) силсес" квиоксана помещают в испаритель тигельного типа и напыляют на холодную подложку кремния Р -типа, расположенную над испарителем на расстоянии 20 смРабочий вакуум в камере 10 мм рт,ст , время испарения вещества 2 мин. Температуру испарителя изменяют от 20 до 150 С в следующем режиме:;30-140 С...

Способ определения органического углерода в воде

Загрузка...

Номер патента: 1049801

Опубликовано: 23.10.1983

Авторы: Игнашева, Калошкин, Королев, Овсянко, Рахманько, Седнев, Сергеева, Старобинец

МПК: G01N 31/16

Метки: воде, органического, углерода

...который располагается между кюветой и Ч -образным кварцевым змеевиком, служащим для проведения предварительного озонирования кислорода, поступающего в кювету. При этом начинается одновременно и процесс окислений под воздействием ультрафиолетового излучения и разогрев кюветы. Температура .кюветы во время процесса окис. ления поддерживается на уровне 90- 100 еС. Процесс облучения ведут 15-25 мин после чего отключают ртут" но-кварцевую лампу, определяют коли" чество образовавшейся двуокиси угле" рода, прекращают. подачу кислорода и раэгерметизируют систему.Расчет содержания органического углерода (мг/л) проводят по формулеС= -.Эгде Ч - объем титранта, пошедшийв холостом определении,мл;Чр " объем титранта, .пошедшййпри анализе пробы,...

Водный раствор для химического осаждения покрытий из никель бора на поверхность меди

Загрузка...

Номер патента: 1014979

Опубликовано: 30.04.1983

Авторы: Браницкий, Гаевская, Гвоздков, Игнашева, Калошкин, Милещенко, Свиридов, Царев, Цыбульская

МПК: C23C 3/02

Метки: бора, водный, меди, никель, осаждения, поверхность, покрытий, раствор, химического

...со скоростьюдо 1 мкм/ч 2,.Однако скорость процесса при повышенных температурах является недостаточной, а внешний вид и способность по- з,крытий к сварке не удовлетворяю необ-:ходимым требованиям,Цель изобретения - повышение скорос-ти процесса, а также получение блестящих покрытий с улучшенной способностьюк сверке. Толщина полученного покрытия,мкмУсилив отрыва электронных .выводов после их сварки к полученному покрытию, г 79 2Указанная цель достигается твм, что . водный раствор, включающий хлористый никель борогидрид натрия, сегнвтовусоль, атилендиамин, гидроокйсь натрия и стабилизатор, в качестве стабилизатора содержит 8-нитробензимидазол при следующем соотношении компонентов, вес.%:Хлористый никель 0,23-2, ЭВорогидрид натрия...

Способ снижения иммунологической активности лимфоцитов

Загрузка...

Номер патента: 874063

Опубликовано: 23.10.1981

Авторы: Данилова, Игнашева, Сеславина, Федотенков

МПК: A61K 31/047, A61P 37/06

Метки: активности, иммунологической, лимфоцитов, снижения

...С 57 В 16 в дозе 5,0 х 10 добавляют к клеткам селезенки мышей линии СВА в разной концентрации. Причем взвесь клеток селезенки мьппей СВА готовят в трех видах суспензии: свежезаготовленные клетки, свежезаготовленные клетки с 149-157.-ным глицерином ( при экспозиции 15 мин и свежезаго- товленные клетки с 14,9-153-ным глицерином при экспозиции 30 мин),. Смешанную суспензию клеток вводят внутривенно мышам-гибридам (СВА-хх С 57 В 16)Р,1 через 20 ч после облучения. Мышей-реципиентов облучают нааппарате ЭГО-лучами Со в летаботельной дозе 880 р (опыты с экзогенными колониями) .Установлено, что свежезаготовленные клетки селезенки мышей СВА в до 10 эе 4,0 х 10 инактивируют стволовыеклетки мышей С 57 В 16. Индекс инактивации при этом равен...

Полимерный состав для изготовлениямембранного фильтра

Загрузка...

Номер патента: 836044

Опубликовано: 07.06.1981

Авторы: Артамонов, Букатина, Верниковский, Гойденко, Игнашева, Калошкин, Солдатов

МПК: C08L 27/24

Метки: изготовлениямембранного, полимерный, состав, фильтра

...воде составляет 6,36 мл/мин см при перепаде давлений 1 атм, пористость 70 об. , давление проавливания Ы первого пузырька 5,6 кгс/смП р и м е р 2. Готовят раствор, содержащий 25 вес,хлорированного поливинилхлорида ГОСТ 10215-72 4 465 вес.диметилсульфоксида и 10 вес. этилацетата, Раствор с помощью фильеры наносят на пластину из полированного стекла. Формование пористой мембраны проводят в растворе, содержащем75 об.гексилового спирта и 25 об,ацетона.Полученная мембрана имеет равномерную пористую структуру, среднийдиметр пор 0,54 мкм. Производительность фильтрации через мембрану поводе 31,84 мл/мин см при перепадедавлений 1 атм, пористость 71 об. ,давление появления первого пузырька2,0 кгс/смП р и м е р 3. Готовят раствор,содержащий 20...

Способ получения фильтровального материала

Загрузка...

Номер патента: 740797

Опубликовано: 15.06.1980

Авторы: Артамонов, Верниковский, Гойденко, Жалковская, Игнашева, Клементович, Пестрак, Погоцкий, Солдатов, Шункевич

МПК: C08J 9/28

Метки: фильтровального

...отмачивают в ацетоне и снимают со стекла, Полученная мембрана имеет анизотропную струк3, 2740797 Формула изобретения Составитель Б, ХолоденкоРедактор Т. Девятко Техред Л.Щепанская Корректор Б. Бутяга Тира( 549 Подписное Заказ 3149/30 ЦИИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб. д. 4/5 филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 туру с селектиВным с 2 Оем, средний радиус пор 0,028 мкм, производительностьпо диметилФормамиду (ДМ 242 А) 0,42, поВоде 0,30 ги 2/мин см при перепадедавлений 1 кг/см , пористость бб об, 2.2П р и м е р 2 Приготавливают растВорсодер 22(ащий у Вес, о г капро н марки Лб-24, муравьиная кислота64,6 и вода 11,4. С помощью Фильерыраствор на стеклянную...

Электроконтактное устройство

Загрузка...

Номер патента: 647637

Опубликовано: 15.02.1979

Авторы: Игнашева, Милещенко, Проскурин, Сергеенко

МПК: G04C 23/00

Метки: электроконтактное

...на выступающем из втулкишлицевом конце валика 2 и выполненного в виде пластины.Устройство установлено в корпусе 4 ивзаимодействует с неподвижными контактами: контакт 5 коррекции, контакт 6 индикации, контакт 7 включения лампочки подсветки,Втулка с флаицем 1 выполнена из низкоомного эластичного токопроводящего материала коническои формы для плотной посадки в корпусе часов и обеспечения герметичности. На поворотном валик цы для лучшего сцепле втулки после запрессовки ной посадки подвижногоВтулка 1, армированн цевым валиком 2, запре редственно в корпус час647637 Формула изобретения 3что фланец втулки входит в корпус и фиксирует втулку с валиком. Затем на выступающий шлицевой конец валика 2. надевается подвижный. контакт 3, и конец валика...

Барабанный ускоритель

Загрузка...

Номер патента: 590224

Опубликовано: 30.01.1978

Авторы: Гончаренко, Игнашева

МПК: B65G 69/20

Метки: барабанный, ускоритель

...цилиндрического барабана с шипами 1, приводимого во вращение от привода с редуктором через 10 карданный вал 2 и цепную передачу 3 с натяжным роликовым подпружиненным устройством 4. Оба конца вала устансвлены в подшипники на балансирной подвеске 5, обеспечивающей качение бревна в верти кальной плоскости, перпендикулярной егоосевой линии, Положение бревна относительно горизонта воды устанавливается винтовыми подъемными механизмами 6 при помощи вращения, рукояток 7. Впнтовыс механизмы 20 шарнирно установлены на осях 8 в кронштейнах 9, прикрепленных болтами к брусьям моста наплавного сооружечпя. Винтовые механизмы жестко соединены с дсмпферами 10, состоящими из упругих элсмен тов с гасителями клоебанпй, например пружинно-гидравлическими,...