H05H — Плазменная техника

Номер патента: 1190960

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Григорьев, Степанов, Федоров

МПК: H05H 7/00

Метки: выпуска, пучка, электронного

Устройство для выпуска электронного пучка преимущественно в газовый объем из вакуумной камеры с системой откачки, содержащее фольговое окно, выполненное в виде опорного фланца с прижимной рамкой, между которыми расположена фольга, а по внутреннему периметру прижимной пластинки расположена уплотнительная прокладка, и механизм перемотки фольги, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности, оно снабжено дополнительным уплотнительным элементом, расположенным по наружному периметру прижимной рамки со стороны, обращенной к опорному фланцу, имеющему отверстия и внутренний канал, и вакуумным клапаном, соединяющим газовый объем с камерой, сообщающейся через отверстия...

Номер патента: 1099826

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Гусев, Завьялов, Лисин, Логинов, Мартынов

МПК: H05H 5/02

Метки: импульсный, инжектор, электронов

1. Импульсный инжектор электронов, содержащий электронную пушку с основным и вспомогательным термокатодами и анод, импульсный трансформатор, содержащий первичную и вторичную обмотки, трансформатор с выпрямителем электронного накала, включенный последовательно с вторичной обмоткой импульсного трансформатора и связанный положительным полюсом выпрямителя с основным термокатодом и источник прямого накала, соединенный с заземленным вспомогательным термокатодом, отличающийся тем, что, с целью увеличения предельной мощности и коэффициента компрессии пучка, основной термокатод выполнен в форме цилиндра Фарадея с полыми стенками, на внешнюю торцевую поверхность которого нанесен эмиттирующий слой,...

Номер патента: 1639403

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Григорьев, Степанов, Федоров

МПК: H05H 5/02

Метки: выпуска, окно, электронов

Окно для выпуска электронов, содержащее фольгу и опорную решетку в виде по меньшей мере двух рядов параллельных пластин, расположенных между охлаждаемыми основаниями и закрепленных на них одним концом, отличающееся тем, что, с целью увеличения срока службы окна, свободные концы пластин, закрепленных на одном основании, расположены между свободными концами пластин, закрепленных на соседнем основании, а длина пластин 1 удовлетворяет условию 0,6d 1 0,7d, где d - расстояние между охлаждаемыми основаниями, м.

Номер патента: 1582960

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Глебов, Жаринов, Ивкин, Новичков, Солдатенков

МПК: H05H 5/00

Метки: пучков, формирования, электронных

1. Способ формирования электронных пучков, включающий наложение импульсного электрического поля на электродную систему, компенсацию пространственного заряда пучка в заанодной области и контроль поперечного размера пучка на выходе области формирования, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем повышения плотности мощности в электронном пучке и снижения его расходимости, наложение электрического поля на электродную систему осуществляют ступенями, пространственный заряд пучка компенсируют в области между первой ступенью ускорения и ступенью доускорения путем напускания газа в полый промежуток дрейфа, регулируют крутизну переднего фронта импульса электрического...

Номер патента: 1466624

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Власов, Глебов, Ивкин, Малафеев, Новичков

МПК: H05H 7/00

Метки: инжектор, сильноточный, электронов

1. Сильноточный инжектор электронов, содержащий помещенные в вакуумную камеру и последовательно расположенные вдоль оси системы многопучковый катод, анод, трубу дрейфа с магнитной центрирующей системой, диафрагмой и блоком магнитной компрессии, снабженным цилиндрической катушкой, помещенной в ферромагнитный экран, отличающийся тем, что, с целью увеличения плотности мощности в протяженных, однородных по длине потоках электронов, повышения надежности и долговечности, блок магнитной компрессии выполнен с возможностью перемещения вдоль оси инжектора, помещен в трубу дрейфа и снабжен расположенными на его входе и выходе двумя ферромагнитными трубками, встроенными внутрь ферромагнитного экрана, а...

Номер патента: 1066451

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Гусев, Завьялов, Лисин, Мартынов

МПК: H05H 7/04

Метки: импульсный, инжектор, электронов

1. Импульсный инжектор электронов, содержащий цилиндрический проводящий корпус, в котором осесимметрично расположены колонна тороидальных сердечников с первичными обмотками и трубчатый держатель катодного узла, закрепленный на верхнем основании корпуса, анодный электрод, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей его, а именно формирования монохроматичных пучков микросекундного диапазона с регулируемой интенсивностью и компрессией, и повышения надежности, устройство снабжено дополнительным кольцевым термокатодом, расположенным осесимметрично с анодным электродом, выполненным в виде усеченного конуса, меньшее основание которого ориентировано в сторону основного...

Номер патента: 1119598

Опубликовано: 20.06.2000

Автор: Лисин

МПК: H05H 5/02

Метки: импульсного, инжектора, источник, питания, электронов

1. Источник питания импульсного инжектора электронов, содержащий зарядный источник, двухступенчатые формирующие линии, состоящие из Г-образных LС-звеньев, выходы которых соединены последовательно, и управляемые коммутаторы с системой запуска, каждый из которых подключен к входу первой ступени формирующих линий, отличающийся тем, что, с целью увеличения импульсной удельной мощности, зарядный источник включен последовательно с управляемыми коммутаторами, выполненными в виде прерывателей тока, и индуктивными звеньями обеих ступеней всех формирующих линий, при этом вторые ступени формирующих линий закорочены на выходе, а на входе включены последовательно между собой и параллельно инжектору.

Номер патента: 1535363

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Гришутин, Завьялов, Зверев, Соболева, Шапиро

МПК: H05H 5/03

Метки: трубка, ускорительная

1. Ускорительная трубка, содержащая корпус, катод, окруженный фокусирующим электродом, и систему промежуточных плоских электродов с осесимметричными отверстиями, подключенных к делителю напряжения, отличающаяся тем, что, с целью увеличения удельной мощности электронного пучка, корпус выполнен из керамических колец, высота которых линейно убывает в направлении к выходу трубки, а отверстия плоских электродов имеют переменный диаметр, величина которого линейно уменьшается в направлении к выходу в соответствии со следующими соотношениями:1 < Hn-1/Hn 1,20,8

Номер патента: 1297706

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Гусев, Завьялов, Зверев, Лисин, Мартынов

МПК: H05H 5/00

Метки: трансформаторный, ускоритель, электронов

1. Трансформаторный ускоритель электронов, содержащий герметичный корпус, на оси симметрии которого расположена многоэлектродная ускорительная трубка и источник питания накала, повышающий трехфазный трансформатор с пространственно-симметричным магнитопроводом, несущим первичную и секционированную вторичную обмотки, и выпрямительные блоки, расположенные симметрично и параллельно осям обмоток трансформатора и соединенные по мостовой схеме с высоковольтным выводом, потенциальные экраны выпрямительных блоков и источника накала, отличающийся тем, что, с целью повышения удельной мощности и КПД, пространственно-симметричный магнитопровод выполнен в виде вертикальных колонн, каждая из которых...

Номер патента: 1126196

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Завьялов, Лисин, Мартынов

МПК: H05H 5/00

Метки: импульсный, ускоритель, электронов

1. Импульсный ускоритель электронов, содержащий ускорительную трубку с термокатодом и промежуточными конусными электродами, расположенную на оси симметрии импульсного трансформатора с пространственным магнитопроводом, образованным группой О-образных сердечников, расположенных радиально и несущих первичную обмотку, расположенную на внешних по отношению к трубке стержнях сердечников, и вторичную сдвоенную обмотку, охватывающую внутренние стержни и ускорительную трубку, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента использования мощности, трансформатор снабжен дополнительной секционированной обмоткой, соединенной последовательно с первичной обмоткой, выполненной в виде цилиндрических...

Номер патента: 1074379

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Завьялов, Зверев, Лисин, Мартынов

МПК: H05H 5/08

Метки: трансформаторный, ускоритель, электронов

1. Трансформаторный ускоритель электронов, содержащий цилиндрический корпус с коаксиально расположенными в нем секционированной ускорительной трубкой с катодом и n промежуточными электродами и импульсным трансформатором с секционированными первичной и сдвоенной вторичной обмотками и группой сердечников, отличающийся тем, что, с целью повышения КПД и мощности устройства, импульсный трансформатор выполнен из размещенных друг над другом n идентичных модулей, каждый из которых состоит из первичной обмотки, сердечника, сдвоенной вторичной обмотки и обмотки возбуждения, при этом выводы вторичных обмоток модулей соединены между собой последовательно, а точки соединения подключены к сердечникам и...

Номер патента: 997593

Опубликовано: 10.09.2000

Авторы: Абросимов, Куликов, Михеев

МПК: H05H 7/10

Метки: внутренних, вторичных, импульса, мишенях, синхроциклотрона, формирования, частиц

1. Способ формирования импульса вторичных частиц на внутренних мишенях синхроциклотрона, включающий воздействие на ускоренный пучок на локальном участке орбиты перпендикулярным медианной плоскости ускорителя импульсным электрическим полем, отклонение этого пучка на расположенные в стороне от медианной плоскости мишени, и генерацию импульса вторичных частиц на этих мишенях, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона регулировки длительности импульса вторичных частиц, импульс электрического поля заполняют переменной составляющей с частотой колебаний, лежащей в диапазоне частот вертикальных бетатронных колебаний ускоряемых частиц.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что частоту...

Номер патента: 1369659

Опубликовано: 20.09.2000

Авторы: Колесников, Колесникова, Сухов, Тищенко

МПК: H05H 1/00

Метки: заряда, мелкодисперсных, частиц

Способ определения заряда мелкодисперсных частиц в плазме, включающий введение в равновесную плазму мелкодисперсных частиц с заданной концентрацией Nn, размещение измерите6льного электрода вне исследуемой плазмы, измерение наведенного электрического заряда на измерительном электроде и определение заряда мелкодисперсных частиц по зависимости величины наведенного заряда от параметров плазмы, отличающийся тем, что, с целью упрощения методики и повышения точности определения величины заряда мелкодисперсных частиц, до ввода мелкодисперсных частиц в плазму измеряют спектр собственного электромагнитного излучения плазмы, определяют по нему электронную плазменную частоту fp1 и...

Номер патента: 1053727

Опубликовано: 20.09.2000

Авторы: Колесников, Соловьев, Тищенко

МПК: H05H 1/00

Метки: однородной, параметров, плазмы, слабоионизованной

Способ определения параметров слабоионизированной однородной плазмы путем регистрации спектра собственного электромагнитного излучения плазмы и определения по полученному спектру параметров плазмы, отличающийся тем, что, с целью расширения пределов измерения и повышения точности определения параметров плазмы, в плазме образуют мелкомасштабные неоднородности путем ввода мелкодисперсных частиц, причем частицы вводят с температурой плавления, превышающей температуру ионов плазмы, и дозами, обеспечивающими концентрацию частиц, при которой мощность излучения частиц не превышает мощности собственного излучения плазмы.

Номер патента: 673118

Опубликовано: 27.09.2000

Авторы: Коршаковский, Красненьков, Кубарев, Соловьев, Ткачев

МПК: H05H 1/00

Метки: диагностики, плазменной, струи

Способ диагностики плазменной струи, включающий изменение параметров струи и измерение помещенным в плазму магнитным зондом электромагнитных сигналов, возникающих в плазме при изменении параметров струи, отличающийся тем, что, с целью ускорения диагностики и повышения надежности измерений, изменение параметров струи осуществляется наложением в области перед магнитным зондом поперечного магнитного поля.

Номер патента: 755171

Опубликовано: 27.09.2000

Авторы: Коршаковский, Красненьков, Кубарев, Соловьев, Ткачев

МПК: H01J 47/00, H05H 7/00

Метки: заряженных, потока, реакции, частиц

Устройство для измерения реакции потока заряженных частиц, содержащее чувствительный элемент, располагаемый на пути пучка, и закрепленный с возможностью перемещения, и систему для измерения перемещения чувствительного элемента, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, чувствительный элемент выполнен в виде соленоида, обмотка которого подключена к регулируемому источнику питания, а внутренний диаметр превышает диаметр пучка.

Номер патента: 1324566

Опубликовано: 10.06.2001

Авторы: Браславский, Частоколенко

МПК: H05H 11/00

Метки: бетатрона, генератор, импульсов, сброса, ускоренных, электронов

Генератор импульсов тока сброса ускоренных электронов для бетатрона, содержащий обмотку сброса ускоренных электронов, к одному из выводов которой подключен катод первого тиристора, анод которого подключен к первому выводу конденсатора, второй тиристор, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и экономичности, обмотка сброса ускоренных электронов выполнена со средней точкой, к которой подключен второй вывод конденсатора, к первому выводу которого подключен катод второго тиристора, анод которого подключен к другому выводу обмотки сброса ускоренных электронов.

Номер патента: 1289383

Опубликовано: 10.06.2001

Авторы: Браславский, Сафронов, Частоколенко

МПК: H05H 11/00

Метки: бетатрон

Бетатрон, содержащий электромагнит, обмотку сброса ускоренных электронов, размещенную в рабочем зазоре электромагнита, два конденсатора и два коммутатора, каждый из которых состоит из анода, катода и управляющего электрода, отличающийся тем, что, с целью повышения КПД и надежности ускорителя, обмотка сброса выполнена в виде двух полуобмоток, один из конденсаторов подключен к начальным выводам полуобмоток, другой конденсатор подключен к конечным выводам полуобмоток, а каждый коммутатор анодом подключен к началу одной из полуобмоток, а катодом - к концу другой.

Номер патента: 1360567

Опубликовано: 10.06.2001

Авторы: Браславский, Сафронов

МПК: H05H 13/00

Метки: бетатрон

Бетатрон, содержащий тиристорную мостовую схему с накопительным конденсатором в диагонали переменного тока, обмотку электромагнита в диагонали постоянного тока, первым выводом подключенную к катодам тиристоров, источник синусоидального напряжения, фазоимпульсный блок, выходы которого подключены к управляющим электродам тиристоров, а вход подключен параллельно входу источника синусоидального напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, в него введена диодная мостовая схема, в диагональ переменного тока которой включены выводы источника синусоидального тока, точка соединения анодов диодов подключена к второму выводу обмотки электромагнита, а общая точка катодов диодов...

Номер патента: 1537113

Опубликовано: 27.12.2001

Авторы: Гусев, Кудаев, Саенко, Ястребов

МПК: H05H 1/00

Метки: излучения, ионизирующего, источник, плазменный, широкоапертурный

1. Плазменный широкоапертурный источник ионизирующего излучения, содержащий разрядный контур, образованный цепочками из электродов, установленными на диэлектрической подложке, снабженной обратным токопроводом, и подключенными к емкостному накопителю энергии, а также модулятор импульса поджига разряда, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности излучения и энергетической эффективности источника в широком диапазоне энергий излучения, в него введены дополнительные электроды, образующие с основными электродами разделительные конденсаторы, обкладками которых являются поверхности основных и дополнительных электродов, изолированных друг от друга диэлектриком, при этом дополнительные...

Номер патента: 906337

Опубликовано: 27.01.2002

Авторы: Березин, Елисеев, Кубарев

МПК: H05H 1/00

Метки: внешним, магнитным, оптимизации, плазмы, полем, регулировочных, ускорителя, характеристик

Способ оптимизации регулировочных характеристик ускорителя плазмы с внешним магнитным полем путем определения равенства относительных градиентов напряженности магнитного поля, давления и концентрации электронов плазмы, отличающийся тем, что, с целью упрощения и сокращения времени оптимизации характеристик, на оси ускорителя с включенным магнитным полем и при подаче рабочего тела помещают термозонд с возможностью перемещения, создают между катодом ускорителя и зондом электрическое поле и определяют момент равенства оптимальных градиентов по моменту возникновения плазменного шнура между катодом и зондом.

Номер патента: 1825280

Опубликовано: 27.04.2002

Автор: Камышный

МПК: H05H 1/52

Метки: электровзрывной, элемент

Применение полупроводниковых материалов для изготовления электровзрывных элементов.

Номер патента: 701488

Опубликовано: 20.05.2003

Авторы: Аверьянов, Молдавер, Харламов, Чумаков

МПК: H05B 7/18, H05H 1/24

Метки: плазмотрона, узел, электродный

1. Электродный узел плазмотрона, содержащий корпус с установленной внутри него цангой, один приторцевой участок которой соединен с корпусом по резьбе, а на втором выполнены лепестки, разделенные прорезями, служащими каналами для прохождения рабочего тела, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса плазмотрона путем повышения стойкости и токовой нагрузки электрода, узел снабжен установленной внутри корпуса в зоне расположения лепестков цанги цилиндрической втулкой, внутренняя поверхность которой выполнена в виде сходящегося в направлении ко второму торцу цанги конуса со сквозными пазами, направленными от поверхности конуса к противоположной торцевой поверхности, причем количество...

Номер патента: 477674

Опубликовано: 20.05.2003

Авторы: Бортничук, Молдавер, Чумаков

МПК: H05B 7/18, H05H 1/00

Метки: длиной, дуги, плазмотрона, работы, режима, самоустанавливающейся

Способ контроля режима работы плазмотрона с самоустанавливающейся длиной дуги, содержащего соосно установленные полый водоохлаждаемый цилиндрический и стержневой электроды, путем контроля положения эродирующего рабочего торца стержневого электрода, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса эксплуатации, положение рабочего торца контролируют по величине тепловых потерь в полом электроде.

Номер патента: 1685242

Опубликовано: 20.05.2003

Автор: Гренадеров

МПК: H05H 11/00

Метки: безжелезный, бетатрон

1. Безжелезный бетатрон, содержащий тороидальную ускорительную камеру эллиптического сечения, большая ось которого расположена в ее медианной плоскости, и электромагнит в виде двух одинаковых соосных спиральных катушек, расположенных симметрично относительно медианной плоскости, отличающийся тем, что, с целью увеличения тока ускоренных частиц, их энергии и частоты циклов ускорения, каждая катушка выполнена в виде ленточной многозаходной спирали с полостью со стороны медианной плоскости для размещения ускорительной камеры, профиль поперечного осевого сечения которой, а также локальный шаг намотки выбраны из условия0<n<1 для rmin<r<

Номер патента: 1685241

Опубликовано: 20.09.2003

Автор: Мизинцев

МПК: H05H 7/04

Метки: источник, питания, постоянного, электромагнита

Источник питания электромагнита постоянного тока, содержащий управляемый преобразователь с цепью отрицательной обратной связи из включенных последовательно датчика выходного постоянного тока, первого элемента сравнения, усилителя постоянного тока, сумматора, второй вход которого подключен к выходу интегратора, входом соединенного через первый сигнальный вход управляемого переключателя с выходом первого элемента сравнения, ко второму входу которого подключен задатчик тока, суммирующий усилитель, выход которого соединен через второй сигнальный вход управляемого переключателя с входом интегратора, первый вход подключен к выходу датчика тока, а второй вход - к выходу интегратора, второй элемент...

Номер патента: 1760946

Опубликовано: 10.04.2004

Авторы: Гомжин, Лебедев, Черноусов

МПК: H01L 21/302, H05H 1/00

Метки: плазмохимического, пластин, полупроводниковых, травления

Способ плазмохимического травления полупроводниковых пластин, включающий напуск и откачку рабочего газа до заданной величины давления P в реакционной камере, генерацию индукционного ВЧ-разряда в кварцевой разрядной камере с помощью навитой по форме камеры катушки индуктивности, размещенной над держателем пластин и соединенной с ВЧ-генератором, и создание постоянного магнитного поля в разрядной камере с помощью источника магнитного поля, расположенного снаружи камеры, отличающийся тем, что, с целью повышения селективности и скорости травления при сохранении низкого уровня радиационных повреждений, магнитное поле создают с помощью источника магнитного поля, выполненного в виде соленоида,...

Номер патента: 1222175

Опубликовано: 10.04.2004

Авторы: Гомжин, Лебедев, Юдина

МПК: H01L 21/306, H05H 1/00

Метки: индивидуальной, плазмохимической, пластин

Устройство для плазмохимической индивидуальной обработки пластин, содержащее реакционно-разрядную камеру с плоскопараллельными электродами, один из которых соединен с ВЧ-генератором, а другой с держателем пластины заземлен, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения равномерности обработки, электрод, соединенный с ВЧ-генератором, выполнен в виде плоской спиральной пружины, внешний конец которой жестко закреплен, а внутренний установлен с возможностью вращения вокруг оси, при этом ширина спиральной пружины выбрана из условиягде a - ширина спиральной пружины;D - диаметр пластины;n...

Номер патента: 1579436

Опубликовано: 10.04.2004

Авторы: Адам, Седой, Устюжин

МПК: H05H 1/00

Метки: оболочки, плазменной, цилиндрической

Устройство для получения цилиндрической плазменной оболочки, состоящее из двух соосных электродов, один из которых выполнен с кольцевым вырезом, на который наложена прозрачная для лазерного излучения пленка, причем со стороны кольцевого выреза на эту пленку нанесен ультрадисперсный металлический порошок, отличающееся тем, что, с целью повышения удельной массы плазменной оболочки, кольцевой вырез со стороны пленки выполнен с треугольным сечением с углом в вершине не более 90o и расстоянием от вершины до рабочей поверхности электрода не менее 2 мм.

Номер патента: 1642901

Опубликовано: 10.04.2004

Авторы: Будянский, Гомжин, Лебедев, Черноусов

МПК: H01L 21/302, H05H 1/30

Метки: плазмохимического, пластин, полупроводниковых, удаления, фоторезиста

Устройство для плазмохимического удаления фоторезиста с полупроводниковых пластин, содержащее ВЧ-генератор, активационную камеру в виде трубы из диэлектрического материала с системой возбуждения газового разряда, в вершине которой расположен патрубок напуска рабочего газа, и реакционную камеру с термостабилизированным подложкодержателем, установленным в основании камеры вне зоны газового разряда, отличающееся тем, что, с целью повышения скорости удаления фоторезиста и качества обработки пластин, активационная камера снабжена по крайней мере одной дополнительной трубой равного диаметра, система возбуждения выполнена в виде двух плоскопараллельных электродов с отверстиями, в которых...