Устройство для выпуска электронного пучка

Номер патента: 1190960

Авторы: Григорьев, Степанов, Федоров

Описание

Устройство для выпуска электронного пучка преимущественно в газовый объем из вакуумной камеры с системой откачки, содержащее фольговое окно, выполненное в виде опорного фланца с прижимной рамкой, между которыми расположена фольга, а по внутреннему периметру прижимной пластинки расположена уплотнительная прокладка, и механизм перемотки фольги, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности, оно снабжено дополнительным уплотнительным элементом, расположенным по наружному периметру прижимной рамки со стороны, обращенной к опорному фланцу, имеющему отверстия и внутренний канал, и вакуумным клапаном, соединяющим газовый объем с камерой, сообщающейся через отверстия опорного фланца с полостью, образованной этим фланцем и прижимной рамкой и соединенной указанным каналом с системой откачки, при этом суммарное сечение отверстий фланца составляет 0,2 - 1,0 сечения внутреннего канала, а механизм перемотки фольги расположен внутри вакуумной камеры.

Заявка

3761269/12, 23.05.1984

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Федоров В. И, Григорьев Ю. В, Степанов А. В

МПК / Метки

МПК: H05H 7/00

Метки: выпуска, пучка, электронного

Опубликовано: 20.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1190960-ustrojjstvo-dlya-vypuska-ehlektronnogo-puchka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для выпуска электронного пучка</a>

Похожие патенты