H05H — Плазменная техника

Номер патента: 1738064

Опубликовано: 20.04.1998

Авторы: Носков, Орликов

МПК: H05H 5/00

Метки: импульсный, ионов, ускоритель

Импульсный ускоритель ионов, содержащий газоразрядную камеру с хранилищем рабочего вещества, систему формирования и ускорения ионов, один из электродов которой выполнен в виде цилиндрической спирали, и генератор питающих импульсов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и долговечности, газоразрядная камера выполнена в виде конической спирали и помещена в конусный ферромагнитный экран, при этом коническая спираль является хранилищем рабочего вещества, своими концами подключена к генератору питающих импульсов, а внешним витком подключена к обращенному к ней витку цилиндрической спирали системы формирования и ускорения ионов.

Номер патента: 1409110

Опубликовано: 20.04.1998

Авторы: Носков, Орликов

МПК: H05H 7/00

Метки: вывода, импульсных, корпускулярных, пучков, частиц

1. Устройство для получения и вывода импульсных пучков корпускулярных частиц, содержащее источник частиц с выходным отверстием и цилиндрическое тело, пролетное отверстие которого соосно выходному отверстию источника частиц, расположенное на валу привода вращения, снабженные средствами откачки, отличающееся тем, что, с целью повышения мощности выведенных частиц, привод вращения цилиндрического тела содержит элемент изменения фазы вращения тела относительного привода, а средства откачки выполнены в виде насосов объемного действия.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что элемент изменения фазы вращения выполнен в виде муфты сцепления, состоящей из звездочки, находящийся в зацеплении с клином, установленным с возможностью перемещения...

Номер патента: 1412586

Опубликовано: 20.04.1998

Автор: Орликов

МПК: H05H 7/00

Метки: вывода, частиц

Устройство для получения и вывода частиц, содержащее источник частиц с выходным отверстием и диффузор, снабженные средствами откачки, отличающееся тем, что, с целью увеличения тока выводимых частиц, в устройство введена буферная камера, в стенке которой выполнено выходное отверстие, соосное с диффузором, расположенное в точке пересечения осей источника частиц и диффузора.

Номер патента: 1590017

Опубликовано: 20.04.1998

Авторы: Носков, Орликов, Толопа, Шангин

МПК: H05H 5/00

Метки: импульсный, ионов, металлов, ускоритель

1. Импульсный ускоритель ионов металлов, содержащий ускоряющую систему, образованную соосно расположенными цилиндрическими катодом и анодом, генератор плазмы, размещенный в полости анода с катодом, поджигающим электродом, токопроводящим стержнем и кольцевой газоразрядной камерой, в стенке которой, обращенной к токопроводящему стержню, выполнено кольцевое отверстие, многозаходную токоведущую систему, каждый из элементов которой выполнен в форме спирали Архимеда и своими концами электрически подключен к обращенным к катоду ускоряющей системы торца анода и токоведущего стержня, магнитную систему, размещенную на удаленном от катода ускоряющей системы торце газоразрядной камеры, и источники питания, подключенные к электродам ускоряющей системы...

Номер патента: 1294284

Опубликовано: 20.04.1998

Авторы: Кузнецова, Орликов

МПК: H05H 7/00

Метки: вывода, потока, частиц

Устройство для вывода потока частиц, содержащее камеру источника частиц, герметично соединенную с буферной камерой, выполненной с соосными отверстиями, каналы которых продолжены встречно направленными патрубками, расположенными внутри буферной камеры, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности, в буферной камере между патрубками установлена по крайней мере одна серповидная трубка, концы которой расположены с срезов патрубков и направлены от источника, а нормали к срезам серповидной трубки, проходящие через их центры симметрии, проходят через центр среза патрубка буферной камеры.

Номер патента: 1544164

Опубликовано: 20.04.1998

Авторы: Носков, Орликов, Толопа, Шангин, Шейко

МПК: H05H 5/00

Метки: импульсный, ионов, металлов, ускоритель

Импульсный ускоритель ионов металлов, содержащий катод и анод ускоряющей системы, генератор плазмы с катодом и кольцевой газоразрядной камерой и щелевыми отверстиями, установленный в полости анода ускоряющей системы, магнитную систему с токоведущими элементами, выполненными в форме спирали Архимеда, внутренние концы которых электрически соединены с концом токопроводящего стержня, источник питания, подключенный к электродам ускоряющей системы, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и стабильности, внешние концы токоведущих элементов магнитной системы подключены к аноду ускоряющей системы, в газоразрядную камеру введен металлический диск, который установлен напротив ее щелевых отверстий и закреплен на свободном конце...

Номер патента: 999948

Опубликовано: 27.04.1998

Авторы: Орликов, Чикин

МПК: H05H 5/00

Метки: вывода, импульсных, пучков, ускоренных, частиц

Устройство для вывода импульсных пучков ускоренных частиц, содержащее импульсный источник ускоренных частиц и установленный на выходе из него ряд последовательно расположенных камер, каждая из которых имеет соосные входное и выходное отверстия для прохода пучка ускоренных частиц, и насосы автономной откачки, отличающееся тем, что, с целью повышения импульсной мощности выводимых пучков в устройство введены две ленты, выполненные из фольги, которые расположены внутри одной из камер перед ее входным и выходным отверстиями и установлены с возможностью синхронного с рабочими циклами импульсного источника перемещения относительно отверстий этой камеры, при этом материал и толщина фольги соответствуют условию прожига ее импульсным пучком...

Номер патента: 1766234

Опубликовано: 27.04.1998

Авторы: Носков, Орликов

МПК: H01J 27/22, H05H 1/24

Метки: генератор, металлосодержащей, плазмы

Генератор металлосодержащей плазмы, содержащий соосно расположенные катод в форме спирали, содержащий рабочий распыляемый металл и служащий источником магнитодвижущей силы, и анод, к которым подключены генератор тока и генератор напряжения, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции при генерации аксиально направленных потоков плазмы за счет совмещения в одной камере импульсного испарения металла и ионизации его паров в индукционном импульсном разряде, катодная спираль выполнена в форме конуса и снабжена внешним коническим экраном из ферромагнитного материала, анод выполнен в виде многослойной электромагнитной катушки с выводами от внутреннего и внешнего слоев, расположенной над большим основанием конической катодной спирали, в...

Номер патента: 762754

Опубликовано: 27.02.1999

Авторы: Каминский, Милованов

МПК: H05H 7/02

Метки: высокочастотной, мощностью, питания, резонансной, секции, ускоряющей

Устройство для питания высокочастотной мощностью резонансной ускоряющей секции, содержащее магнетрон, подключенный к первому плечу циркулятора через фазовращатель и резонансную секцию, подключенную к второму плечу циркулятора, отличающееся тем, что, с целью повышения КПД устройства за счет обеспечения слежения частоты магнетрона за частотой резонансной секции и снижения кратковременной нестабильности частоты, а также упрощения конструкции и устройства, в третье плечо циркулятора введена рассогласованная нагрузка, создающая канал отрицательной обратной связи магнетрона с резонансной ускоряющей секцией.

Номер патента: 953966

Опубликовано: 10.03.1999

Автор: Каминский

МПК: H05H 7/02

Метки: высокочастотного, питания, ускоритель, устройством

Ускоритель с устройством высокочастотного питания, содержащий магнетрон, подключенный к первому плечу циркулятора, резонансную ускорительную секцию, подключенную к второму плечу циркулятора, и поглощающую нагрузку, подключенную к четвертому плечу циркулятора, отличающееся тем, что, с целью повышения КПД ускорителя, он содержит вторую резонансную ускорительную секцию, подключенную к третьему плечу циркулятора через фазовращатель.

Номер патента: 689503

Опубликовано: 20.03.1999

Авторы: Заворотыло, Каминский, Милованов

МПК: H05H 7/02

Метки: высокочастотного, питания, резонансного, ускорителя

Устройство для высокочастотного питания резонансного ускорителя, содержащее магнетрон, подключенный через первый фазовращатель к входному плечу волноводного моста, две резонансные секции, подключенные к выходным мостам через второй и третий фазовращатели и согласованную нагрузку в плече моста, электрически развязанном с входным, отличающееся тем, что, с целью повышения КПД ускорителя за счет сокращения длительности переходного процесса в секциях, в плечо моста, развязанное с входным, введены рассогласователь и четвертый фазовращатель.

Номер патента: 1828734

Опубликовано: 27.03.1999

Авторы: Давыдов, Мешков, Невмержицкий, Попов

МПК: H05H 1/00

Метки: взрывного, генератора, плазменного, плазмы, помощью

Способ получения плазмы с помощью взрывного плазменного генератора, включающий адиабатическое сжатие рабочего газа в камере взрывного плазменного генератора с помощью плоского лайнера до образования плазмы, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности энергии плазмы, в качестве рабочего газа используют газ, способный к химическому взрывчатому превращению при воздействии на него ударной волной.

Номер патента: 1584729

Опубликовано: 27.05.1999

Авторы: Борзенко, Волков, Дрожжин, Милосердов, Симонов

МПК: H05H 1/54

Метки: дрейфом, замкнутым, зоной, колебаний, контурных, подавления, протяженной, ускорения, ускорителе, электронов

Способ подавления контурных колебаний тока в ускорителе с замкнутым дрейфом электронов и протяженной зоной ускорения, включающий зажигание разряда между анодом и катодом-компенсатором и увеличение импеданса разрядной цепи ускорителя, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности подавления контурных колебаний, импеданс увеличивают снижением эмиссии электронов с катода-компенсатора до появления микроразрядов на корпусе ускорителя, после чего увеличивают до исчезновения микроразрядов.

Номер патента: 1600605

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Васюков, Картелев, Чернышев

МПК: G21B 1/00, H05H 1/00

Метки: z-пинчевых, импульсов, линия, нагрузок, передачи, электромагнитных

1. Линия передачи электромагнитных импульсов для Z-пинчевых нагрузок, содержащих герметичный корпус, источник тока, два полых коаксиально расположенных в герметичном корпусе токонесущих электрода с цилиндрическими и плоскими торцовыми участками, между которыми со стороны источника тока установлен герметизирующий изолятор, размыкатель тока и систему откачки, отличающаяся тем, что, с целью повышения плотности передаваемого потока электромагнитной энергии за счет более эффективной очистки межэлектродного зазора от металлической плазмы, токонесущие электроды на торцовом участке выполнены в виде спиц, установленных в одной плоскости, при этом спицы обоих токонесущих электродов расположены...

Номер патента: 1664105

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Базанов, Бланкин, Васюков, Игнатенко, Погорелов, Чернышев

МПК: G21B 1/00, H05H 1/06

Метки: оболочки, плазменной, токовой, формирования

1. Устройство для формирования плазменной токовой оболочки, содержащее коаксиальные электроды с торцовыми опорными поверхностями, внешний из которых образует герметичную рабочую камеру, цилиндрический изолятор, установленный между торцовыми опорными поверхностями внутреннего и внешнего электродов, импульсный источник тока, подключенный к электродам, систему откачки создания рабочей газовой среды в рабочей камере, отличающееся тем, что, с целью увеличения удельного энерговклада в плазменную токовую оболочку, между электродами с внешней стороны цилиндрического изолятора размещен разрушаемый проводник, на внешней поверхности которого расположены токопроводящие кольцевые накладки с различными...

Номер патента: 1378767

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Мараховка, Парм, Ронжин, Соловьев

МПК: H05H 1/00

Метки: диэлектрических, плазмохимического, синтеза, слоев

Устройство для плазмохимического синтеза диэлектрических слоев, содержащее цилиндрическую камеру синтеза диэлектриков с дном, выполненным в виде подложкодержателя с нагревательным элементом, с отверстиями для откачки камеры и напуска газов, и камеру активации с ВЧ-электродом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества диэлектрических слоев на полупроводниковых подложках путем сжатия потока реакционной смеси к центру реактора и снижения радиационного влияния плазмы на образцы, камера активации выполнена в виде тора, охватывающего камеру синтеза газа, в боковых стенках которой выполнены отверстия для напуска газов, а ВЧ-электрод имеет форму кольца и расположен в центре камеры активации...

Номер патента: 1400464

Опубликовано: 20.07.1999

Авторы: Балмашнов, Голованивский, Иванов, Омельяновский

МПК: H05H 1/00

Метки: аморфного, гидрогенизированного, кремния, нанесения, пленок

1. Устройство для нанесения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, содержащее магнитную систему, вакуумную систему, подложкодержатель, источник высокочастотной энергии и резонатор с отрезками запредельных волноводов, отличающееся тем, что, с целью увеличения скорости осаждения пленок при уменьшении энергозатрат на поддержание магнитного поля и повышения коэффициента использования исходного материала путем создания в резонаторе плазмы с плотностью выше критической и поддержания ее в условиях верхнегибридного резонатора, устройство дополнительно содержит диэлектрическую вакуумную трубу, охватываемую резонатором, расположенную соосно с последним, и коаксиальные относительно вакуумной...

Номер патента: 1575920

Опубликовано: 20.07.1999

Авторы: Киселев, Лишин, Сорокина

МПК: H05H 1/00

Метки: магнитоактивной, параметров, плазмы

Способ измерения параметров магнитоактивной плазмы, включающий воздействие на плазму электромагнитной волны частота f, измерение напряженности электрического поля в плазме и определение плазменной частоты электронов fo, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измерений за счет обеспечения измерения гирочастоты электронов fн в плазменных цилиндрических объемах, поперечные размеры которых много меньше длины волны воздействующей электромагнитной волны, электромагнитную волну направляют таким образом, чтобы вектор ее электрического поля был перпендикулярен оси плазменного цилиндра, измеряют...

Номер патента: 1829878

Опубликовано: 20.07.1999

Автор: Балмашнов

МПК: H05H 1/46

Метки: источник, плазмы

Источник плазмы, содержащий цилиндрический резонатор, СВЧ-генератор, диэлектрическую разрядную трубу, размещенную соосно резонатору и соединенную с системой откачки и системой напуска рабочего газа, и магнитную систему в виде соленоидов, соосных с диэлектрической трубой и подключенных к источнику постоянного напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности ионизации рабочего газа, источник содержит дополнительную магнитную систему, состоящую по меньшей мере из четырех электромагнитов, установленных симметрично относительно продольной оси симметрии разрядной трубы, причем каждый электромагнит подключен к источнику переменного напряжения таким образом, чтобы разность фаз...

Номер патента: 913911

Опубликовано: 20.07.1999

Авторы: Коник, Куценко, Печкин, Решетько, Субботин, Шишханов

МПК: C23C 14/00, H05H 1/00

Метки: напыления, плазменный, реактор

Плазменный реактор для напыления, содержащий камеру, по крайней мере два плазмотрона, установленные в стенке камеры, систему подачи напыляемого материала, отличающийся тем, что, с целью повышения качества напыления и экономичности процесса, камера выполнена сферической формы, а точка пересечения осей плазмотронов совпадает с центром камеры.

Номер патента: 1651760

Опубликовано: 20.07.1999

Авторы: Балмашнов, Голубев

МПК: H05H 1/00

Метки: генерации, плазмы

Способ генерации плазмы, включающий подачу газа в рабочую камеру, создание в рабочей камере магнитного поля с пробочной конфигурацией силовых линий, подачу СВЧ-энергии в резонатор, в полости которого находится рабочая камера, и зажигание разряда при частоте 1 СВЧ-поля, выбранной из условия электронно-циклотронного резонанса в плазме разряда, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности ионизации рабочего газа, на плазму разряда дополнительно воздействуют СВЧ-полем, частоту 2 которого выбирают из условия

Номер патента: 1400470

Опубликовано: 20.08.1999

Авторы: Агафонова, Вяткин, Горбатов, Зиненко, Лисин

МПК: H05H 7/00

Метки: источник, нейтральных, ускоренных, частиц

Источник ускоренных нейтральных частиц, содержащий разрядную камеру с системой извлечения ионов, включающей выходной электрод с отверстиями, камеру нейтрализации, герметично соединенную с выходным торцом разрядной камеры, и устройство для сепарации заряженных и нейтральных частиц, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени однородности распределения плотности тока нейтральных частиц в поперечном сечении пучка с одновременным увеличением плотности тока при работе с инертными газами в диапазоне низких энергий, устройство для сепарации выполнено в виде двух плоских электродов с отверстиями, соосно расположенными отверстиям в электродах системы извлечения, а расстояние между выходными...

Номер патента: 1204130

Опубликовано: 10.10.1999

Авторы: Данельянц, Джамгаров, Кулешов, Мамолов, Муркин, Новиков, Позняк

МПК: B08B 9/04, B23K 7/06, H05H 1/32 ...

Метки: плазмотрон

Плазмотрон, содержащий корпус с электродами, каналами для подвода плазмообразующего газа и соплом для образования кольцевого потока раскаленного газа, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы при огневой обработке полых изделий, в стенках корпуса выполнены сквозные тангенциальные отверстия, сообщенные с каналами для подвода плазмообразующего газа.

Номер патента: 882393

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Кичигин, Копылов, Тихомиров, Тоболкин

МПК: H05B 7/18, H05H 1/34

Метки: высокочастотный, плазмотрон, факельный

Высокочастотный факельный плазмотрон, содержащий цилиндрический экранирующий кожух с коаксиально расположенным в нем электродом, реактор, пристыкованный к кожуху со стороны рабочего торца электрода, расположенный в кожухе на нерабочем торце электрода завихритель с патрубком ввода газового потока и узел поджига разряда, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей плазмотрона, электрод выполнен из двух коаксиальных труб длиной не менее одного калибра, соединенных между собой со стороны рабочего торца диффузором с углом 30-60o, а с другой стороны - упомянутым завихрителем, внутренний диаметр которого равен внутреннему диаметру внутренней трубы электрода,...

Номер патента: 878173

Опубликовано: 10.02.2000

Авторы: Крохин, Тихомиров, Шумский

МПК: H05B 7/18, H05H 1/24

Метки: вч-факельный, плазмотрон

ВЧ-факельный плазмотрон, содержащий корпус, внутри которого коаксиально с зазором установлена разрядная камера с центральным стержневым электродом, выполненная из кольцевых чередующихся металлических и диэлектрических секций, отличающийся тем, что, с целью повышения КПД плазмотрона при расширении диапазона регулирования параметров разряда, он снабжен установленными в упомянутом зазоре конденсаторами переменной емкости в количестве, равном количеству металлических секций разрядной камеры, каждый из которых подключен между соответствующей металлической секцией разрядной камеры и корпусом.

Номер патента: 1322962

Опубликовано: 27.03.2000

Авторы: Андреев, Голованивский

МПК: H05H 1/00

Метки: нагрева, плазмы, релятивистских, температур

Способ нагрева плазмы до релятивистских температур, включающий создание и удержание первоначально холодной плазмы в статических магнитных полях открытых ловушек, последующий нагрев плазмы под воздействием электромагнитного СВЧ-поля в режиме электронного циклотронного резонанса, отличающийся тем, что, с целью увеличения КПД нагрева плазмы, нагрев плазмы осуществляют при одновременном воздействии электромагнитного СВЧ-поля и меняющегося во времени импульсного магнитного поля, дополнительно наложенного на статическое магнитное поле открытой ловушки, причем скорость нарастания дополнительного магнитного поля и амплитуда напряженности СВЧ-поля связаны соотношением

Номер патента: 1292556

Опубликовано: 27.03.2000

Авторы: Голованивский, Дугар-Жабон, Сафонов

МПК: H05H 13/00

Метки: ионов, источник, многозарядных

Источник многозарядных ионов, содержащий диэлектрическую вакуумную камеру с системой подачи газа, установленную внутри высокочастотного резонатора с системой ВЧ-питания, узлы ввода мощности которого расположены радиально в одной плоскости с осью системы извлечения ионов, образованной высоковольтным электродом, расположенным по одну сторону от оси устройства и подключенным к системе питания, и извлекающими электродами, расположенными по отношению к высоковольтному электроду радиально по другую сторону от оси устройства, проходящей перпендикулярно указанной плоскости, а также магнитную систему, полюса которой расположены симметрично относительно данной плоскости, отличающийся тем, что, с...

Номер патента: 1544161

Опубликовано: 27.03.2000

Авторы: Голованивский, Дугар-Жабон

МПК: H05H 1/00

Метки: атомарных, водорода, генерации, ионов, отрицательных

1. Способ генерации атомарных отрицательных ионов водорода, включающий получение плазмы путем зажигания газового разряда в металлической камере и последующее вытягивание отрицательных ионов двухэлектродной системы экстракции, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности и стабильности генерации отрицательных ионов водорода, плазму получают путем зажигания безэлектродного микроволнового разряда в условиях электронно-циклотронного резонанса, давление выпускаемого газа выбирают в пределах 1 10-3 - 1 10-5 тор, температуру электронов...

Номер патента: 1367828

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Акимов, Сыровой, Цхай

МПК: H01J 29/48, H05H 7/00

Метки: инжектор, потока, электронного

1. Инжектор электронного потока, содержащий ионный источник и соосно расположенные термокатод, прикатодный фокусирующий электрод, анод, отличающийся тем, что, с целью увеличения удельной мощности формируемого инжектором пучка, в инжектор введен дополнительный полый прикатодный электрод, выполненный в виде щелевого экстрактора ионного источника и установленный осесимметрично по отношению к катоду, при этом расстояние от плоскости щели дополнительного прикатодного электрода до плоскости катода выбрано из соотношения dкщ/dка = 0,1 - 0,5, где dкщ - расстояние от плоскости катода до плоскости щели дополнительного прикатодного электрода; dка -...

Номер патента: 1487788

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Ивкин, Малафаев, Новичков

МПК: H05H 5/00

Метки: инжектор, электронный

1. Электронный инжектор, содержащий вакуумную камеру, внутри которой на проходном изоляторе установлен многопучковый катодный узел, расположенные соосно катодному узлу анод, трубу дрейфа с выходной диафрагмой, средства для ее подсоединения к системе напуска газа, расположенную соосно с катодным узлом магнитную катушку с ферромагнитным экраном и подключенный через проходной изолятор к катодному узлу источник питания с резистовым делителем, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем увеличения плотности мощности и снижения расходимости пучка, в него введены дополнительный проходной изолятор и установленный на нем промежуточный анод, выполненный в виде двух...