G01B 11/06 — для измерения толщины

Номер патента: 1024704

Опубликовано: 23.06.1983

Авторы: Гутаускас, Чуприн

МПК: G01B 11/06

Метки: изделии, пленочного, покрытия, прозрачного, толщины

...покрытия. Цель изобретения - повышение точности измерения.Указанная цель достигается тем, .что в устройстве для измерения толщины прозрачного пленочного покрытия на изделии, содержащем двойной мик" роскоп, фотодатчик со шторками, зеркало, установленное между фотодатчи" ком и двойным микроскопом с воэможностью вевода его иэ поля зрения микроскопа, осветительный блок, оп" тически связанный через зеркало с двойными микроскопом, и измерительный микроскоп, приемная поверхность фотодатчика выполнена в виде прозрачной пластины с нанесенным на ее поверхность фоточувствительным слоем в виде нити. На чертеже представлена оптическаясхема устройства,5Устройство для измерения толщиныпрозрачного пленочного покрытия наизделии содержит двойной...

Номер патента: 1026004

Опубликовано: 30.06.1983

Авторы: Гайнутдинов, Исхаков, Фазылзянов

МПК: G01B 11/06

Метки: наносимых, пленок, подложку, толщины, тонких

...устройство обеспе.чивает повышенную точность 21 .Однако известное устройство непозволяет вести контроль толщины покоэффициенту отражения подложек,таккак при вращении карусели происходитизменение положения рабочих подложек.относительно источника излучения ифотоприемника как по высоте, так ипо углу наклона. Вследствие длинногооятического пути контрольного лучаот источника излучения до фотоприемника (порядка 1,5-2 м) даже незначительные смещения подложек вызываютполную разъюстировку системы контролятолщины. По этой причине невозможновести контроль толщины тонких пленокнепосредственно по рабочим подложкамв отраженном свете. Недостатком уст-,ройства являются также жесткие требования к самим рабочим подложкам, которые должны представлять собой...

Номер патента: 1029002

Опубликовано: 15.07.1983

Авторы: Лапушкина, Сидорук, Федотов

МПК: G01B 11/06

Метки: слоя, толщины

...цель достигается тем, что согласно способу измерения тол 25 30 35 40 45 50 55 2щины слоя, заключающемуся в том, что на слой, нормально к его поверхности, направляют световой поток, из". меряют одновременно интенсивность регулярной составляющей светового потока и интенсивность диффузно рас" сеянной составляющей прошедшего светового потока, определяют отношение интенсивностей регулярной и диффузно оассеянной составляющих, строят градуировочные. зависимости отношения интенсивностей от толщины слоя и по ним определяют толщину слоя, на слой направляют световой поток с круНа чертеже изображена принципиальная схема устройства, с помощью которого осуществляется предлагаемый способ измерения толщины слоя,Устройство содержит последова-ельно...

Номер патента: 1035416

Опубликовано: 15.08.1983

Авторы: Госьков, Михайлова, Старостенко

МПК: G01B 11/06

Метки: пленки, прозрачной, толщины

...работ и т,д,Известен способ измерения толщины прозрачной пленки, заключающийся в том, что монохроматическим поляризованным светом облуча"ют фазовую дифракционную решетку,изготовленную в качестве обраэцасвидетеля вместе с контролируемымизделием, затем свет пропускают через амплитудный растр с изменяемымпараметром и пространственной ча"стотой, равной частоте дифракционной решетки, и через положительнуюлинзу, передний Фокус которой совпадает с плоскостью решетки, измеряют в задней Фокальной плоскости последовательные гашения дифракционных максимумов, по которым определяют толщину пленки1 1,Недостатки известного способанизкая точность и сложность реали.,зации, (роме того, его нельзя использовать для измерения толщиныдвижущейся...

Номер патента: 1037065

Опубликовано: 23.08.1983

Авторы: Пунько, Тиханович

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, толщины, тонких

...нарушенного полного внутреннегоотражения излучающего блока и на фиксированном расстоянии от нее и, второй поляриэующей решеткой, установ 25 ленной в приемном блоке между призмой полного внутреннего отраженияи анализатором.На чертеже изображена блок-схема устройства для контроля толщинытонких пленок.Устройство содержит излучающийблок, состоящий из последовательнорасположенных источника 1 линейнополяризованного излучения, поляризующей решетки 2, призмы 3 ПВО (пол 35ного внутреннего отражения) и призмы Й НПВО, и приемный блок, состоящий из последовательно расположенных призмы 5 НПВО, призмы 6 ПВО,4 втоРой поляризующей решетки 7, анализатора 8 и приемника 9 излучения,Предлагаемое устройство работаетследующим образом.45Линейно...

Номер патента: 1052857

Опубликовано: 07.11.1983

Авторы: Агаларова, Котов, Шевелева

МПК: G01B 11/06

Метки: воды, дистанционного, нефтяной, пленки, поверхности, толщины

...света поверхность нефтяной пленки в той же точке измерения до ее исчезновения, при этом регистрируют число и четность числа экстремумов, а толщину пленки определяют по формуле)о ф ( ц-Я) Чф дн мингде ),:Л/И ) "мскс минпри М - четном, - Чн минъ 8опри М - нечетном.Л - длина волны монохроматического луча, мкм;п - показатель преломления нефти;й - число экстремумов;Ъ - измеряемая толщина пленки,мкм;Чн,Ч; отраженные сигналы, соответЧмствующие начальной толщиненефтяной пленки, минимуму имаксимуму интенсивности отраженного луча.На фиг.1 изображена принципиальная схема устройства, реализующего предлагаемый способ дистанционного контроля толщины нефтяной пленки на поверхности воды; на фиг.2 - типичные временные записи отраженных сигналов за период...

Номер патента: 1055960

Опубликовано: 23.11.1983

Авторы: Новиков, Сорокоумов

МПК: G01B 11/06

Метки: зеркально, нанесения, отражающих, покрытий, процессе, толщины

...Котодетектора от втолщины покрытия при наличии шумовой помехи приводит к возникновению существенной погрешности в определениитолщины покрытия,Целью изобретения является повышение точности измерения толщины зеркально отражающих покрытий в процессе их нанесения.Поставленная цель достигается тем,что в устройстве для измерения толщины зеркально отражающих покрытий впроцессе их нанесения, содержащемодномодовый газовый лазер, включающий переднее и заднее зеркала, Котодетектор с электронным блоком обработки и свидетель, предназначенныйдля нанесения на него покрытия иустановленяый под углом к оптическойоси лазера перед его передним зеркалом, равнымд, = агсз 1 пЧ 11.-Н 1где О - размер поперечного сеченияактивной среды лазера;1. - расстояние от...

Номер патента: 1059419

Опубликовано: 07.12.1983

Авторы: Прянишников, Шевелева, Якименко

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактный, водоемов, нефтяной, пленки, поверхности, толщины

...предельного угла па. дения второго луча, при котором интенсивность отраженного луча составляет 0,1 - 0,01,от его максимальной интенсивности, находят ряд,значений толщины пленки как функции значений предельного угла падения второго луж в моменты экстремумов отражения первого луча и определяют по этому ряду значенЮ среднее значение толщины пленки.На фиг. 1 изображена функциональная схема устройства, с помощью которого реализуется предлагаемый бесконтактный способ измерения толщины нефтяной пленки на поверхности водоемов; на фиг. 2 - зависимости интенсивности отраженного первого луча от толщины нефтяной пленки и область возможных эначе. ний предельного угла падения второго луча в зависимости от толщины пленки при доверя. тельной...

Номер патента: 1073568

Опубликовано: 15.02.1984

Автор: Смирнов

МПК: G01B 11/06

Метки: пленки, показателя, преломления, толщины

...8, фотоэлементы 9 и 10. На чертеже показаны также состояния поляризации световых пучков В, Еп, Ер - электрические векторы световой волны б. - нормаль к пленке 11, п - нормаль к прозрачной плоскопараллельной диэлектрической пластине 8,- угол падения света на пленку 11, - угол падения света иа прозрачную плоскопараллельную диэлектрическую пластину 3, равный углу Брюстера для этой пластипи при длине световой волны источника 1 параллельного, монохроматического и линейно поляризованного света, .- "угол между электрическим вектором Е падающей на пленку 11 световой волны и плоскостью падения, А-А - ось вращения предметного столика б и планки 7, О - точка пересечения оси светового пучка с осью вращения предметного столика 6 и планки...

Номер патента: 1099098

Опубликовано: 23.06.1984

Авторы: Готра, Лозинский, Хромяк

МПК: G01B 11/06

Метки: диэлектрической, напыления, пленки, процессе, свидетель, толщины

...в том, что направляют световойпоток на пленку, регистрируют величину интенсивности светового потока,прошедщего через пленку и свидетель,по которой судят о толщине пленки,определяют уровень интенсивности, непропорциональный толщине пленки, и пе 55ремещают скачкообразно свидетель придостижении этого уровня в плоскостиперпендикулярной направлению напыления,На чертеже изображена принципиальная схема устройства, иллюстрирующая способ контроля толщины диэлектрической пленки в процессе напыления ее на свидетель.Устройство содержит источник 1 света, маску 2 фотоприемник 3 и измерительный прибор 4. Индексом 5 обозначен прозрачный свидетель, на который наносят пленку 6.Способ осуществляется следующим образом,Падающий световой поток от источника...

Номер патента: 1126811

Опубликовано: 30.11.1984

Авторы: Бузников, Котов, Шевелева

МПК: G01B 11/06

Метки: воде, дистанционного, нефтяной, пленки, толщины

...задачпонвлечен:ит нарр.шителсй к ответ - ; ":Венности,Цель изобретения - павьшение точности;1 пр(;извадительности измере - ния толщинь, нефтяной пленки на вэволс ванна паве рхна сти Воды,Псставлснная цель достигается темр что согласно способу дистанционного измерения толщины нефтяной пленхи на роде,. заключающемуся в том, ч"о облучают кефтяную пленку световым -Учам р измеРЯют интениВнасть ОтРВ женксгс луча, регистрируют экстремумы интенсивности отраженного луча . а не.риод редукции т Олпины и.1 е нки, определяют толщину нефтяной пленки как функцию числ(. экстремумов за лев риод редукции толщины пленки, сканиуют световой лу Вдоль напрсвления движения ве: ровай волкь;, принимают эа пегиод редукции наветрекную часть Ветровой волны от...

Номер патента: 1128114

Опубликовано: 07.12.1984

Авторы: Виданов, Горелик, Мингазов, Сущинский, Хашимов

МПК: G01B 11/06

Метки: пленки, толщины

...интенсивность диффуэно рассеянной"и регулярной составляющих и судят о контролируемой толщине по соотношениюизмеренных составляющих 3 .Недостаток известного способа 50заключается в недостаточном диапа зонеконтролируемых толщин и в невоэможности измерения толщин пленок,нанесенных на непрозрачные подложкиили на подложки с большим диффузным 55рассеянием,Цепь изобретения - расширениедиапазона измеряемых толщин пленок и обеспечение возможности их контроляпри нанесении на подложки любоготипа.Цель достигается тем, что согласно способу определения толщины пленки,заключающемуся в том, что направляютпучок монохроматического излученияна эталонные пленки, измеряют интенсивность рассеянного излучения, строят градуировочный график, связывающий...

Номер патента: 1145244

Опубликовано: 15.03.1985

Автор: Ершов

МПК: G01B 11/06

Метки: линейных, размеров

...Устройство содержит источник 1 из лучения, конденсор 2, диафрагмирующий узел, выполненный в виде соосно установленных неподвижного диск 3 с квадрантным вырезом (т.е. в виде сектора, отсекаемого радиусами, образующими угол 90 ) и обтюраторао4 с эксцентрично расположенным отверстием, базирующее приспособленйе, выполненное в виде транспортирующих роликов 5, расположенных по осина уровне горизонтального выреза квадранта, и прижимных валков 6, фокусирующую линзу 7, фотоприемник 8 иблок 9 обработки.Предлагаемое устройство работаетследующим образом.Источник 1 излучения с конденсором 2 формируют параллельный световой поток, 3/4 которого поглощается диском 3. За счет равномерноговращения обтюратора 4 "зрачок" фото приемника 8 через отверстие...

Номер патента: 1157350

Опубликовано: 23.05.1985

Авторы: Лупашко, Овчаренко, Шкляревский

МПК: G01B 11/06

Метки: многослойных, нанесением, покрытий, слоев, ультрафиолетовых

...невысока 25из-за неодинаковости условий осаждения слоев на чистую поверхность подложки свидетеля и поверх слоя, уженанесенного на рабочую подложку.Целью изобретения является упроще иие процесса контроля и повышениеего точности.Укаэанная цель достигается тем,что согласно способу контроля зананесением слоев многослойных ультра-Зфиолетовых покрытий, заключающемусяв том, что пропускают через наносимыйслой монохроматическое излучение видимой области спектра, регистрируютпоток прошедшего излучения и прекра- щощают нанесение слоя по достижениипотоком заданной величины, излучениепропускают через слой, наносимый нарабочую подложку, а длину волны 1излучения, пропускаемого через наносимый слой, выбирают из соотношения 1 де М - Рабочая длина...

Номер патента: 1165879

Опубликовано: 07.07.1985

Авторы: Сергеева, Черноусова

МПК: G01B 11/06, G01B 9/02

Метки: двухлучевое, интерференционное, пленок, прозрачных, толщины

...призмы и призмы Дове, а держатель измеряемой пленки установлен с возможностью поворота в плоскости, перпендикулярной основанию оборачивающей призмы.На чертеже изображена принципиальная схема двухлучевого интерференционного устройства для измерения толщины прозрачных пленок.Устройство содержит осветительную систему 1, интерференционный блок, выполненный в виде последовательно расположенных по ходу излучения плоскопараллельной пластины 2, установленной под углом 45 к оси излучения, обеспечиваюшей призмы 3 и призмы 4 Дове, узкополосный интерференционный фильтр 5, поляризатор 6, уголковую призму 7, зрительную трубу 8, держатель 9 измеряемой пленки, установленный с возможностью поворота в плоскости, перпендикулярной основанию...

Номер патента: 1188526

Опубликовано: 30.10.1985

Авторы: Висьтак, Готра, Петрович, Хромяк

МПК: G01B 11/06

Метки: вакууме, напыляемых, пленок, толщины

...ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для определения толщины слоявещества, получаемого методом вакуумного напыления. 5Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых толщин.,На чертеже изображено устройство,реализующее предлагаемый способ,Устройство содержит рабочую подложку 1, свидетель 2, испаритель 3,лазер 4 и фотоприемный блок 5. Свидетель 2 установлен .под углом кнаправлению движения частиц напыляемого вещества. Лазер 4 и фотоприемный блок 5 расположены по разные стороны свидетеля 2, жестко соединенымежду собой и установлены с...

Номер патента: 1193459

Опубликовано: 23.11.1985

Авторы: Кулешов, Софронова, Юрин

МПК: G01B 11/06

Метки: диэлектрической, параметров, пленки

...падения, с периодически изменяющейся во времени длиной волны, последовательно изменяя угол падения, регистрируют поток отраженного излучения, определяют угол Брюстера М, фиксируя его по достижению минимальной амплименений потока отраженного ия, вызванных изменениями ставитель М, Семчуковхред Ж. Кастелевич Корре Е. Сирохман Редактор М. Бла 650 Поарственного комитетазобретений и открытиива, Ж, Раушская н сноеСР Филиал ППП "Патент", г. Ужг ектная У аз 7304/41 Тираж ВНИИПИ Гос по делам 113035, Модлины волны излучения, и углыпадения, соответствующие двум 1+1соседним интерференционным минимумам коэффициента отражения для средней длины волны 3 излучения и вычисляют показатель Ь преломления пленки по формуле п=й Ч а толщину Й пленки - по...

Номер патента: 1206610

Опубликовано: 23.01.1986

Автор: Ленинг

МПК: G01B 11/06

Метки: валках, каландра, количества, резины

...максимальному и минимальному уровню резины. 1 ил.Составитель В.БахтинРедактор И.НиколайчукТехред О.ВащишинаКорректор М.Максимишинец Заказ 8696/41 Тираж 671 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб ., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул.Проектная, 4 1 1Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля количества резины на валках каландра.Целью изобретения является повышение достоверности контроля.На чертеже изображено устройство, поясняющее суть способа. Способ осуществляется следующим образом.Излучение от протяженного источниканаправляют на один валок 2 каландра. Последовательно-зеркально отразившееся от валков 2 и 3 излучение попадает...

Номер патента: 1218292

Опубликовано: 15.03.1986

Авторы: Валюс, Денискин, Кеткович, Клюшин, Кравченко, Курганов, Латухин, Рябов, Ситников

МПК: G01B 11/06

Метки: покрытий, толщины

...работает следующим образом.Свет от источника 1 разделяется светоделителем 6 на два пучка, один из которых зеркалом 9 направляется3 12 на модулятор 7 оптической системы 2, другой - на модулятор 8 системы 3,Модулятор 8 также создает два ,пучка излучения, промодулированных в противофазе относительного друг друга, Первый пучок с помощью зеркал 12 и 16 через отверстие 23 направляется на трубу 5 с покрытием 4.Часть света зеркально отражается от внешней поверхности покрытия 4, другая проходит его, отражается с рассеянием шероховатой поверхностью трубы 5, а затем вновь проходит слой покрытия и выходит наружу.Световой пучок, отраженный покрытием 4, перекрывается экраном 17. Рассеянный свет минует экран 17 и попадает на сферическое зеркало 19,...

Номер патента: 1226042

Опубликовано: 23.04.1986

Авторы: Волкова, Лонский, Михалычева

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, подложках, толщины

...ей (У) должны бытьбольше диаметра пучка излучения, чтобы удовлетворять условию ХР/сову и УР, где Э - диа 30 метр используемого при измерениях пучка излучения;- угол падения излучения на плоскость тестовой ячейки, что означает, что пучок излучения не должен выходить за пределы измеряемого в данный момент участка тестовой ячейки. Структура элементов участка А должна быть такой, чтобы хотя бы один размер элементов этого участка не был больше десятков мик рон, от.е.удовлетворял условию а сс9ссЬ - сову, где 6 - угол (в радианах) расходимости используемого пучка излучения; Ь - расстояние от исследуемого участка до точки регистрации отраженного излучения в используемом приборе (эллипсометре) . Это условие способствует уверенному нахождению...

Номер патента: 1233208

Опубликовано: 23.05.1986

Авторы: Березовчук, Кабыш, Кокун, Кузнецов, Остапчук, Погорелов, Скворцов, Тарасевич

МПК: G01B 11/06

Метки: многослойной, пленки, полимерной, толщины

...апертурупучка излучения. Сформированный пространст.венно пучок излучения направляют на спектральнык светоделитель4 делящий излучение на два пучка.,Один яз каторьГх проходит светоделитель 4., а. другой отражается от него.Прошедшее светоделитель 4 излучениепопадает Йа ачтчческии цьиль Гр 5, выделяющий излучение с длиной волнылежащей в области поглощенияконтролируемого слоя полимера. а отраженный пучок направляют на опти -ческий Фильтр 6. выделяющий излучение с длиной волны ьь , лежащей вобласти. независимой ат собственнога поглощения пленки 2. Спектральновыделенное излучение, прошедшее через оптический фильтр 5, перехватывается Фотоприемником 7, а излучениена другой длине волны прошедшее Фильтр б, перехватывается фотоприемником...

Номер патента: 1272103

Опубликовано: 23.11.1986

Авторы: Госьков, Старостенко

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, толщины

...для установки контролируемого объекта.На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.Устройство для измерения толщины пленок содержит источник 1 монохроматического света, две плоскости 2 и 3, расположенные одна относительно другой так, что они образуют щель в направлении, перпендикулярном направлению распространения света, и сдвинутые друг относительно друга в направлении распространения света от источника, линзу 4, фотоприемник 5 и блок 6 регистрации дифракционной картины в плоскости 7.Между плоскостями 2 и 3 под углом с/2 к каждой из плоскостей, расположенных под углом ос одна относительно другой, установлено зеркало 8, предназначенное для крепления контролируемого объекта 9. Вторая плоскость 3 по ходу распространения...

Номер патента: 1272104

Опубликовано: 23.11.1986

Авторы: Билинец, Головач, Кондратьева, Сызранов

МПК: G01B 11/06

Метки: жидкости, поверхности, слоя, твердого, тела, толщины

...инфракрасной радесяцееи атисточника 1 излучения, пагеязая наисследуемую поверхность тзерцсга те -ла 5, проходит слои жидко:те 1 Отражается в точке С, вторична праха,гетслой жидкости и зятем няправлясгся(луч с) на регистрирующий ;вел 3.При этом пластина 2 выдвинута и непопадает в ход луча. В этом случаеимеет место ход луча па рабочему каналу, причем мощность излу гения, попадающего на регистрирующий узел 3,пропорциональна прапусканию слоежидкости на поверхности тверцагс тела 5, прапусканию паров жидкости надисследуемой поверхностью и коэффициенту отражения этой поверхности,Для создания Опарнога каняля впоследующий момент времени в ход луча от источникаизлучения при помо.щи виброприводя вводится пластина 2,При этом геаток...

Номер патента: 1280311

Опубликовано: 30.12.1986

Автор: Альперович

МПК: G01B 11/06

Метки: нанесенных, пленок, подложку, толщины, тонких

...Результатвзаимодействия лучей, отраженных отформула из обр ет енияверхней и нижней поверхностей пленки 4 О1, регистрируется устройством 6. При;измерении изменяют длину волны интерферирующих лучей и фиксируют зна,чения длин волн, соответствующиедвум соседним максимумам или минимуВыполнение пластинки клиновидной 35 дает возможность исключиь ияниена результат измерений засветки, вызываемой отражением от верхней поверхности. Способ измерения толщины тонкихпленок, нанесенных на подложку, за"ключающийся в том, что освещаютконтролируемую пленку пучком инфра 45 красного излучения, наблюдают интер" Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины пленок,прозрачных в инфракрасной...

Номер патента: 1283521

Опубликовано: 15.01.1987

Авторы: Гогин, Кузнецов, Кулешов, Лебедев, Суханов

МПК: G01B 11/04, G01B 11/06

Метки: изменения, интерферометр, оптических, поверхности, формы, элементов

...картины рассматриваются с помощью наблюдательной системы 10.Перед началом работы необходимопроизвести следующее: к оптическойповерхности зеркала 6 в центральнойего зоне приклеиваются элементы 4и 5 в виде двух полукругов плоскопараллельной пластинки полимерного материала, изготавливаются они из одной пластинки путем ее разрезания на две части, а приклеиваются таким образом, чтобы получился круг с зазором примерно 1 мм между половинками. Диаметр разрезаемого полимерного круга равен примерно половине диаметра зеркала 6. Далее зеркала 9-7, оптически сопряженные соответственно с зеркалом 6 и элементами 5, 4 и имеющие независимые подвижки, юстируются таким образом, чтобы на выходе наблюдательной системы 1 О получилось три...

Номер патента: 1298532

Опубликовано: 23.03.1987

Авторы: Беляев, Дубров

МПК: G01B 11/06

Метки: покрытий, просветляющих

...той жеоптической системой 3 направляетсяна измерительный Фотоприемник 5,электрический сигнал с которого поступает в блок 6 регистрации, Одновременно часть светового потока от источника 1 света после прохождения черезсветофильтр 2 попадает на контрольный фотоприемник 7, электрический 40сигнал с которого также поступаетв блок 6. Питание источника 1 светаосуществляется стабилизированным источником 8 питания.В блоке 6 регистрации при каждом 45введенном светофильтре производитсяодновременная регистрация токов обоих фотоприемников 5 и 7, исключениевеличин токов, вызванных фоновымизасветками, учитываемых при градуировке по эталонной подложке (не показана), коррекция тока измеритель ного фотоприемника 5 в зависимостиот отклонения тока...

Номер патента: 1303816

Опубликовано: 15.04.1987

Авторы: Березовчук, Погорелов, Ракаускас, Скаржинскас

МПК: G01B 11/06

Метки: движущейся, многослойной, пленки, полимерной, слоев, толщины

...техйике и может быть использолируемым слоем пленки 5. Сигнал на.выходе фотоприемника 9 зависит от ослабления потока другими слоями, отражения и рассеяния полимерной пленкой15 падающего на нее излучения и независит от толщины контропируемогослоя. Сигналы с фотоприемников 9 и12 попадают в блок 13 обработки сигнала одновременно и несут информациюоб одном и том же участке пленки 15.С выхода блока 13 обработки сигнал,пропорциональный толщине контролируемого слоя, выводится на регистрирующий блок 14. 1 ил. Широкопопосное электромагнитное излучение от источника 1, модулиро,ванное по амплитуде модулятором 2, попадает на линзу 3 конденсора. После этого параллельный пучок проходит через контролируемую пленку 15 и линзой 4 конденсора...

Номер патента: 1308830

Опубликовано: 07.05.1987

Автор: Хаммадов

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, толщины, тонких

...1,й цбрдзе 1 10 нре(,са- с 53 "н н.ск) 1)гн Н (1. 1 д несси ик) 1(11.,1 Ж К) .Устрцйсц рвГс слслукнпим брдЗЦ)1.1 злх 1 н н с еги 3 ци цлнц Л цт стцчн ик 1 1 И ни но- но, 51 р.3033 НАЛОГО 13;л)чс 3 я н рц хо 1 Н 1 нр 1 ед 1 Гь 2 н,ц(кцс 7 н нцл 531733 зднин 1( 31 цнн; ц и.153 сн 15,кцтцрьЙ (стдндвгч 3 е н цхц.мук нгцскцс. поляризации нд енце 30 и 35 учсни 53, г )Грдждясь от зеро.13:) 1 ), 3 Он(3,едст нд 1051131,1311;1)ичсскую нри )ндруи 3330 ц полного внутрсннеп) ц ражгни 3. 11 р 3.) 1х С 13 0 ВГ 1131 ВМ )(."( 01 рцгир ( 5 ь )1 цбрд:нецх 10 1 )схдизх ( Н Н)1( 33 Н ) ) 1 1 ЦН)1 0 Н 03 ЦРО1 ( ОСЬК) 3 Р 1 1(Н НЯ, 11 Р) ХОЛ 53 Нс Ч(Р(3 ССРС Л)ОС 30 13 ния н),(, 1, н 3;.ц)(3 цертикдьнц В,307 ь 06. рд 35 кнпй 1 и.). рд, сх 3 нн, Сглцвцц нцЦЦРЦ...

Номер патента: 1308898

Опубликовано: 07.05.1987

Авторы: Бутаев, Мусаев, Мухитдинов

МПК: G01B 11/06, G01N 33/36

Метки: кокона, оболочки, плотности

...кокона.На чертеже приведена схема устройства, реализующего способ.Устройство, реализующее способ, , состоит из излучателя 1, фотоприемника 2, оптически связанного через контролируемый кокон 4 с излучателем 1, синхронного двигателя б с коконодержателем, блока 3 обработки фотоэлектрического сигнала, связанного с выходом фотоприемника 2, и регистрирующего прибора 7, подключенного к выходу блока обработки фотоэлектрического сигнала.Сущность способа состоит в том, что контролируемый кокон вращают с постоянной синхронной скоростью. При вращении кокона куколка под воздействием центробежной силы устанавливается в среднем участке кокона. Излучения формируют и направляют таким образом, чтобы просвечивалась неэатемненная куколкой часть...

Номер патента: 1310628

Опубликовано: 15.05.1987

Авторы: Близнюк, Богатырев, Вячин, Немтинов, Штандель

МПК: G01B 11/06

Метки: геометрических, объекта, размеров

...изображена принципиальная схема устройства для измерения геометрических размеров объекта.Предлагаемое устройство содержит источник когерентного излучения (на чертеже не показан), две одинаковые измерительные головки, первая . из которых включает последовательно установленные по ходу излучения освещающий световод 1, Фурье-преобразующий объектив 2, анализатор 3 пространственно-частотного спектра, приемный световод 4 и приемник 5 излучения и датчик б линейного перемещения, а вторая головка включает послеИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении линейных размеров протяженных объектов, в частности для бесконтактного оптического контроля геометрической толщины та.ких оптических деталей, как линзы...