Способ определения параметров диэлектрической пленки

Номер патента: 1193459

Авторы: Кулешов, Софронова, Юрин

ZIP архив

Текст

1193459 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения показателя нрелокпения и толщины пленочныхпокрытий на диэлектрических подложках.Цель изобретения - повышение точности и производительности измерений. л,р Способ определения параметров диэлектрической пленки, заключается в том, что освещают пленку излучением, поляризованным в плоскости, перпендикулярной плоскости падения, с периодически изменяющейся во времени длиной волны, последовательно изменяя угол падения, регистрируют поток отраженного излучения, определяют угол Брюстера М, фиксируя его по достижению минимальной амплименений потока отраженного ия, вызванных изменениями ставитель М, Семчуковхред Ж. Кастелевич Корре Е. Сирохман Редактор М. Бла 650 Поарственного комитетазобретений и открытиива, Ж, Раушская н сноеСР Филиал ППП "Патент", г. Ужг ектная У аз 7304/41 Тираж ВНИИПИ Гос по делам 113035, Модлины волны излучения, и углыпадения, соответствующие двум 1+1соседним интерференционным минимумам коэффициента отражения для средней длины волны 3 излучения и вычисляют показатель Ь преломления пленки по формуле п=й Ч а толщину Й пленки - по формуле Фиксация угла Брюстера по минимальной амплитуде изменений потока отраженного излучения позволяет уменьшить влияние неоднородностей пленки на результат измерений и тем самым повысить точность измерения. Определение толщины пленки по значе ниям углов, соответствующих минимумам коэффициента отражения, также позволяет повысить точность измерений, одновременно при этом сокращае ся время контроля.

Смотреть

Заявка

3728190, 17.04.1984

ЛЕНИНГРАДСКИЙ ИНСТИТУТ АВИАЦИОННОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ

КУЛЕШОВ ЮРИЙ СЕРГЕЕВИЧ, ЮРИН НИКОЛАЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, СОФРОНОВА СВЕТЛАНА ЮРЬЕВНА

МПК / Метки

МПК: G01B 11/06

Метки: диэлектрической, параметров, пленки

Опубликовано: 23.11.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1193459-sposob-opredeleniya-parametrov-diehlektricheskojj-plenki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения параметров диэлектрической пленки</a>

Похожие патенты