Способ определения параметров диэлектрической пленки
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
1193459 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения показателя нрелокпения и толщины пленочныхпокрытий на диэлектрических подложках.Цель изобретения - повышение точности и производительности измерений. л,р Способ определения параметров диэлектрической пленки, заключается в том, что освещают пленку излучением, поляризованным в плоскости, перпендикулярной плоскости падения, с периодически изменяющейся во времени длиной волны, последовательно изменяя угол падения, регистрируют поток отраженного излучения, определяют угол Брюстера М, фиксируя его по достижению минимальной амплименений потока отраженного ия, вызванных изменениями ставитель М, Семчуковхред Ж. Кастелевич Корре Е. Сирохман Редактор М. Бла 650 Поарственного комитетазобретений и открытиива, Ж, Раушская н сноеСР Филиал ППП "Патент", г. Ужг ектная У аз 7304/41 Тираж ВНИИПИ Гос по делам 113035, Модлины волны излучения, и углыпадения, соответствующие двум 1+1соседним интерференционным минимумам коэффициента отражения для средней длины волны 3 излучения и вычисляют показатель Ь преломления пленки по формуле п=й Ч а толщину Й пленки - по формуле Фиксация угла Брюстера по минимальной амплитуде изменений потока отраженного излучения позволяет уменьшить влияние неоднородностей пленки на результат измерений и тем самым повысить точность измерения. Определение толщины пленки по значе ниям углов, соответствующих минимумам коэффициента отражения, также позволяет повысить точность измерений, одновременно при этом сокращае ся время контроля.
СмотретьЗаявка
3728190, 17.04.1984
ЛЕНИНГРАДСКИЙ ИНСТИТУТ АВИАЦИОННОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
КУЛЕШОВ ЮРИЙ СЕРГЕЕВИЧ, ЮРИН НИКОЛАЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, СОФРОНОВА СВЕТЛАНА ЮРЬЕВНА
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06
Метки: диэлектрической, параметров, пленки
Опубликовано: 23.11.1985
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1193459-sposob-opredeleniya-parametrov-diehlektricheskojj-plenki.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения параметров диэлектрической пленки</a>
Предыдущий патент: Способ определения параметров поворота объекта вокруг оси, перпендикулярной его поверхности
Следующий патент: Способ получения репер на образце
Случайный патент: Способ получения метатитанатов двухвалентных переходных металлов