G01B 11/06 — для измерения толщины

Номер патента: 376656

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Кадлец, Лик, Проектно

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактный, измеритель, листового, толщины

...светового луча, например зеркального барабана 3, закрепленного на валу 4 электродвигателя, оптической системы б, установленных по одну сторону ленты стек ла б, и фотоприемников 7 и 8, установленныхпо другую сторону ленты стекла, Фотоприемники подключены к цифровому регистратору 9 временного интервала, который состоит из высокостабильного генератора 10 импульсов, 5 цифрового счетчика 11 импульсов, масштабного преобразователя 12 и отсчетного табло 13.Работает устройство следующим образом, Световой луч от источника 1 света попа дает на зеркальный барабан 3. При поворотебарабана на определенный угол луч света совершает одно колебание в фокальной плоскости оптической системы б. Электродвигатель 4, вращая зеркальный барабан 3, заставляет...

Номер патента: 377612

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Волкова, Лапшин, Тимошик

МПК: G01B 11/06

Метки: деталь, оптическая, покрытием, тонкопленочным

...далее, олы А В т С, где 0(х(1,Проведенные исследования показали, что твердые растворы полного анионного изовалентного замещения типа Ап, Вц, С,"испаряются с конгруентным составом паровой фазы, что приводит к синтезу воспроизводимых пнтерференционных систем, не практичных к температуре приемной поверхности оптического элемента и скорости испарения, не наблюдается также их взаимодействие с составом остаточных газов в рабочем объеме. Перечисленные преимущества вакуумных конденсаторов твердых растворов позволяют решить одну из самых существенных задач тонкопленочной технологии - получение строго воспроизводимых результатов. В результате стехиометрического состава вакуумных конденсатов твердых растворов. вызванного равновесным составом...

Номер патента: 378708

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Шумилин

МПК: G01B 11/04, G01B 11/06

Метки: горячего, проката, фотоэлектрическое, ширины

...б и фотоприемника б,.синфаэно вращающиеся развертывающие барабаны 7 и 8, адили из которых жестко соединен с валом 9 вращения, а 1 втарой с этим же валом 9 соединен через, втулку механизма 10 фиксации углового перемещения для установки номинального измеряемого размера, электронный блок 11 и узел 12 взаимного фазового разворота развертывающих барабанов 7 и 8 в положение, при котором измерительный импульс образаван франтами от краев диафрапм 4 оптических систем 1 и 2.Во время работы устройства при измерении проката с фотоприемников б оптичеоких 15 систем 1 и 2 на вхад электронного измерительного блока 11 поступают аионалы а и б, (см. фиг. 2). Электронный блок 11 формирует суммарный измерительный импульс в с длительностью 1 ц. Перед...

Номер патента: 411294

Опубликовано: 15.01.1974

МПК: G01B 11/06, G01B 9/02

Метки: 411294

...хода в ветвях иптерферометра, что вызовет изменение освещенности в центре интерференционной картины, При изменении расстояния вдоль оси между когерентными источниками, расположенными вблизи заднего фокуса объектива 13, на величину 0,5 г. (Х - длина волны света, используемого в интерферометре), освещенность в центре интерференционной картины изменится на противоположную, т. е. темное пятно будет светлым (или наоборот). Число изменений освеше в центре интерференционной картины, соответствующее толщине непрозрачного слоя, равноЛг= -- ,Х Очевидно, что минимальная толщина непрозрачного слоя, которая еще может быть измерена, равна4 пп:4 Для контроля прозрачных слоев на контрольную пластинку предварительно наносится отражающий слой, при этом...

Номер патента: 413376

Опубликовано: 30.01.1974

МПК: G01B 11/06

Метки: 413376

...вычитают из него известную величину зазора при нулевой толщине полосы и вводят поправку на деформацию валков, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, по центру осевых отверсти 1 й валков в середине их бочки устанавливают две оптические метки и измеряют зазор между ними. уме ние Изобретение отностельной техники.Известен способ избна прокатных станах,что измеряют зазорвалков, вычитают иззазора при нулевой тпоправку на деформаПредлагаемый сносного тем, что по центков в середине их бооптические метки иними,Это позволяет повысить точность изб 1 ерения толщины полосызаключающийся в том, между частями рабочих него известную величину олщине полосы и вводят цию валков.об отличается от известру осевых отверстий валчки...

Номер патента: 415488

Опубликовано: 15.02.1974

МПК: G01B 11/06

Метки: 415488

...для контроля поперечного размера движущихся изделий, например проката 21, содержит два оптических блока, располаГаемых с противоположных сторон проката 1и состоящих из осветителей 2, 3 и объективов4, 5 с фотоприемниками 6, 7, причем осветители 2, 3 и объективы 4, 5 с фотоприемниками 26, 7 располокены так, что оптические оси соответственно осветителей 2, 3 и объективов 4,5 параллельны.Предлагаемое устройство работает следующим образом, 3 ллетень , о 6 1 УДК 531.71(088,8 1Осветитель 2 формирует светящуюся точку Е на Одной из Гране Ирокага 1, 1;1 противоположной сй грани осгстнтсл 3 формпрус, свст 51 щ 1 юся точк 7 Е Расстоя" с мекду Г)анями 1, -- кон:ролирусмы:"; г,.змс;,;, Обьск;ПБ 4 г 1 роецирует световую точ.: с...

Номер патента: 420871

Опубликовано: 25.03.1974

Авторы: Баратов, Горбань, Коваленко, Ордена, Черный

МПК: G01B 11/06

Метки: оптических, толщин

...поток, падающий нормально на подложку 2 (например, стеклянную пластинку) с напыляемым оптическим покрытием 3 (например, МдГ 2). Между источником света 1 и подложкой 2 размен 1 ают два полупрозрачных зеркала 4 н 5 и оптический аттенюатор 6. Ослабление светового потока, проходящего через аттенюатор 6, определяется величиной управляющего воздействия Г. Световой поток нсточцика 1, отраженный от зеркала 4, является опорным световым потоком Ф,. Световой поток Фотр отраженный подложкой 2, оптическим покры гнем 3 н зеркалом 5, является стабилизированным световым потоком. Управляющее воздействие Р оптического аттенюатора 6 является функцией величины разности Фотр - Фоп В исходном состоянии покрытие 3 не напы лецо, отражение от подложки 2...

Номер патента: 422947

Опубликовано: 05.04.1974

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактного, имеющего, нрозрачного, однонаправленную, полосностьповерхностей, стенки, тела, толщиныстенки

...лучейца стенку тела вдс ль его полосцостц облегчает измерение расстояний между отражеццыми 0 лучами, так как гюследцце остаются прлмоли3нейными и параллельными между собой, Если бы на стенку тела вдоль полосности его поверхностей был послан только один плоско- параллельный луч света, то в зависимости от того, попал ли он в канавку или на горбушку полосности, расстояния между отраженными от ближней и дальней поверхностей тела лучами могли бы значительно отличаться одно от другого. Поэтому для повышения точности измерения толщины тела на стенку его вдоль полосности поверхностей посылают несколько плоскопараллельных пространственно разделенных лучей и вычисляют среднее значение измеренных расстояний между отраженными от ближней...

Номер патента: 426146

Опубликовано: 30.04.1974

Авторы: Полевой, Сидорин, Украинский

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактного, толщиныизделия

...второй кромки изделия обоими фотодатчиками.На чертеже изображена принципиальная схема устройства для реализации предлагаемого способа.Устройство содержит фо 2, оптические оси которых 0Яют между собой острый угол а. Кром чертеже изображено измеряемое из рольганг 4, перемещающий изделие ление движения которого показано Острые углы между оптическими ося датчиков и направлением движения ооозначены Р 1 и Р 2. Измеряемое изделие 3, перемещаясь по 10 рольгангу 4, верхней кромкой поочередно пересекает оптические оси фотодатчиков в точке А (ось 00) фотодатчика 1 и в точке В (ось 00") фотодатчика 2. Скорость изделия постоянна, и поэтому интервал между момен тами фиксации верхней кромки изделия обоими фотодатчикамн пропорционален отрезку АВ,...

Номер патента: 428201

Опубликовано: 15.05.1974

Авторы: Баркаускас, Гутаускас, Чуприн

МПК: G01B 11/06

Метки: изделии, пленочного, покрытия, прозрачного, толщины

...способу закрывают двумя задвижными шторками зонунаходящуюся за пределами линий отражения света, пропускают через образовавшуюся щель между шторками калиброванньй поток овета, и по изменению тока в измерительном приборе судят об измеряемой толщине,На чертеже схематично изображено устройство, реализующее предлагаемый способ.Устройство состоит из экрана 1, задвижных шторок 2, калиброванного по мощности источника овета 8, фотодатчика 4 с измерительныь прибором б, поворотного зеркальца б.Предлагаемьй способ осуществляют следующим образом.На экране 1 устанавливают четкие линии отражения света от пповерхностей прозрачного покрытия 7 объекта 8, Затем (вручную или автоматизированным способом) закрывают шторками 2 часть экрана, т. е, ту зону,...

Номер патента: 446743

Опубликовано: 15.10.1974

Авторы: Глушков, Раскевич

МПК: G01B 11/06

Метки: полупроводниковых, слоев, толщины

...таким образом, чтобы поверхности его слоев былй параллельны направ 1 о лению потока, и по выявленной границе раздела между слоями определяют их толщину.Описываемый способ прост взксплуатации и не требует химичвстб КОй ПОдГОтОВКИ ОбраэцОВ.Принципиальная схема измеренияпо предложенному способу показана на чертеже.Свет от источника 1 проходит 20 через конденсор 2, поляризатор 3,образец 4, анализатор 5, фокусирующую систему б и попадает на регистрирующее устройство 7.ИсследуемыИ образец 4 помещают 25 между скрещенными поляризатором 32 2 б 7 Составитель А, С Э ЛИ НРедактор С,ХОЙфИЦ Текред Н .СОНИНЭ Заказ 4 З Изд. И )Я Тираж Щ) Подписиое ЦНИИПИ Государствеияого комвтета Совета Мииистров СССР по делам изобретений и открытий Москва, 113...

Номер патента: 457876

Опубликовано: 25.01.1975

Авторы: Бялик, Кадлец, Рифтин

МПК: G01B 11/06

Метки: пластин, прибор, прозрачных, толщины

...относится к уматического контроля и моизовано для бесконтактного ины прозрачных пластин.Известен прибор для измерения толщины прозрачных пластин, содержащий газоразрядный источник света с блоком управления световым лучом и оптическую систему, расположенные по одну сторону от измеряемой пластины, фотоприемники, установленные на базовом расстоянии друг от друга по другую сторону измеряемой пластины, и регистратор временного интервала.Предложенный прибор отличается тем, что он снабжен блоком управления световым лучом, выполненным в виде генератора сантиметровых волн периодически изменяемой частоты и источником света, выполненным в виде помещенных в прозрачный балон двух протяженных электродов.Это позволяет повысить быстродействие,...

Номер патента: 491824

Опубликовано: 15.11.1975

Авторы: Буйко, Калошкин, Колешко, Лашицкий

МПК: G01B 11/06

Метки: двухслойных, диэлектрических, пленок, толщин

...к исследуемому образцу как под углом Брюстера, так и нормально к поверхности. По измеренному регистриру ю щим устройством значению коэффициента отражения р-компоненты при падении света под углом Брюстера к верхней поверхности можно рассчитать толщину нижнего слоя двухслойной диэлектрической структуры, Из теорети ческой оценки следует, что коэффициент отра491824 р - 1 Фг) фиг, 1 жения от двухслойной структуры, выращеннойна отражающей подложке, равен Г 24 кГ -1 г -1- 2 Гр )г) сои д,У(1)1+ Г 1 г 1 + 2 Г,р 1 г 1 р соз- и, а - ," где Гр - амплитудный коэффициент отражения р-компоненты от границы раздела воздУх - веРхний слой; 1 г 1 р - сУммаРный амплитудный коэффициент отражения р-компоненты от остальной структуры; Х - длина волны...

Номер патента: 492730

Опубликовано: 25.11.1975

Авторы: Бялик, Кадлец, Подруцкий

МПК: G01B 11/06

Метки: граней, непараллельности, производства, процессе, стекла

...монохроматических пучков света напути луча расположен врашаемый двигателем 4 диск 5 с установленными на нем4127 ЭО оставитеаь 1 .Горшк едакторл Тех е" Зиньковскии ре" И.Ка )андашова корректор Л Ко оТираж каз Подписное ЦНИИП осударствениого ко питета Спо делам иаобре; .пий и о Москва, 113035, аушская вета Мииистрорытий Предприятие Патеитъ, Москва Г 59, Бережковская иаб. 2Ф3интерференционными фильтрами, пропускаю- шими свет различной длины волны, напри,мер фильтром синего 6 и оранжевого 7 цветов. Благодаря вращению диска 5 синий и оранжевый лучи появляются на выходе б объектива 2 попеременно. Преломленные в исследуемом стекле 3 лучи поочередно попадают на позиционно-чувствительный фото- приемник 8, величина выходного сигнала которого...

Номер патента: 500466

Опубликовано: 25.01.1976

Авторы: Домышев, Садохин, Скоморовский

МПК: G01B 11/06, G01B 11/24, G02B 27/28 ...

Метки: кристаллических, пластин, плоскопараллельности, толщины

...непосредственно технике, предназначено для контроля толщи на полироввпьнике, ны 0 плоскопвраллельности кристаллических Для этого предлагаемое устройство снабь. пластин и,может использоваться в проиэводст жено кристаллическим клином, установленньм ве, занятом Изготовлением интерференпионно 5 зв объективом коллиматора перед лолирова ,поляриэационных фильтров.ником, и нлоским зеркалом, закрепленнымИзвестно устройство для контроля нлосв иолироввльнике так, что плоскость зе квла наклонена к оптической оси объектива Копарвллельных пластин, содержащее источ, коллиматорв на угол, обеспечивающий ник монохроматического света, точечную диафр у, обеспечивающий рвзвФ- ,рагму, объектив коллимвтора; пробное стек,6 дение иэображений точечкой див вгмы...

Номер патента: 506756

Опубликовано: 15.03.1976

Авторы: Бялик, Кадлец

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактного, листового, прозрачного, производства, процессе, толщины

...генератор 4частот, соединенный с светодиодами, цилиндрическую линзу 5, плоское зеркало 6, установленное за контролируемым материалом 7,последовательно соединенные фотоприемник 85 с диафрагмой 9, частотный дискриминатор 10и вторичный прибор 11.Предлагаемый способ реализуется следующим образом,Свет от малоинерционных источников, наО пример, светодиодов 1 попадает в волоконнооптический преобразователь 2, каждый рядволокон 3 которого выведен к отдельномусветодиоду 1. Генератор 4 частот осуществляет питание светодиодов 1 напряжением, час 5 тота которого различна для всех светодиодови, таким образом, свет в каждом ряду волокон 3 модулпрован своей частотой. Частота модуляции света, выходятцего из волоконно-оптического преобразователя 2...

Номер патента: 517786

Опубликовано: 15.06.1976

Автор: Фридлянд

МПК: G01B 11/02, G01B 11/06, G01B 11/255 ...

Метки: изделия, размера, фотоэлектрический

...первоначального направления под углом,имеющим биссектрису, расположенную перпендикулярно линии измерения, а затем производят сравнение интенсивности основного идополнительного потоков, по которому и судят об измеряемом размере.На чертеже изображена принципиальнаясхема, реализующая предлагаемый способ.Схема содержит источники 1 и 2 света, оптическую систему 3, фотоприемники 4 и 5.Предлагаемый способ осуществляют следующим образом,На один край измеряемой кромки (прямоугольной или круглой) изделия 6 направляютпод углом основной параллельный световой поток 7 прямоугольного сечения, сформированный источником 1 света. Частьпотока, ограниченную этим краем кромки, отражают оптической системой 3, например плоским зеркалом, под угломк...

Номер патента: 108582

Опубликовано: 25.07.1976

Автор: Иоффе

МПК: G01B 11/06

Метки: кристаллических, пластин, толщины

...температуру Т, Если развернуть кристалл А на угол 45, тоокажется, что он не участвует в образовании разности хода. Измеренная дробная часть порядка интерференции хд относится целиком к более тонкому кристаллу Б. Далее кристалл А поворачивают в первоначальное положение, а кристалл Б - на угол 90. Суммарная разностьхода Е теперь будет равна ЕА - Еь, При этом дробная часть порядкаинтерференции окажется равной х.Если бы пластина Б была точно в два раза тоньше, чем А, какэто требуется для идеального иптерференционно-поляризационного светофильтра, то разность хв - х была бы равна нулю, так как в обоихслучаях отсчитывали бы одинаковый угол поворота анализатора.Разность отсчетов указывает на отступление от кратности толщини дает...

Номер патента: 526768

Опубликовано: 30.08.1976

Авторы: Кацнельсон, Фурман

МПК: G01B 11/06

Метки: детали, изготовлении, оптического, покрытия, слоев, толщин

...производят при напылении слоя на уже готовую систему слоев.Непосредственно на деталь наносят первый простой диэлектрический пропускающий интерференционный фильтр к-го порядка, состоящий из двух одинаковых многослойных зеркал, разделенных слоем диэлектрика. Зеркала представляют собой двухкомпонентные системы из чередующихся непоглощающих слоев диэлектриков с высоким и низким показателями преломления, оптические толщины которых равны между собой. Оптическая толщина разделительного слоя в 2 к раз больше оптической толщины слоев зеркал.О том, что оптическая толщина достигла требуемой величины, делают заключение, регистрируя минимумы светопропускания для слоев с высоким показателем преломления и максимумы - для слоев с низким показателем...

Номер патента: 555278

Опубликовано: 25.04.1977

Авторы: Александров, Голованова, Кацнельсон

МПК: G01B 11/06

Метки: вакууме, испарением, нанесения, оптического, пленок, покрытия, процессе, толщин

...ПЛОСКОСТЬ Г;ЦВНОГО СЕг 1 ЕНИЯРЕШСтКН; ПЕРПЕНДИКУЛЯРНЯЯ К СЕ 1 г 1 т 12 нкам, ОРИЕ 1 П 1.рована под углом 40 50 к падающему световомуПуЧКу ЛуЧЕй, ВХОдНОй ЛЮК ОГрапнг 1 ЕН КраяМИ Иэаб.раженвятела какалаисточника света, а вь 1 ходнойЛЮК ВЬгПОЛНЕН В ВИДЕ ДнафРаГМЫ СРаЗМЕРамн, НЕПрЕВЫШаЮщИМИ ВЕЛНгл 1 НЬ 1 уКаза ЕНОГО ИЗОбражЕНИяв мопохроматическом свете,На чертеже дана схема предлагаемого устройства.Оло содержит источник света 1 (источниксплошного спектра), формирующую оптику,СОСЬящу 1 О из объективов 2,3 и 4, вакуумноплотных фотометрических окон 5 и 6 и фильтра 7, Входе луча внутри формирующей оптики установпе.на диффакционная решетка 8. Плоскость главногосечения решетки, перпендикулярная к ее штрихам,на которых происходит дифракция,...

Номер патента: 556313

Опубликовано: 30.04.1977

Авторы: Левин, Соскин

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, прозрачных, толщины, тонких

...дифракционных максимумов,Дифракционная картина регистрируется прп помощи микроскопа 7, в плоскости пространственного спектра 8 совпадающей с задней фокальной плоскостью линзы. Пространственный спектр представляет ряд узких дифракционных максимумов на темном фоне. ОтноСггтЕЛЬЕгая ВЕЛИЧина МВКСИагУгОВ ОПРЕДЕЯЕТСЯ измеряемой разностью фаз и значением параметра растра, в соответствии с уравнениемвпа lг -- х- максвгп 9Й ( -- х)х+" ,Х( ИвпаЮ згп 0)зпазгп 6)2где- интенсивность света ь пространственном спектре;1 - период растра;Л - число периодов растра;О - угол дифракции;Й - волновое число;огр - разность фаз лучей, прошедших через выступы и выемки дифракционной решетки;х - значение параметра растра.Б уравнении 12) член характеризует функцию...

Номер патента: 590597

Опубликовано: 30.01.1978

Авторы: Барзилович, Капличный, Короткоручко, Костроменко, Пластюк, Чемерис, Яременко

МПК: G01B 11/06

Метки: напыления, пленки, процессе, толщины

...стороны рабочей подложки, индикаторный блок 5 и испаритель (на чертеже не показан).590597 Формула изобретения в вг Составитель О. СтрогановТехред И. Карандашова Корректор Л. Денискина Редактор О, Юркова Подписное Заказ 3182/6 Изд. Хв 159 Тираж 907 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 475Типография, пр, Сапунова, 2 Между рабочей подложкой и светочувствительным элементом 4 размещен блок подавления световых лучей от испарителя, выполненный в виде полостей 6 с центральными отверстиями 7, уменьшающимися в направлении светочувствительного элемента так, чторазность диаметров предыдущего отверстия нпоследующего Й - .Оотносится к суммедиаметров предыдущего...

Номер патента: 590598

Опубликовано: 30.01.1978

Авторы: Китранов, Кононко, Плесконос, Семикин

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактного, пластины, прозрачной, толщины

...углом к оси диафрагмы, а основание закреплено неподвижно относительно корпуса,На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого устройства.Устройство содержит корпус 1, осветитель 2 с диафрагмой 3 и полупрозрачное зеркало 4, закрепленные неподвижно относительно друг друга в корпусе 1, основной 5 и дополнительный 6 фотоприемники, закрепленные на неподвижном основании 7, измерительную смеху 8, Полупрозрачное зеркало 4 расположено под острым углом а к оси диафрагмы 3. Угол р между светочувствительными поверхностями основного 5 и дополнительного 6 фотоприемников определяется по формуле= - " - 2 я.2Взаимное положение основного 5 и дополнительного 6 фотоприемников и полупрозрачного зеркала 4 определяется по формулеа1 д 2 аЬ где а -...

Номер патента: 619790

Опубликовано: 15.08.1978

Авторы: Бернштейн, Мухитдинов, Назаров, Рожков

МПК: G01B 11/06

Метки: нити, толщины, фотоэлектрический

...и направляются на Фотоприемники 4 и 5, соответ-. ственно. Длины волн излучаемого источниками света1 и ,1. выбираются так, чтобы коэФ 4 ициенты их поглощения водой были бы одинаковы, а для материала нити были различны. Поступающие на Фотоприемники 4 и 5 потоки света с длиной волны Я.1 и с длиной волны Уравны соответственноР -ср в-(,1 К р) и Ф ср, е-(К йК ь)Оя яя ья6197 где Щд иод - световые потоки, направленные от источников 2 и 3 света на калибр 1 с контролируемой нитью 8, А - плотность материала нити при ее прохождении через калибр р 9влажность нити р Кц я и Епроизведения коэффициенто Ь поглвщения света с длиной волны я и Я материалом нити на длину путй света в нему Кд н )( д то жео 3для влажности.В вычислительном блоке 6 выходные...

Номер патента: 634093

Опубликовано: 25.11.1978

Авторы: Мусаев, Мухитдинов, Назаров, Рожков

МПК: G01B 11/06

Метки: волокнистого, линейной, плотности

...средствам контро инейнойплотности ленты,Известен способ измерения линейной плотности волокнистого материала,заключающийся в просвечивании волокнистого материала и контроле интенсивности проходящего через материализлучения с последующей оценкой линейной плотности 1),Однако такой способ недостаточноэффективен.Цель изобре ние эфФективности из к ко стил к Фо ля л 5 ба заключается в Сущностследующем.Известношедшего черхолст и прследующей сп что интенсивность Р пр ез материал (ленту, нить ) излучения определяется ависимостью: тения - повышемерения. срсО е ( где сРо чениерЯ е на вещество иэлу - линей случае в себя лотность образца затель степени ктеристику линейщину просвечиваеная пок хар тол ание(в общемвключаеной пломого...

Номер патента: 657241

Опубликовано: 15.04.1979

Авторы: Александров, Дорджин, Куваев

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, толщины, тонких

...лазер, коллиматор 2,полевую диафрагму 3, диффузно рассеивающую пластинку 4, микроинтерферометр 5, исследуемую пленку б наподложке 7.Предлагаемое устройство работаетследующим образом.Подложку 7 с пленкой 6 кладут напредметный столик (на чертеже ие показан) микроинтерферометра 5, Лучиот источника 1 монохроматическогоб 5724 Формула изобретения Составитель Л, ЛобзоваРедактор И. Харитонова Техред И,Бабурка Корректор М. Демчик 777/38ЦНИИПИ Гпо дел113035,8 бгомитета СССРоткрытий ушская наб Тиражсударственногом изобретений иосква, Ж, Ра Подписное аказ Филиал ППП Патент, г. Ужгород, Ул, Проектная,света, пройдя коллиматар 2 и полевую диафрагму 3, попадают на диффузнорассеивающую (вибрирующую) пластинку 4, которая осуществляет эффект размазывания...

Номер патента: 670803

Опубликовано: 30.06.1979

Авторы: Алексеев, Козлов, Кухарская, Надточий

МПК: G01B 11/06

Метки: вакуумным, испарением, нанесенных, подложку, покрытий, толщины, тонких

...подложки и измеряемого покрытия, Е и О - точки на границе измеряемого покрытия и реплики.Далее для увеличения контрастности реплику необходимо оттенить тяжелым металлом (платиной, хромом, золотом). Это осуществляется (см. фиг. 2), например, следующим образом; в установке 5 типа ВУПреплику помещают с наклоном, равным углу у (который является углом оттенения реплики), производят разогрев указанных сортов металла до температуры парообразования. Образовавшиеся мельчайшие частички металла 6, испаряясь, осаждаются на реплику, причем оттенение должно производиться вдоль направления рисок (см. фиг, 3, где Б - напыленный слой после первого оттенения).Новым этапом подготовки образца является нанесение на оттененную реплику технически чистого...

Номер патента: 684299

Опубликовано: 05.09.1979

Авторы: Конев, Любецкий, Пунько

МПК: G01B 11/06

Метки: пленок, подложках, толщины, тонких

...индекс. Кроме того, установка содержит анализатор 7, приемник 8 излучения, усилитель 9 и синхродетектор 10. Эллиптичность определяется по индикатору 11.Способ осуществляется следующим образом.Излучение от генератора 1 проходит фокусируюшую линзу 2, модулятор 3, врашатель 4 плоскости поляризации, анализатор 5 и под р попадает на контрольную подложку 6 с пленкой. Отраженное деполяризованное излучение, пройдя через анализатор 7 попадает на приемник 8, сигнал с которого усиливается усилителем 9 и детектируется на синхродетекторе 10.Эллиптичность определяется по настройке индикатора 11 по минимуму показаний детектора путем вращения анализатора 7, это соответствует измерению величины малой оси эллипса поляризации, при этом по лимбу...

Номер патента: 664496

Опубликовано: 25.12.1979

Автор: Соллогуб

МПК: G01B 11/06

Метки: интерференционный, клиновидности, пластин, прозрачных

...угла б и достигает максимального (Тох =1)30твенно где о ГИ11 (;ЙЮ ЛИ+11 Е(8Е ф(1 11 г;С значений при угле б равном, соответс Ьп иЗ(ьмф) где в - целое числ 4При изменении клиновидности отношейие. этих величин изменяется в пределахО+ 1 з 1КВ 1 ИИспользуя выражения 1, 2, 5, 6 можно доказать, что в случае лазерного пучка с осевой мметрией . = У (.Г), (7) т; иак 7. сии т.е. указанное отношение является Ьункциеи приведенной клиновидности Г =(д - ди.Д аметр пучка, Х . длина волньц, причем, показатель преломления и пластины служит парамет. ром этой функции,Вид функции 1 (Г) определяется распределением интенсивности в лазерном пучке и может быть рассчитан с помощью выражения (5).Для получения воспроизводимых результатов целесообразно...

Номер патента: 715931

Опубликовано: 15.02.1980

Автор: Душкин

МПК: G01B 11/06

Метки: жидкой, пленки, прозрачного, стенках, толщины, трубопровода

...течет жидкость, прикладывают призму с цилиндрической гранью, облучаютее световым пучком, измеряют сдвиг границыполного внутреннего отражения о г поверхиоси:пленки и по величине этого сдвига определяют толщину жидкой пленки.На чертеже показано устройство для реализации описанного способа.На цилиндрический канал 1 с текущей жидкой пленкой,2 наложена без зазоров и высту. пов измерительнаяпризма 3 с цилиндрической гранью. Устройство включаег в себя объ. ектив 4, щелевую диафрагму 5, входную лин. зу 6, фотоэлектрический приемник 7 излуче. ния, объектив 8, щелевую диафрагму 9 и источник 10 света.Устройство работает сНа входную грань прис помощью объектива 8акаэ 9511/3Подписное ЦНИИПИ раж 801 3 7 освещаемой источником 10, На выходной грани...