Устройство для измерения толщины пленок

,1272103 1 В 11/06 РЕТЕНИЯ во СССР 6, 1982 НИЯ ТОЛЩ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ, (46) 23.11.86. Бюл. В 43 (71) Алтайский политехнический институт им.И.И.Ползунова(56) Авторское свидетельст В 1035416, кл. С 01 В 11/О ,(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕ ИНЫ ПЛЕНОК(5) Изобретение относится к измерительной технике и может быть испол зовано для измерения толщины непрозрачных пленок с отражающей поверх - ностью. Целью изобретения является измерение непрозрачных пленок за счет образования дополнительной отражающей базы, предназначенной для установки контролируемого объекта. Монохроматический пучок света от источника 1, ограниченный с одной стороны плоскостью 2, падает на зе кало 8. Пучок света, отраженный от зеркала 8, преобразуется линзой 4 в дифракционную картину, которая регистрируется фотоприемником 5 и бло ком 6 регистрации. Перед измерением объекта формируется дифракционная картина, не имеющая с одной сторонь дифракционных экстремумов. После ус тановки контролируемого объекта 9 . дифракционная картина искажается. За счет перемещения плоскости 3 на величину дЬ восстанавливается прежняя дифракционная картина. По значению дЬ однозначно определяют контролируемый параметр Й.1 ил.Формула изобретени Составитель Б.ПотаповРедактор Н.Тупица Техред 3 Т.Сердюкова Корректор М,Демчик Заказ 6326/36 Тираж 670 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г,ужгород, ул. Проектная, 4 1 12Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины непрозрачных пленок с отражающей поверхностью.Цель изобретения - измерение непрозрачных пленок за счет образования дополнительной отражающей базы, 1 предназначенной для установки контролируемого объекта.На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.Устройство для измерения толщины пленок содержит источник 1 монохроматического света, две плоскости 2 и 3, расположенные одна относительно другой так, что они образуют щель в направлении, перпендикулярном направлению распространения света, и сдвинутые друг относительно друга в направлении распространения света от источника, линзу 4, фотоприемник 5 и блок 6 регистрации дифракционной картины в плоскости 7.Между плоскостями 2 и 3 под углом с/2 к каждой из плоскостей, расположенных под углом ос одна относительно другой, установлено зеркало 8, предназначенное для крепления контролируемого объекта 9. Вторая плоскость 3 по ходу распространения света установлена с воэможностью перемещения вдоль направления распространения света с помощью механизма 10.Устройство работает следующим образом.Монохроматический пучок света от источника 1, ограниченный с одной стороны плоскостью 2, падает на зеркало 8. Пучок света, отраженный от зеркала 8, ограничивается с другой стороны плоскостью 3 и преобразуется линзой 4 в дифракционную картину плоскости 7. Дифракционная картина регистрируется фотоприемником 5 и 7203обрабатывается блоком Ь регистрации,С помощью механизма 10 плоскость 3перемещается вдоль направления распространения света до положения 35 при котором формируется дифракционная картина, не имеющая с одной стороны чередующихся экстремумов. Приразмещении измеряемого объекта 9 дифракционная картина изменяется: моно 10 тонное изменение интенсивности сме -няется набором экстремумов,С помощью механизма 10 плоскость3 перемещается на расстояние йЬ до 15 восстановления первоначальной дифракционной картины, не имеющей экстремумов с одной стороны. По значению ЬЬ однозначно опре 20 деляют толщину Й контролируемого объекта 9. Устройство для измерения толщиныпленок, содержащее источник монохроматического света, две плоскости,расположенные одна относительно другой так, что они образуют щель внаправлении, перпендикулярном направ лению распространения света, и сдвинутые друг относительно друга в направлении распространения света отисточника, линзу, фотоприемник и блокрегистрации дифракционной картины, З 5 о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью измерения непрозрачных пленок, оно снабжено зеркалом, установленным между плоскостями под угломсК/2 к каждой из плоскостей, располо женных под углом с 1 одна относительно другой, причем вторая плоскостьпо ходу распространения света установлена с возможностью перемещениявдоль направления распространения 45 света.