Патенты с меткой «напыляемых»

Номер патента: 340883

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Бессольцев, Борисов, Волков, Гаврилов, Гудков, Московский

МПК: G01B 11/06

Метки: вакууме, диэлектрических, напыляемых, параметров, покрытий, фотометрического

...диска 4 и оптически связанного с дополнительным источником 22 света, расположенным по другую сторону модулирующего диска. Кроме того, выход синхронного детектора соединен со входом блока 23 индикации с интегрирующей цепочкой, выход которого подключен ко входу измерителя 24 средней скорости нанесения покрытия.Устройство работает следующим образом. Луч света от,источника 1 проходит через конденсор 2 и объектив 3, модулирующий диск 4, иллюминатор 5, поворотные зеркала 9, 10, длиннофокусный объектив 11 и попадает на контролируемое покрытие 12. Отразившись от контролируемого покрытия, находящегося в фокусе объектива 11, луч света проходит через упомянутый объектив, поворотные зеркала 9, 10 и, пройдя через иллюминатор, попадает на...

Номер патента: 398814

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Бессольцев, Борисов, Гудков

МПК: C23C 14/00, G01B 7/06

Метки: датчик, диэлектрических, напыляемых, толщины

...и чем тоньше подложка, тем меньше степень нескомпенсированности.На фиг. 2 кривые показывают, что емкостьобоих конденсаторов от температуры изме няется в равной степени. Датчик толщины напыляемых диэлектриче 30 ских пленок, содержащий плоский гребенчаПредлагаемое изобретение относится к области радиотехники, к устройствам для измерения толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их изготовления.Известны датчики толщины напыляемых диэлектрических пленок, содержащие плоский гребенчатый конденсатор, выполненный в виде диэлектрического основания с нанесенными на одной из его сторон электродами.Основным недостатком известного датчика является большая ошибка измерений из-за нагрева диэлектрического основания в процессе осаждения...

Номер патента: 1044973

Опубликовано: 30.09.1983

Авторы: Введенский, Эльгарт

МПК: G01B 21/08

Метки: вакууме, напыляемых, оптической, пленок, толщины, фотометрического

...характеризуемыеоптическими свойствами покрытия и зависящие от Ипоказателя преломления осажденного вещества, от Ио -показателя преломления подложки и Ъ - показателяпреломления среды, в которойпроисходит процесс нанесенияслоя;В - коэффициент, зависящий отсветового потока на входеоптической схемы устройства,от пропускания оптическоготракта и от чувствительности.Фотоприемника 3.Иэ выражения (1) видно, что функция О(т,) будет принимать свои экстре-, мальные (О(+) =В/А+Э 1 В/я-Э значения в случае, когдачто соответствует моментам времени,когдаий иг.-а=К 4 где К =0,1,21А - длина волны излучения;д - геометрическая толщина.Известно, что при достижении функцией экстремума ее первая производная.д 0(1) /Ю равна нулю. В моменты времени, когда...

Номер патента: 1188526

Опубликовано: 30.10.1985

Авторы: Висьтак, Готра, Петрович, Хромяк

МПК: G01B 11/06

Метки: вакууме, напыляемых, пленок, толщины

...ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для определения толщины слоявещества, получаемого методом вакуумного напыления. 5Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых толщин.,На чертеже изображено устройство,реализующее предлагаемый способ,Устройство содержит рабочую подложку 1, свидетель 2, испаритель 3,лазер 4 и фотоприемный блок 5. Свидетель 2 установлен .под углом кнаправлению движения частиц напыляемого вещества. Лазер 4 и фотоприемный блок 5 расположены по разные стороны свидетеля 2, жестко соединенымежду собой и установлены с...

Номер патента: 1384949

Опубликовано: 30.03.1988

Авторы: Максименко, Полещук

МПК: G01B 21/00

Метки: гетеродинное, напыляемых, слоев, стравливаемых, толщины

...на фазометр 12, который осуществляет измерение фазыизмерительного сигнала посредствомсравнения ее с фазой опорного сигнала. фаза опорного сигнала не меняется в процессе травления или напыления, а фаза измерительного сигнала пропорциональна глубине Ь 1 д=.Ь, -дд рельефа поверхности, следовательно, измерение фазы измерительного сигна 5 ла относительно фазы опорного сигнала позволяет получить информацию о глубине рельефа дди поверхности.Оптический излучатель 1 работает следующим образом. Когерентный свето" вой поток, выходящий из лазера 14, фокусируется первым объективом 15, подвергаясь разделению первым светоделительным поляризационным элементом 16 на два параллельных луча с взаимно ортогональнымн поляризациями на акустооптическом...

Номер патента: 1704920

Опубликовано: 15.01.1992

Автор: Пастощук

МПК: B22F 3/12, C23C 14/34

Метки: керамических, мишеней, напыляемых, пленок, преимущественно

...алюминия и нитрида апюии .1 я в раствор добавляют 53 1704920 А 1(5)5 В 22 Е 3/12, С 23 С 14/34 ДЛЯ ПОЛУ МНОК(57) Изобретение относится к пометаллургии, Целью изобрегенияобеспечение люл 1 инесцентностиемых пленок. Предлагаемый сключается в том, что порошки алнитрида алюминия смешивают (5 миния, остальное нитрид алюминчивающей порошки и легко испажидкости, содержащей хлоридзатем проводят сушку, прессовани спекание при 660-700 С в заГл 1 осфере. спирт, В полученный раствор засыпают порошки нитрида алюминия и алюминия. Образованную суспензию перемешивают, В результате жидкость смачивает, обволакивает поверхность частиц алюминия и нитрида алюминия, а растворенный хлорид марганца равномерно распределяется по обьему порошка. После сл 1...