G01B 11/06 — для измерения толщины

Номер патента: 1763884

Опубликовано: 23.09.1992

Авторы: Баранов, Крупицкий, Морозов, Родичев, Сергеенко

МПК: G01B 11/06

Метки: оптически, прозрачных, толщины, элементов

...точность измерения толщины тонких прозрачных пленок зависит от погрешности перемещения амплитудного растра и погрешности при наблюдении гашения дифракционного максимума и непревышает величины Х/40.Целью изобретения является повышение точности измерения и расширение класса контролируемых элементов по степени шероховатости.Для этого дифракционную структуру световой волны формируют с помощью аку.-, стооптического модулятора света, формируют интерференционную картину из нулевого и прошедшего элемент порядков дифракции светового излучения, преобразуют ее в электрический сигнал и измеряют изменение его фазы, а толщину ЬЛ элемента определяют по формуле" -гютРтгде АО - изменение, фазы одного из световых пучков на выходе прозрачного...

Номер патента: 1768961

Опубликовано: 15.10.1992

Авторы: Васильев, Хопов

МПК: G01B 11/06, G01B 11/08

Метки: стеклянной, стенки, толщины, трубки

...8 посредством электромеханического привода 9расстояние между пучками А и Б, а такжеразность их оптического пути изменяются.При смещении пластинки 4 по направлениюк осветительной системе на величину Ьпрасстояние между пучками ЛЭ и разнос ихоптического пути Л изменяются следующим образом:Л Э=2 Л 1 ип И,Л =4 Лп соз 20, т.е.ЛО-д- = 9 О.Если принять во внимание соотношение между углами О и а, получимзп 2 а2 (п 2 - зп а)Таким образом, закон изменения ЛиЛО во времени, при котором лучи б и а(фиг.1) сливаются, в момент, когда разностьих оптического пути становится равной нулю, выполняется При этом блок 7 измеренияконтраста интерференционных полос зафиксирует максимальную величину и выдаст импульс в блок 13 измерениявременных интервалов. В блоке 7...

Номер патента: 1779912

Опубликовано: 07.12.1992

Авторы: Домиников, Стринадко, Тимочко

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактный, воды, нефтяной, пленки, поверхности, толщины

...преломления нефти для зондирующего излучения,Если облучение проводить сферическойволной, а отраженное излучение рассматривать в плоскости изображения, то участкиповерхности с "зеркальными" площадкамибудут сосредоточены о замкнутой областиизображения вблизи ортогонального направления (при условии нормального облучения поверхности). По расположению этихучастков в иэобракении можно определитьэффективную область анализа Яо, Размерыучастка анализа зависят от высоты датчика,т.е, расстояния от датчика до поверхности,характера структуры взволнованной поверхности и бальности моря, Отраженное излучение от различных уцасткоо поверхностидает суммарный спектр ЦсО ). примернаяформа которого изображена на фиг.З (с уцетом опорного канала).На фиг.З...

Номер патента: 1789851

Опубликовано: 23.01.1993

Автор: Сажаев

МПК: G01B 11/06

Метки: объектов, плоских, толщины

...толщины плозондирующего пучка после оптических зеркальных систем, двумя приемными оптическими системами, установленными по одной по ходу отраженных пучков после фоформирующий пучок света, светоделитель, кусирующих систем, и сканирующим блоформирующий два зондирующих пучка, две ком, выполненным в виде сферического оптических зеркальных системы, установ- сегмента с радиальными прорезями, оптиленные по одной по ходу каждого эондиру- чески связанным с обеими приемными опющих пучка и предназначенные для освещения 40 тическими системами и установленным по контролируемогообъекта,фотоприемный блоки ходу отраженных пучков йа расстоянии от блок обработки сигналов, о т л и ч а ю щ е е- фокальной плоскости фокусирующих сисс я тем, что, с целью...

Номер патента: 1826697

Опубликовано: 10.06.1996

Автор: Комиссаров

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактного, объекта, толщины

...фотоприемника можно рассчитать расстояние от точки проекции центра оптической системы на пучок до поверхности объекта по направлению данного пучка,Расстояние до поверхности объекта по направлению опорного пучка 1, и расстояние по направлению дополнительного пучка 1, можно вычислить из известных геометрических соотношений, равно как расстояния 1 и 14 определяются по координатам изображения точек на фотоприемниках 9 и 11.На фиг, 2 видно, что определение толщины по опорному пучку как (1, - 12) справедливо только для случая, когда поверхность кожи 1 нормальна опорному пучку, В реальности имеется наклон поверхности под углом Р к нормали в плоскости верхнего фотоприемника 9 и под углом у к нормали в плоскости нижнего фотоприемника 12....

Номер патента: 1826698

Опубликовано: 10.06.1996

Автор: Комиссаров

МПК: G01B 11/06

Метки: бесконтактного, толщины

...а,Подобным образом расположен нижний линейный фогеприемник 11 с оптической системой 12, Расстояние между опорным пучком от зеркала 5 и дополнительным пучком от зеркала 4 равно д, Плоскость, в которой лежат направления 11, и фотоприемник 9, ориентирована параллельно направлению смещения материала 1 валками 2.Способ бесконтактного измерения толщины объектов реализуется следующим образом,Зондирующие пучки, направляемые зеркалами 5, 7, образуют световые пятна на поверхности объекта 1, С помощью оптических систем 10, 12 изображения этих пятен строятся на поверхностях линейных позиционно-чувствительных фотоприемников 9 и 11. По положению этих пятен на поверхности фотоприемника рассчитывают расстояние от точки проекции центра оптической...

Номер патента: 989938

Опубликовано: 10.05.2006

Авторы: Белавенцев, Данилов, Морозов, Покидышев, Поляков, Силицкий, Соколов

МПК: G01B 11/06

Метки: покрытия, толщины

Способ определения толщины покрытия, преимущественно, в процессе ионного азотирования путем измерения лучистой энергии в процессе получения покрытия, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса, определяют толщину покрытия путем измерения изменения интенсивности инфракрасного излучения детали при постоянной температуре насыщения.