Способ определения толщины пленок, напыляемых в вакууме
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
/уОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙгЪК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 40 Ленина полиим, Ленинског В, Вись Хромя етельство СССР В 11/06, 1971. ельство СССР В 11/06, 1972.(54)(57) СПОСОБ ОПРПЛЕНОК, НАПЫЛЯЕМЫХключающийся в том,производят напылени ЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫВ ВАКУУМЕ, зачто одновременное пленки на рабо гГ(21) 3527198/25-28 (22) 20.12.82 (46) 30.10.85. Бюл. (71) Львовский орде технический институ комсомола(72) З.Ю. Готра, М. И.В. Петрович и И.Я (53) 531,717.11(088 (56) Авторское свид 9 235339, кл. С 01Авторское свидет У 358613, кл. С 01 чую подложку и свидетель, пропускают через свидетель излучение, регист. рируют поток излучения, прошедшего свидетель, и определяют толщину пленки на рабочей подложке, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых толщин, в процессе напыления создают продольный градиент толщины слоя, наносимого на свидетель, сканируют пучком излучения по поверхности свидетеля в направлении градиента толщины слоя и определяют толщину пленки, нанесенной на рабочую подложку, по положению сканирующего пучка на 9 поверхности свидетеля, соответствующему расчетному значению потока излучения, прошедшего свидетель. С:1188526 Составитель М. СемчуковТехред М.Гергель Корректор Т.Колб Редактор Е. Копча Заказ 6732/40 Тираж 650 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для определения толщины слоявещества, получаемого методом вакуумного напыления. 5Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых толщин.,На чертеже изображено устройство,реализующее предлагаемый способ,Устройство содержит рабочую подложку 1, свидетель 2, испаритель 3,лазер 4 и фотоприемный блок 5. Свидетель 2 установлен .под углом кнаправлению движения частиц напыляемого вещества. Лазер 4 и фотоприемный блок 5 расположены по разные стороны свидетеля 2, жестко соединенымежду собой и установлены с возможностью перемещения параллельно поверхности свидетеля в направлении х, соответствующем проекции прямой, соединяющей центры испарителя и свидетеля, на поверхность последнего.Способ осуществляют следующим образом. 25Производят одновременное напыление слоя вещества на рабочую подложку 1 и свидетель 2. За счет наклонасвидетеля 2 к направлению движениячастиц напыляемого вещества слой вещества, напыленного на свидетель,приобретает градиент толщины в направлении х. Закон распределения толщины слоя по поверхности свидетеляи ее отношение к толщине слоя нарабочей подложке 1 однозначно определяются геометрическими параметрамисхемы и могут быть рассчитаны заранее. Также заранее известна и зависимость коэффициента пропусканиясвидетеля 2 от толщины напыпенногона нем слоя, Лазер 4 совместно сфотоприемным блоком 5 перемещаютв направлении х до достижения рассчитанного значения потока излучения,прошедшего свидетель 2, и определяют положение пучка лазера на свидетеле 2, по которому на основе известных зависимостей судят о толщине слояна рабочей подложке,Расширение диапазона контролируемых толщин обеспечивается за счетвозможности в широком диапазоне регулировать наклон и удаление свидетеля от испарителя, чем достигаетсяизменение соотношения толщин слоев,напыпенных на свидетеле и рабочейподложке, и перепад толщины слоя насвидетеле,
СмотретьЗаявка
3527198, 20.12.1982
ЛЬВОВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. ЛЕНИНСКОГО КОМСОМОЛА
ГОТРА ЗЕНОН ЮРЬЕВИЧ, ВИСЬТАК МАРИЯ ВЛАДИМИРОВНА, ПЕТРОВИЧ ИГОРЬ ВЛАДИМИРОВИЧ, ХРОМЯК ЙОСИП ЯКОВЛЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06
Метки: вакууме, напыляемых, пленок, толщины
Опубликовано: 30.10.1985
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1188526-sposob-opredeleniya-tolshhiny-plenok-napylyaemykh-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения толщины пленок, напыляемых в вакууме</a>
Способ измерения толщины слоев многослойных изделий
Номер патента: 1383195
Опубликовано: 23.03.1988
Автор: Лауринавичюс
МПК: G01N 27/90
Метки: многослойных, слоев, толщины
...слое изделия 2, и возбуждающим преобразователем 3 полем Ь , записывается как тензорное соотношениеЬ=4 Ь, (3)лгде 4, - тензор относительной магнитной проницаемости полупроводникового слоя;Ь - возбуждающее магнитное поле,усредненное по толщине Йслоя;Ь - поле в слое, усредненное потолщине Й. Это соотношение связывает возбуждающее и возбужденные поля через параметры полупроводникового материалаи параметры электромагнитной волны.Если приложено постоянное магнитноеполе, индукция В 1 К 1 Е, где К -,Й = ФМ РО (4)о оУстановлено, что компонентапропорциональна активному сопротивлению, вносимому в преобразователь 3полем стоячих геликонных волн в слое. 10Компонента р представляет собойряд резонансных максимумов, соответствующих...
Способ измерения толщины слоев
Номер патента: 807043
Опубликовано: 23.02.1981
Авторы: Брандорф, Кизилов, Урумов
МПК: G01B 7/06
...при одной и той же толщинеслоя.Кроме того, в известном способесуществует влияния токоподводов нарезультат измерений.Цель изобретения - повышение точности измерения путем исключения влияния конфигурации изделий. 10Указанная цель достигается за счеттого, что в качестве межслойных элементов используют неферромагнитныецилиндрические трубки, поочередно перемещают по каждой Иэ трубок шарикиз электропроводящего неферромагнитного материала и фиксируют экстремумсигнала преобразования.На чертеже изображено устройстводля реализации способа измерения20слоев многослойных изделий.Устройство содержит компрессор 1,соединяемый через пневматическийкоммутатор 2 с неферромагнитными цилиндрическими трубками 3-6, заложенными, между слоями 7-11 изделия 12....
Способ измерения толщины слоев
Номер патента: 1610239
Опубликовано: 30.11.1990
Авторы: Аграновский, Брандорф
МПК: G01B 7/06
...22 в состояние, при котором на его выходе появляется уровень лоГической единицы, Поэтому элемент 25 равнозначности выполняет функцию повторителя. В процессе дальнейшего движения эллипсоид 5, магнитный момент М которого направлен, например, слева направо, входит в участок первой трубки 2, размещенный в объекте 1 контроля, и по мере приближения к преобразователю 4 на его выходе появляетсянапряжение О 4, зависимость от времени которого изображена на фиг,2, Это напряжение поступает на вход блока 27 дифференцирования, На его выходе зависимость выходного сигнала О 27 имеет вид, показанный на фиг.2. Нули О 27 соответствуют экстремумам О 4, При этом положение регистрируемых экстремумов практически не изменяется при воздействии внешних полей за...
Способ измерения толщины слоев многослойных изделий
Номер патента: 619783
Опубликовано: 15.08.1978
Авторы: Брандорф, Ермаков, Кищилов, Урумов
МПК: G01B 7/06
Метки: многослойных, слоев, толщины
...изделия между его слоями размещают электропроводящие межслойные элементы, накладной индуктивный преобразователь располагают на одной из поверхностей изделия, и по величине сигнала этого преобразователя судят о измеряемых толщинах представлено устройстпредлагаемый способ.содержит источник 1а, соединенный черезлинейными проводннными между слоями 4,уктивный преобразова619753 формула изобретения Шк оставитель ехред А.Бог лохина врЕек-.дписноМиннсий ан Редактор Т,Заказ 4491/3ЦНИИПИ е я Тираж 873сударственного комитетапо делам изобретенийМосква, ЖРаушска Л овета открыов ССС 113 4 5 филиал ППП фПатент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 гл 4 я ( над проводником с током р ком мутатор ставят в положение а., измерга: вольтм тром 7 ЭДС преобразователя...
Способ измерения толщины слоев многослойных изделий
Номер патента: 777404
Опубликовано: 07.11.1980
Авторы: Брандорф, Кизилов, Мазинг, Урумов
МПК: G01B 7/06
Метки: многослойных, слоев, толщины
...измерения,Указанная цель достигается тезмежслойцые элементы выполняют тоЗО ми из ферромагнитного материала777404 Формула изобретения ч; оо Составитель А. МатвеевТекред И. Заболотнова Корректор И. Осиновская Редактор Г. Бельская Заказ 1470/1477 Изд.545 Тираж 810 ПодписноеНПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 Тип, Харьк. фил. пред. Патент рые поочередно намагничивают перед измерением и размагничивают по окончании его.На чертеже показано многослойное изделие, разрез, толщину слоев которого измеряют предлагаемым способом.Между слоями 1 многослойного изделия размещены точечные межслойные элементы 2 из ферромагнитного материала. Н.- кладной преобразователь 3 содержит пз...
Предыдущий патент: Способ определения положения края горячего проката
Следующий патент: Способ определения напряжений в детали из прозрачного полимерного материала
Случайный патент: Операционный микроскоп