Интерферометр для контроля изменения формы поверхности оптических элементов

(19) (11) 51) 4 С 01 В 11/06, 11/О ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ИСАНИЕ ИЗО ЕНИ ВИДЕТЕПЬСТВУ Н АВТОРСКО(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ ПОВЕКИХ ЭЛЕМЕНТОВ(57) Изобретение отнтельной технике и м Я КОН ХНОСТ ЛЯ ИЧЕ ситсяжет бы к измерии стно ти, длрении н еопт ны ат ия из ни о 3870494/24 - 219.03,8515.01.87. БюлП.И,Лебедев,узнецов, А .В.Гогин531. 7 5. (ОЗахар ьев скийОборонгизндсберг Г.С.физики, т,3. пользовано, в чарывного контроля изких параметров полив процессе изготовл регистрирующих сред, Цель изобретения - возможность контроля изменения Формы и одновременнотолщиныполимерных оптических элементов сотражающими поверхностями в процессе насыщения их газом, Фотоэкспонирования, газоотделения после фотоэкспонирования. Пучок лучей от монохроматического источника 1 светапреобразуется коллиматором 2 в параллельный пучок, делится на рабочийи эталонный пучки светоделителем 3,рабочий пучок отражается от отражающих поверхностей элементов 4, 5,зеркала б, а эталонный - от зеркал7, 8, 9 . Далее на светоделителе 3они совмещаются, интерферируют парыпучков, отраженных от оптически сопряженных зеркальных пар 6-9, 5-8,4-7. Интерференционные картины рассматриваются с помощью наблюдательной системы 10. 1 ил.1283521Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для непрерывного контроля изменений оптических параметров полимерных материалов в 5процессе изготовления из них фоторегистрирующих сред.Цель изобретения - возможностьконтроля изменения формы и одновременно толщины полимерных оптических 10элементов с отражающими поверхностями в процессе насыщения их газом,фотоэкспонирования, газоотделенияпосле Фотоэкспонирования,На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого интерферометра.Интерферометр содержит последовательно установленные монохроматический источник 1 света, коллиматор2 и светоделитель 3, делящий световой поток на две ветви - рабочую иэталонную, два полимерных оптическихэлемента 4 и 5 с зеркальными поверхностями и плоское зеркало 6, установленные в рабочей ветви, два образцовых зеркала 7 и 8 и плоское зеркало9, установленные в эталонной ветви,наблюдательную систему 10, Зеркало6 выполнено с возможностью размещения на нем двух полимерных элементов4 и 5. Зеркала 7 и 8 оптически сопряжены сэлементами 4 и 5 черезсветоделитель 3.1 35Интерферометр работает следующимобразом.Пучок лучей от монохроматическогоисточника 1 счета преобразуется коллиматором 2 в параллельный пучок, 40делится на рабочий и эталонный пучки светоделителем 3, рабочий пучокотражается от отражающих поверхностей элементов 4 и 5, зеркала 6, аэталонный - от зеркал 7-9. Далее насветоделителе 3 они совмещаются,интерферируют пары пучков, отраженных от оптически сопряженных зеркальных пар, образованных зеркалами 6 и9, элементом 5 и зеркалом 8, элементом 4 и зеркалом 7. Интерференционные картины рассматриваются с помощью наблюдательной системы 10.Перед началом работы необходимопроизвести следующее: к оптическойповерхности зеркала 6 в центральнойего зоне приклеиваются элементы 4и 5 в виде двух полукругов плоскопараллельной пластинки полимерного материала, изготавливаются они из одной пластинки путем ее разрезания на две части, а приклеиваются таким образом, чтобы получился круг с зазором примерно 1 мм между половинками. Диаметр разрезаемого полимерного круга равен примерно половине диаметра зеркала 6. Далее зеркала 9-7, оптически сопряженные соответственно с зеркалом 6 и элементами 5, 4 и имеющие независимые подвижки, юстируются таким образом, чтобы на выходе наблюдательной системы 1 О получилось три интерференционные картины с нулевым цветом. После чего элементы 4 и 5 насыщают каким-либо газом. После завершения насыщения с помощью специального устройства (не показан) на элемент 5 производится фоторегистрация какой-либо информации путем фотоэкспонирования. В процессе этих операций происходит изменение формы и размеров элементов 4 и 50 в результате чего происходит относительное смещение оптических поверхностей элемента 5 и зеркала 6, элемента 4 и зеркала 6, элементов 5 и 4.Так как зеркало б сделано из материала, который не насыщается каким- либо газом, то его поверхность останется неизменной. После завершения насыщения элементов 4 и 5 газ начнет выходить из них.По тому, как будет меняться интерференционная картина от поверхности элемента 4 относительно интерференционной картины от поверхности зеркала 6, можно определить, как изменяется толщина и Форма поверхности элемента 4 в процессе насыщения.По тому, как будет меняться интерференционная картина от поверхности элемента 5 относительно интерференционной картины от поверхности зеркала 6, можно определить как меняется толщина и форма поверхности элемента 5 в процессе насыщения его каким-либо газом и в процессе экспонирования, а также через некоторое время после экспонирования . По тому, как будет изменяться интерференционная картина от поверхности элемента 5 относительно интерФеренционной картины от поверхности элемента 4, можно определить как изменяется толщина и форма поверхности элементов 4 и 5 в процессе1283521 Состаж 1 тель Л.ЛобзоваРедактор Н.Слободяник Техред В.Кадар, Корректор С.Черни Заказ 7421/35 Тираж 677ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская иаб д. Подписное 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 фотоэкспонирования . В данном случае влияние выхода газа из элемента 5 не помешает определить абсолютное влияние фотоэкспонирования на толщину и форму поверхности элемента 5,Формула из обр ет ения Интерферометр для контроля изменения формы поверхности оптических элементов, содержащий последовательно установленные источник света, коллиматор и светоделитель, делящий световой поток на две ветки - рабочую и эталонную, плоское зеркало в эталонной ветви, плоское зеркало в рабочей ветви и наблюдательную систему, отличающийсятем, что, с целью возможности контроля изменения формы и одновременнотолщины полимерных оптических элементов с отражающими поверхностямив процессе насыщения их газом, фотоэкспонирования, газоотделения послефотоэкспонирования, он снабжен двумя образцовыми зеркалами, установ 10 ленными перед плоским зеркалом эталонной ветви в плоскости, параллельной его отражающей поверхности,плоское зеркало рабочей ветви выполнено с возможностью размещения на15 нем двух полимерных элементов, оптически сопряженных с образцовыми зеркалами через светоделитель,