H01J 37/285 — эмиссионные микроскопы, например автоэлектронные микроскопы

Номер патента: 73547

Опубликовано: 01.01.1948

Автор: Басс

МПК: H01J 37/285

Метки: обуви, подошвы, приклеивания, резиновой

...легкой промыппенногти СССР аа М 4937/356372января 1949 года Опубликовано 31 Предлагаемый способ заключается в том, что склеиваемая поверхность резиновой подошвы подвергается шершеванию абразивным материалом, а затем обраоатывается перекисью водорода, например, 30"о-ной концентрации, в течение 1 - 1,5 час, После такой обработки подошве дают подсохнуть и затем ее приклеивают к затяжной кромке верха обуви известным способом при помощи обычно применяемых клеев: аго, казеинового, казеиново-известкового и т. п. Предмет изобретения Способ приклеивания резиновой подошвы обуви с применением клеев, имеющих полярный харак, ер, отличающ,ийся тем, что псдлежащая приклеиванию поверхность подошвы после шершевания обрабатывается перекисью...

Номер патента: 73758

Опубликовано: 01.01.1948

Автор: Верцнер

МПК: H01J 37/285

Метки: микроскоп, электронный

...прс)изводит через лк)к с).19( Оссбецтс.с ть нлстс яцтсГс цзс)бр- сеци 51 зак.1111 л 1053 53 котрукп)1 и раздвижной диафрагмы, позволяо. шей облегчить к)стцрсц)ку микро. скопа путем АЙ.,(цепи накчона оси электронн(тго т уч кл О)осительцо оси хт)Крос 0313. ) Лк 351 кцс 1 р кцця цозволяег тлкж( 3)змец 51 ть и щиро. КИХ ПРЕ тс 1 ЛХ ЛЦ(1) Г) П) ; ЦЕГЦТСЛЬ (1 ой (",Т( МЬ Гуцтнс)(11, 3 обрстенця цс 5)сц 5 гс 5 :ц.ртежом. 1 л фц.Изображен обиц,ц иц,т э, ( (рсНц(ц о микроскопа; На фцт " р;3.3 дцц)(яцт)5 д 3 афраГХта: ца ф)г. 3 хмл кс)плечорной лцн.3 Ь)Ось(тите,ьц(15 сисе 1 а хтцкроскс) па состои Г .1.3 э,т(ктрс)ной цх шкци КОцдецсс)1)цои 1 цц;)ы 2. Электроц. ная пушка выполнена тлк, что нить атод(3 прц цомосцц фарфсрп:.301 ру- К 051 ТКИ...

Номер патента: 276269

Опубликовано: 01.01.1970

Автор: Черепин

МПК: H01J 37/285

Метки: ионно-эмиссионный, микроскопмикроанализатор

...размещены сиюетрично Огносительно оптической оси микроскопа, в пределахполя изображения, а число их равно числуканалов микроскопа. НепосредствсП за диафрагмой 5 установлена электростатическаялинза б, первый электрод которой имеет потенциал диафрагмы 5, а второй заземлен Затормозящей линзой б установлены монопольные масс-анализаторы, состоящие пз угловых электродов 7 и круглых электродов 8.Угловые электроды заземлены, а к круглым 45подведены постоянные и радиочастотные напряжения от генераторов 9. Каждый массанализатор соответствует отверстию в диафр агае 5. За масс-анализаторами установлены коллекторы 10 ионов. Для усиления сигнала коллектора 10 используются усилители11, а для наблюдения изображения - регистрирующие...

Номер патента: 393780

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Афанасьев, Левандовскнй, Михайлов, Солошенко

МПК: H01J 37/285

Метки: 393780

...Электроды 7 вомикроскопа находятельным потенциалделены от внутреазотом изолятороь30 лата. Изобретение относится к области автоионной микроскопии.Известные в практике автоионной микроскопии способы смены образцов требуют либо полной разгерметизации вакуумной камеры прибора, либо сложного устройства шлюза для переноса образца в высоковакуумную камеру, исключающего изменение температуры образца в процессе работы микроскопа.Целью изобретения является осуществление переключения образца без герметизации и отогрева до комнатной температуры вакуумной камеры микроскопа.Поставленная цель достигается тем, что устройство для смены образцов в автоионном микроскопе выполнено в виде маятникового подвеса с грузом, в котором закреплены держатели...

Номер патента: 410488

Опубликовано: 05.01.1974

МПК: H01J 37/285

Метки: 410488

...На чертеже представлена схема устройства.Микроскоп содержит острие 1, экранирующий электрод 2, катушку 3 с замкнутым магнитопроводом, магнитный экран 4, проводящее покрытие 5 с люминесцирующим экраном, 20 вакуумную камеру 6.Электромагнит создает поперечное магнитное поле, разделяющее несущие автоэмиссионные изображения, ионный и электронный пучки, генерируемые в результате попеременной 25 подачи на иглу положительного напряжения,соответствующего напряженности автоионизации рабочего газа, и П-образных импульсов отрицательной полярности (длительность импульсов 10 вв : 10- сек при частоте повторения З 0 )25 гц). Однако, как показали предваритель410488 Составитель Ю. ГромовТсхред Т. Ускова Корректор А. Степанов Редактор Б. Федото...

Номер патента: 750611

Опубликовано: 23.07.1980

Авторы: Дранова, Ксенофонтов, Кулько, Михайловский

МПК: H01J 37/285

Метки: автоионный, микроскоп

...Расстояние с 1 между острийным электродом и люминесцентным экраном выоирается так, что( к уГтоткРо бгде К - постоянная гольцмана,Т о и Тк - температуры стенок вакуумнойи рабочей камер микроскопа,Р о- давление газа в вакуумной камере,3 - сечение резонансной перезарядки атомов изобража)огцего газа.В предлагаемом автоионном микроскопе повышение яркости изображения достигается за счет того, что при размещении рабочей камеры в резервуар с хладагентом, а резервуара с хладагентом в вакуумной камере, откачиваемой криогенным насосом, и обеспечении при этом сообщения между рабочей и вакуумной камерами, равновесная плотность изображающего газа, напускаемого в вакуумную камеру до стандартного давления 11 в ; 2) 10тор (это давление, при котором...

Номер патента: 764007

Опубликовано: 15.09.1980

Авторы: Борисов, Шешин, Шомин

МПК: H01J 37/285

Метки: автоионного, автоэлектронного, кассета, микроскопа, образцов, поворотная

...контакта держателя 4 образцов и теплопровода 5 они приворачиваются к основанию 14 кассеты и стягиваются между собой шестью винтами 6. Для электрической изоляции поверх держателей образцов положена шайба 7 иэ керамики. От держателей образцов винты,изо лированы вакуумными промежутками.Электрические гибкие провода в изоляции изкерамических трубок от электрических вводов, выполненных в стенке камеры или во фланце, присоединя ются к специальным контактам 11, приваренным к держателям 4.Основание 14 кассеты может свобоу- но вращаться в подшипнике вращения 12 через обойму 13, закрепленную на скобе 10, которая связана с вводоя вращения, Ось вращения (0-0) скобы 10 проходит через вершину образца 1, Для фиксации образца в рабочем положении...

Номер патента: 858146

Опубликовано: 23.08.1981

Автор: Зайцев

МПК: H01J 37/285

Метки: автоэлектронного, анод, микроскопа

...и по радиусу на втором диске.На фиг. 1 изображено осевое сечение узна катод-анод, на фиг. 2 схематически показана форма прорезей в дискахПо осн автоэлектронного мик последовательно расположены като3 8581 зец ) 1, анод, состоящий из двух дисков 2 и 3, первый из которых имеет люминофорное покрытие, и коллектор 4, собирающий электронный пучок 5. На первом диске 2 (фиг. 2) выполнена прорезь 6 от центра к периферии по логарифмической спирали, а иа втором диске 3, соответствен но, прсрезь 7 по радиусу писка. Сквозное зондовое отверстие 8 образуется на пересечении прорезей в дисках.оУстройство работает следующим образом.Анализируемый электронный пучок 5 от катода 1 проходит через зондовое от верстие 8 и попадает на коллектор 4 На35 экране,...

Номер патента: 852101

Опубликовано: 07.11.1982

Авторы: Бобков, Суворов

МПК: H01J 37/285

Метки: автоионном, исследования, микроскопе, образцов

...автоионизации сталкивающихся с поверхностью образца атомов изображающего 35газа. Однако указанная пленка располагается на поверхности образца случайным образцом, зависяцим одновременно от многих факторов, и в эксперименте не контролируется. Использованне десорбирующих импульсов удаляющих содействуюцие автоионизации адсорбированные атомы изображающегогаза, обычно не позволяет изменитьхарактер последуюцей адсорбции, т,е.улучшить качество микроскопическогоизображения.Это особенно относится к материалам с низкой и средней температурами.плавления (относительно меньшимиэнергиями связи атомов в кристаллической решетке) . Если для тугоплавкихметаллов (таких, например, как вольфрам, молибден, рений) указанное явление обусловливает простое...

Номер патента: 1029261

Опубликовано: 15.07.1983

Автор: Суворов

МПК: H01J 37/285

Метки: автоионномикроскопического, анализа, проводящих, структуры

...включает образец 1, кольцевой зонд 2, источник 3 ускоряющего напряжения, микроамперметр М, стеклянный экран 5,прозрачное проводящеепокрытие 6, люминофор 7, траектории 8электронов или ионов, источник 9 питания зонда, отображаемый микровыступ 10, держатель 11, устройство 12 перемещения образца (сканирования), систему 13 охлаждения образца. Способ. реализуется следующим обРазом.: Обычный Режим автоионномикроскопического анализа предполагает подачу на игольчатый образец - острие положительного потенциала в несколько кВ, в то время как расположенный напротив образца Флуоресцмрующий экран (точнее - прозрачное проводящее покрытие под люминофором) находится под нулевым потенциалом. В результате у поверхности образца создается неоднородное...

Номер патента: 1048534

Опубликовано: 15.10.1983

Авторы: Бобков, Касаткин, Суворов

МПК: H01J 37/285

Метки: автоионный, микроскоп

...15. Шайба 14 имеет упор 16, контактирующий с рычагом 8, и приливы с отверстиями, в которых проходят направляющие 17. Система охлаждения образца содержит криогенный сосуд 18, связанный в тепловом отношении с керамическим держателем 2 образца 1,Устройство работает следующим образом.В основу конструктивных особенностей автоионного микроскопа доложена идея реализации способа иссле-. дования образцов, предполагающая создание в области образца кратковременного газового разряда с одновременным; импульсным удалением (десорбцией н испарением) полем плен. ки изображающего газа и части поверх ностных атомов исследуемого материала. Достигается это периодическим введением в пространство между образцом 1 и микроканальной пластиной 12, служащей...

Номер патента: 1047330

Опубликовано: 23.04.1984

Авторы: Касаткин, Суворов

МПК: H01J 37/285

Метки: автоэлектронный, микроскоп-анализатор

...12 через асбестовые прокладки 13 связана с держателем 14 вакуумной камеры 6. Анод 15расположен напротив образца 1 (16траектории автоэлектронов), а междуними может быть установлен источник17 напыляемого на поверхность образца вещества. Часть зоны действияразряда закрывает защитный экран 18.Анод выполнен с зондовым отверстием19, за которым установлен коллекторэлектронов в виде вторично-электронного умножителя 20. На валу 21 установлен свободно вращающийся диск 22с флуоресцентным покрытием 23, образующим экран-индикатор,Экран-индикатор снабжен меткой24, являющейся указателем зондовогоотверстия 9 анода 15. Анод и коллектор электронов установлены по оси 25камеры 6, а ось вала 21 смещена отоси 25 на величину равную величинесмещения осей...

Номер патента: 1107192

Опубликовано: 07.08.1984

Авторы: Воробьев, Дробязин, Солдатенко

МПК: H01J 37/285

Метки: ионном, исследования, микроскопе, полевом, сплавов

...уменьшение десорбируемого потока, а следовательно, и яркости изображения, Этот эффект особенносущественен для легкоокисляющихсяматериалов, например, сплавов на основе алюминия, поверхность которыхсодержит трудноудалимую окисную пленку. Наличие окисных пленок, имеющихпрочное сцепление с материалом острия,ухудшает качество изображения и непозволяет выявить мелкодисперсные литийсодержащие фазы, в которых литийнаходится в химически связанном состоянии. Важным является также появ-,. ление усталости исследуемого острияпод действием периодически повторяющейся механической нагрузки, обусловленной импульсным полем,По указанным причинам известныйспособ оказывается непригодным дляисследования нетугоплавких материалов,например сплавов на основе...

Номер патента: 852102

Опубликовано: 23.02.1985

Автор: Суворов

МПК: H01J 37/285

Метки: автоинномикроскопического, анализа, дефектов, металлах, точечных

...в двумерном случае связями атомов в самой верхней плоскости. Связь атомов характеризуется их атомным окружением, а именно числом ближайшим соседних атомов (соседей) в , И, числом соседей, вторых по удаленности - Н 2 и т.п., при этом сила связимежду атомами быстро убывает с увеличением между ними расстояния (для приближения оценок можно положить это убывание пропорциональным шестой степени расстояния),Для конфигурации, изображенной на фиг. 1, наименьшей энергией связи обладают атомы, обозначенные индексами А, иэ них слабее всего связаны атомы А- тип Связи 2,1.1,1. (числа Б, И, Б 5, И 4, И), немного лучше - атомы А"2 (2. 1.1.2,1) и т.д.852102 Энергия связи атома определяет неко-торое среднее время его устойчивого присутсвия на поверхности...

Номер патента: 1160880

Опубликовано: 15.12.1985

Авторы: Бобков, Лазарев, Суворов

МПК: H01J 37/285

Метки: автоионномикроскопического, имплантированных, ионов, металлы, пробегов, профилей

...импульсов; заштрихованные облаети соответствуют погрешностямопределения 11 и 7 с учетом тогофакта, что напряженность поля наилучшего отображения поверхности образца имеет неопределенность 15 Е.118 фцг. 2 приведен пример зависимости числа 11 Г, испаренных полем иудаленных за пределы диафрагмы заодин импульс атомов образца от числа 11 И импульсов для разных размеровХ зондового отверстия (значения .определяют число атомов грани, одновременно проходящих сквозь зондовоеотверстие и могут составлять от 3до 35). Зависимость получена из серии автоионных изображений грани(011) вольфрамового образца при- 8,0 кБ и 117 = 1,45 кВ. Сущность изобретения заключается и следующем,1 чл измерения профилей пробегов цмплантированных в металл ионов какого-либо...

Номер патента: 1186021

Опубликовано: 23.11.1986

Авторы: Квинтрадзе, Суворов

МПК: H01J 37/285

Метки: автоионный, микроскоп

...11. и имеет ножку 12 для охлаждающей жидкости ивводы 13 для крепления образца. Колба и фланцы закреплены на штативе14. Через канал 15 колба 7 соединена со средствами откачки. Кожух8 через зубчатые колеса 16 и 17 соединен с приводом 18 (фиг. 2). Позицией 19 отмечено отверстие зонда,выполненное в диске на расстоянииот его оси, равном радиусу обоймыобъектодержателя 1,Образец 2 - плоская полоска металлической Фольги размером 10 х 80 мм зажимается в обойме объектодержателя 1 на пяти вводах 13, принимая форму цилиндра с вырезом (см.фиг.2). Приводом 18 с помощью зубчатых колес 16, 17, магнитов 9 и толкателя86021 10 Фольга, используемая для анализа в предлагаемой конструкции атоионного микроскопа, может быть использована для изготовления...

Номер патента: 1520609

Опубликовано: 07.11.1989

Авторы: Войтенко, Голубок, Давыдов, Тимофеев, Типисев

МПК: H01J 37/285

Метки: микроскоп, туннельный

...кг;8 - ускорение свободного падения, м/сВнутренний пьезоэлемент 1 имеет разрезной электрод для управления сканированием острия по трем координатам, а к электродам внешнего пьезоэлемента 2 подключен выход источника 7 пилообразного напряжения с несимметричными фронтами импульсов.Микроскоп работает следующим образом.При подаче пилообразного напряжения от источника 7 на электроды внешнего пьезоэлемента 2 он изменяет свою длину медленно при пологом фронте импульса и быстро при крутом фронте импульса. При медленном изменении длины корпус 5 не сдвигается отно сительно основания 4. При резком изменении длины сила инерции превышает силу трения, корпус 5 проскальзывает относительно основания Послетого, как острие 3, закрепленноена узле...

Номер патента: 1405623

Опубликовано: 30.08.1990

Авторы: Долин, Суворов, Трушин

МПК: H01J 37/285

Метки: атомов, межузельных, металлах, параметров, энергетических

...же для облучения образцов собственных ионов . металла обеспечивает необходимое со 234хранение состава, т.е, не вносит новых примесей,После облучения образца его начинают нагревать. Характер подъема температуры обусловлен тем фактом, что начиная приблизительно с 100 К теряется атомарное разрешение автоионного микроскопа. Поэтому нагрев с постоянной скоростью 1 необходимо периодически прерывать с тем, чтобы сфотографировать автоионное изображение при температуре Тп оптимальной для получения атомарного разрешения. Скорость спада и подъема (воэвраще-( ния):температурыдолжна быть .существенно вьппе (более чем на порядок) р. Нагрев образцов осуществляют путем пропускания через дужку с острием электрического тока, характер его изменения...

Номер патента: 1597961

Опубликовано: 07.10.1990

Автор: Свищ

МПК: H01J 37/285

Метки: микроскоп, туннельный

...Оба УТТ 21 и 26 включают предварительный усилитель, логарифмический усилитель, интегратор и выходную схему. Микроскоп работает следующим образом.С помощью узлов 1 О и 11 иглы 6 и 7 устанавливают в такое положение, при котором в промежутке между иглами и образцами под действием напряжения источника 22 протекают равные туннельные токи. При этом на выходах УТТ 21 и 26 устанавливается напряжение, равное нулю, В обе туннельные ячейки помещают идентичные образцы, Для исследования поверхности образца 5 с задающего генератора 24 подаются сигналы развертки сканирования иглы 7 по двум взаимно перпендикулярным направлениям через первый усилитель 17, фильтр 18, пьезоэлектрические системы 8 и 9 и одновременно на регистратор 25, например ос...

Номер патента: 1705915

Опубликовано: 15.01.1992

Авторы: Гастев, Голубок, Грохольский, Давыдов, Тимофеев, Типисев

МПК: H01J 37/285

Метки: микроскоп, сканирующий, туннельный

...молеку;1 ярН 031 ЭЬ 1 КТРГ Н 1 КИ.Цель ц.обретия - 1101311.егце на- ДЕЗЛЗОЬ Тц Р,.ОТ 1:33 ГЕТ УМЕНЬИС 11 ЦЯ 13 ЧЦЧ 1 Л. 1 ЕРЛ:10:1 РНОСТ 5; ПЕР, 350И 1 . ИОД 3115,:11,х :3 ст. ик 5 оскопл.Ва т 5 р-Пр; о ГЛ 1 Л СХЕМ 1.РУ; Г, 1, ы 33,5 Р,НРЭко 1,1":111 .ОРл,15,015 1 с 1 лЙчцм ост,. но рас 13 олояен 11,Л пьезомаипулятор сострием, закреппенньп 1 на основании,и устройстпо подвода оразца, ьсдер 5 ящее дер 5 татель образа, установлен 11 ыйи удержцвя емьй при.тимямР 1 в на.Рав яющей, Под дерРхяте 31 ем на ос 110 пл 131 ц размещен ПОДВР 1 кп;в 1 упорньй 1 элем,.нт, ягпереме 1;ения которого не превосходитШЯ 1 Я ПЕРЕ 1 ЕГЕН 11 Я ДЕРлат(ЛЯ.5 ГОР 1 ЬПэлемет мОхе 1 б 1 1 ть Вьн 0 Лен 5 1 еа 11 римерВ 13 иде к 13 нл а Исремееис дергл 3 елавнерх...

Номер патента: 1709429

Опубликовано: 30.01.1992

Авторы: Герасимов, Косяков, Соболев

МПК: H01J 37/285

Метки: исследования, поверхности, проводящей, топографии

...поверхности, можно выбратьнужный участок исследуемой поверхности иперейти на второй режим работы устройства - режим точного регулирования,В этом режиме первый электрод 5 с помощью коммутатора 8 соединяется с первым выходом блока 9 управления, второйэлектрод б соединяется с выходом блока 13компенсации, а вход усилителя 12 напряжения соединяется с выходом встроенногоЦАП блока 10 регистрации.В момент перехода на второй режим свыхода встроенного ЦАП на вход усилителя12 направления поступает сигнал, под действием которого последний формирует максимальное управляющее напряжение натретьем электроде 7, вследствие чего пьезоэлемент координаты Е максимально сжимается, а острие 2 отодвигается от образца 3 ивыходит из зоны регулирования...

Номер патента: 1721662

Опубликовано: 23.03.1992

Авторы: Голубок, Давыдов, Тимофеев, Типисев

МПК: H01J 37/285

Метки: микроскоп, туннельный

...импульсов, стержень 5, зафиксированный силой трения с помощью упругого элемента 6 в направляющей втулке 7, При этом внешний пьезоэлемент 2 закреплен на переходной детали 8, установленной на основании 9, на котором закреплены держатель 10 с образцом 11.Устройство работает следующим образом.Внутренний пьезоэлемент 1 в начальном положении находится на расстоянии от держателя 0,110 мм, что позволяет производить как смену образца, так и его исследование другими методами. При подаче на электроды внешнего пьезоэлемента 2 импульсов от источника 4 в соответствии с фронтом импульса происходит медленное или быстрое изменение его длины. Когда значение сиды инерции превышает силу1721662 Формула изобретения Составитель В,Гаврюшинедактор А,Зробок...

Номер патента: 1797149

Опубликовано: 23.02.1993

Авторы: Володин, Григоров, Смольянинов, Хайкин, Эдельман

МПК: H01J 37/285

Метки: микроскоп, сканирующий, туннельный

...тем, что, компенсируя силу тяжести деталей 15, 16, 17 и 18 создаются условия для шагового перемещения измерительной иглы вертикально вверх.Кроме того, токопроводящее покрытие внешней цилиндрической поверхности пье 10 20 25 30 35 40 зокерамической трубки 9 А выполнено в виде четырех изолированных секторов е, 5, 9 ий, поскольку в этом случае обеспечиваетсянаиболее оптимальное перемещение от деформации пьезотрубки по трем взаимноперпендикулярным осям,Электрическая блок-схема СТМ (фиг.б)СОСТОИТ ИЗ;источника постоянного напряжения,(ИПН), создаваемого в цепи между остриемизмерительной иглы и поверхностью образца;предварительного усилителя (ПУ) туннельного тока;5 блока обратной связи (БОС) по туннельному току;генератора пилообразного...

Номер патента: 1833046

Опубликовано: 20.10.1996

Авторы: Кислов, Панов

МПК: H01J 37/285

Метки: микроскоп, сканирующий, туннельный

Сканирующий туннельный микроскоп, содержащий игольчатый эмиттер с пьезоприводом сканирования, позиционер образца и аналоговую систему управления, включающую усилитель туннельного тока, выход которого соединен с входом системы обратной связи, и усилители управляющих сигналов пьезопривода сканирования, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет расширения диапазона временных характеристик при исследовании динамических процессов, он снабжен по крайней мере одним дополнительным игольчатым эмиттером с пьезоприводом сканирования, а также дополнительной аналоговой системой управления и блоком сравнения, входы которого соединены с выходами системы обратной связи, а выходы с входами усилителей управляющих сигналов...