Автоионный микроскоп

, 1186021 А 19 7/285 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУУ 43В.И.Квинтрадзе8.8)ечельницкий Г.Гп. - Приборы иа, 1970, В 3,Бюл в и 3(0 крос ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(56) Гарбер РАвтоионный митехника эксперимс. 237-239.(54)(57) АЗТОИОННЫЙ МИКРОСКОП, содержащий внутри вакуумной камерыобъектодержатель, подвижный металлический зонд с отверстием и флуоресцирующий экран, а также систему напуска изображающего газа, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения производительности и информативности анализа за счет испол зования образцов в виде фольги, объектодержатель выполнен в виде ци линдрической обоймы, а зонд выполнен в виде соосного с обоймой вращающегося диска, при этом отверстие зонда удалено от оси диска на расстояние, равное радиусу обоймы.11Изобретение относится к областиавтоионной микроскопии и предназначено для анализа атомной структурыметаллических образцов.Целью изобретения является увеличение производительности и информативности анализа за счет использования образцов в виде Фольги и получения возможности параллельного анализа микроструктуры одних и тех же образцов в автоионном и просвечивающем электронном микроскопах.На Фиг. 1 показан продольный разрез микроскопа; на Фиг. 2 - его поперечный разрез в области объектодержателя; на фиг. 3 - поперечныйразрез механизма перемещения зонда,Объектодержатель 1 выполнен в виде цилиндрической обоймы, на боковойповерхности которой закреплен образец 2 в виде фольги, Соосно с объектодержателем установлен подвижныйметаллический зонд 3, имеющйй ось 4и выполненный в виде вращающегосядиска. Параллельно плоскости зонда3 расположен флуоресцирующий экран5, имеющий прозрачное проводящее покрытие 6. Объектодержатель, зонд иэкран размещены внутри вакуумированной, например стеклянной, колбы 7.Вокруг колбы размещен вращающийсякожух 8 с магнитами 9, которые взаимодействуют с толкателем 10, соединенным с диском зонда 3. Колба 7микроскопа установлена в корпусе,снабженном Фланпами 11. и имеет ножку 12 для охлаждающей жидкости ивводы 13 для крепления образца. Колба и фланцы закреплены на штативе14. Через канал 15 колба 7 соединена со средствами откачки. Кожух8 через зубчатые колеса 16 и 17 соединен с приводом 18 (фиг. 2). Позицией 19 отмечено отверстие зонда,выполненное в диске на расстоянииот его оси, равном радиусу обоймыобъектодержателя 1,Образец 2 - плоская полоска металлической Фольги размером 10 х 80 мм зажимается в обойме объектодержателя 1 на пяти вводах 13, принимая форму цилиндра с вырезом (см.фиг.2). Приводом 18 с помощью зубчатых колес 16, 17, магнитов 9 и толкателя86021 10 Фольга, используемая для анализа в предлагаемой конструкции атоионного микроскопа, может быть использована для изготовления стандартных образцов просвечивающего электронного микроскопа, т.е. обеспечивается возможность параллельного анализа одних и тех же образцов материалов в микроскопах двух типов, Тем самым существенно расширяется инфОрмация о дефектной структуре металлических материалов,45 50 55 15 20 25 30 ъ 40 10 осуществляют вращение металлического зонда 3 с зондовым отверстием19, При анализе исходное положениезонда соответствует расположениюзондового отверстия напротив одногоиз вертикальных краев образца. После напуска в объем колбы 7 изображающего газа на образец подают положительный потенциал Ч, = 3 кВ - спомощью одного из вводов 13 (прозрачное проводящее покрытие 6 и зонд3 заземлены), Затем зонд 3 медленно вращают, сканируя тем самым зондовым отверстием кромку образца, и непрерывно визуально контролируют флуоресцирующий экран микроскопа, измеряя величину тока 1 ионов на него. В случае появления тока выше некоторого минимального предела 1 выбор которого зависит от значения Ч поо тенциала образца и давления Р изобо ражающего газа, положение зондового отверстия, так же как и величина тока, фиксируются, а вращение зонда продолжают до перехода зондового отверстия в противоположное крайнее относительно вертикальных кромок образца положение. Затем зондовое отверстие устанавливают в положение, соответствующее минимальному значению 1 (1) 1, ) и производят обычный автоионномикроскопический анализ обнаруженного микровыступа. Далее анализируют структуру микровыступа с 1) 1 и т,д. Следующий этап - повторение описанного цикла с той только разницей, что потенциал образца Чустанавливается ужеболее высоким ЧоЧ+ где шаг 6 Ч удобно выбирать на уровне 2-:3 кВ, учитываявозможное затупление микровыступов в процессе анализа вследствие испарения полем.1186021 Редактор Н.Катама хред И.Попо орректор В.Синицк Заказ 6497/3 е д. 4/ шс Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проек Тираж 643 ВНИИПИ Государственн по делам изобрет 13035, Москва, Ж, РПодпиго комитета ССний и открытий