Патенты с меткой «микроскопмикроанализатор»

Номер патента: 276269

Опубликовано: 01.01.1970

Автор: Черепин

МПК: H01J 37/285

Метки: ионно-эмиссионный, микроскопмикроанализатор

...размещены сиюетрично Огносительно оптической оси микроскопа, в пределахполя изображения, а число их равно числуканалов микроскопа. НепосредствсП за диафрагмой 5 установлена электростатическаялинза б, первый электрод которой имеет потенциал диафрагмы 5, а второй заземлен Затормозящей линзой б установлены монопольные масс-анализаторы, состоящие пз угловых электродов 7 и круглых электродов 8.Угловые электроды заземлены, а к круглым 45подведены постоянные и радиочастотные напряжения от генераторов 9. Каждый массанализатор соответствует отверстию в диафр агае 5. За масс-анализаторами установлены коллекторы 10 ионов. Для усиления сигнала коллектора 10 используются усилители11, а для наблюдения изображения - регистрирующие...

Номер патента: 708437

Опубликовано: 05.01.1980

Авторы: Ольховский, Черепин

МПК: H01J 39/40

Метки: ионно-эмиссионный, микроскопмикроанализатор

...увеличенное изображение отверстия в катоде, при включенной системе развертки выводитна это отверстие интересующий участокструктуры для осуществления локального анализа,На чертеже схематически изображенпредложенный ионно-эмиссионный микроскоп-микроанализатор.Внутри вакуумной камеры по осирасположены аксиально-симметричнаяэлектростатическая оптическая система 1 с отклоняющей системой 2,ионно-электронный преобразователь 3,анализатор 4 масс и детектор 5 ионов.ИОнно-электронный преобразователь 3 20содержит катод 6,выполненный с отверстием 7, размер которого равен разрешаемому расстоянию на поверхностиобразца, умноженному на ионно-оптическое увеличение в плоскости катода р 5преобразователя, анод 8, фокуснруЮщий электрод 9 и область 10...