Сканирующий туннельный микроскоп
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Л / 1)1 (3 1 . / л,".3 5 ЛЛ,гл ЮГ-, .;,.1."г Р(Р 3,ф ГГ.ГС, =-.: ., 5П 9 ИЗ",:.=ТЕ.,7 А К О,Б.,Г 1 Г 1ПГГСГ 5 6 ЙЬ ,РС 11 Ь О.зВйЮФ 3 ФВЮу. м ъ, х ъ;. Ч 9Жвитщю маюйФЮМЮФФпЮюВЮМ 3 ЗФУ ЙМ 4 Т М ЮТИ ФЫюпоншшен падежости работ 1 1 кроскопа за счет умень 111 ецця Вли 51 Н д неравномерности пе 15 емеЧец 111 его ц 5 дв В,нРхч Гтей. й 1 кроскоп содеряит нертиклльсм злР, Р 51.111. он,;ни 1, 1;КЯ 3 Ы 11 , 5:..СТ, О .С 1 . О 151 ЬОД 1 )ЛЛ(56) Анторскгс свидетельство СССР 15 152 рбо- ., 11 о 1 Л 8712,. 5 1087Бичъ.Р 1 11.А. и др, Сканирующ 31 й туннельнь:й микроскоп для исследования процГСГл роста п.че.Г 11, - Письма в 11 Ф, 19885 т.14, Р 24, с. 2273-2277. (541 С 1.А 1551 РР "1 И 11151" -"Кр "5 огОП (57) 11 зобретеИе Отосится к туннель- НОЙ 1 Икроскоч 511 ц Р 10 кет быть использо Вано 13 цдцбОрф х д:я 1 сф лсД 013 сния 110- верхностц. 11 е.чьо изобретения является Изобрете.;е относится к тутшел 1- ной м 1 кроско 13 ИР 1 и мох;ет б 1;ть испольпр,; борах Д 3 я,;с следов Яция поверхности при ренеи и как науч пх, так и прцкллдн:х задач в области физики твердого телл, 1 Ркровле;тропики 5 б 1 офн:3 и 31, бцотехцоло.1 и, молеку;1 ярН 031 ЭЬ 1 КТРГ Н 1 КИ.Цель ц.обретия - 1101311.егце на- ДЕЗЛЗОЬ Тц Р,.ОТ 1:33 ГЕТ УМЕНЬИС 11 ЦЯ 13 ЧЦЧ 1 Л. 1 ЕРЛ:10:1 РНОСТ 5; ПЕР, 350И 1 . ИОД 3115,:11,х :3 ст. ик 5 оскопл.Ва т 5 р-Пр; о ГЛ 1 Л СХЕМ 1.РУ; Г, 1, ы 33,5 Р,НРЭко 1,1":111 .ОРл,15,015 1 с 1 лЙчцм ост,. но рас 13 олояен 11,Л пьезомаипулятор сострием, закреппенньп 1 на основании,и устройстпо подвода оразца, ьсдер 5 ящее дер 5 татель образа, установлен 11 ыйи удержцвя емьй при.тимямР 1 в на.Рав яющей, Под дерРхяте 31 ем на ос 110 пл 131 ц размещен ПОДВР 1 кп;в 1 упорньй 1 элем,.нт, ягпереме 1;ения которого не превосходитШЯ 1 Я ПЕРЕ 1 ЕГЕН 11 Я ДЕРлат(ЛЯ.5 ГОР 1 ЬПэлемет мОхе 1 б 1 1 ть Вьн 0 Лен 5 1 еа 11 римерВ 13 иде к 13 нл а Исремееис дергл 3 елавнерх Осу;ествчяе; ся путем по:-1 говогудлинсццч пьезоэлемента с : апра 3;лещей,.прц которо.: происходит -.р;скльзыВЯ 15 ие дер,теля Относиг ель.О 1 5;15 юмов пр;1 заецксиро 3 ЯпОм упор лсменте. 1 ил. ця содерхгит пьезоэлем.нт . с втулкой 4, в которой установче; дер; в .1-,ль 5 образца 6 удер;алаем. й приж 1 мом 7, Под дер 35 лт л 1 Образца раз"мещен подви;111,% уцор 11 й элемент 8,шаг переск ия "оторо го и грс:Осходит шлга пере 1 щения Дср;кателч образца, Роль упор 11 Г 3 го элемента м 055:ст ляполня Т 3 клин,С.1 15 аботлс 1 ГледЯи 1 Обрлзом,11 р 1 цодноде обрлзцл к сстрц.,5 пь 3 Оэ 31 с"ьнт . 13 тя гц 1 л 1 т ся и, е 113 т с 51.образ л от 3",дРТГП от 1013 ер. 10 С 5", ктынл, кото; - ; й з:-.Т 1 сд.3 глется н гО " .Г..;О15с 5 :., Г Т1О ".Н ;Л .". 5 -:;(.,з ( т;л б Р гЕ, т т) . с ":з,т. . 06 т 1(", т (1( П , т; тр 1 у Л Л Ет 13 0 б рТ ( Н 1 Я С,К.Н(т), )Г.Л "(11 Е 1 НЕГ,( (Е",д(:Е.ОПС С."(", 1(."1 К 1;т 10 1)" РЗ(:; . .Н: ПтеЗО".Л 1 П(11 уЛЯТер С ОСТ)П. "; Крон ЛЕНННГ На С.ОВЛ "и, П УСТО ;.СТВО ПОЛН(3 ОР;)ОЗ(а Ст ,-. т(:Р(т (Е ,;, тт Образл) уст,ОВ.ВНЕ.г и у;Ес)а л(.:ВЕЛ ОТ .ОСП Г( П Но (ЗС" РтнттЯ П )1-:;1;ч;В НЛ
СмотретьЗаявка
4759874, 20.11.1989
ИНСТИТУТ АНАЛИТИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОГО ОБЪЕДИНЕНИЯ АН СССР
ГАСТЕВ СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ, ГРОХОЛЬСКИЙ АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ, ГОЛУБОК АЛЕКСАНДР ОЛЕГОВИЧ, ДАВЫДОВ ДМИТРИЙ НИКОЛАЕВИЧ, ТИМОФЕЕВ ВЛАДИМИР АНДРЕЕВИЧ, ТИПИСЕВ СЕРГЕЙ ЯКОВЛЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/285
Метки: микроскоп, сканирующий, туннельный
Опубликовано: 15.01.1992
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1705915-skaniruyushhijj-tunnelnyjj-mikroskop.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Сканирующий туннельный микроскоп</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения электрофизических параметров материалов
Следующий патент: Способ инициирования искрового разряда в масс спектрометрическом искровом источнике ионов и масс спектрометрический искровой источник ионов
Случайный патент: Устройство импульсного стабильного питания функциональных блоков электронно-вычислительных машин