Анод для автоэлектронного микроскопа

Сфеэ СоввтскикСоциалистическиереспублик ВИДЕ ТЕЛЬСТ ВТОРСКО олнительное к авт. свид-в 48079/18-25 6.1 79 (2(53 Я. Кл. Н 01 Ю 37/2 вл м заявки М с и мсоелин тоеударетееииый комитет 3) Приори юллетень РЬ 3 о делом изооретеиий и открытий(54) АНОД ДЛЯ АВТАЭЛЕКТРОННАГА АСКАПА оэ лектр ониспользоных свойств из мезличемеанода.роскопа д (обраИзобретение относится к автной микроскопии и может бытьвено при исследовании эмиссионграней монокристаллов.Автоэлектронный микроскоп содержити качестве одного из основных элементованод, представляющий собой металлический диск с люминофорным покрытием изондовым отверстием в центре. Дляреннй автоэлектронных токов по рвным направлениям осушествшпот перщения анода или наклон Я.Однако точность установки зондовогоотверстия невелика,Боже высокую точность обеспечиваетанод для ввтоэлектронного микроскопа.,состоящий из двух соосных врвшакацпссяметаллических писков с зондовымиотверстиями, первый из которых по ходуэлектронного пучка выполнен с люминофорным покрытием со стороны образцаИВизвестном аноде зондовые отверстия, выполненные путем сверления, не являютсяидентичными вследствие технологических погрешностей, а также образуют нестабильное сечение условного чрохода (для электронного пучка) при изменении взаимного подожения дисков, что в целом снижает точность полученной информации.Цель изобретения - повышение точности измерений.Указанная цепь достигается тем, что в аноде для автоэлектронного микроскопа, состояшем из двух соосных вращающихся металлических дисков с зондовыми отверстиями, тпервый из которых по ходу электронного пучка выполнен с люминофорным покрытием со стороны образца, зондовые отверстия образованы прорезами в направлении от центров дисков к их периферии, расположенными по логарифмичес кой спирали на первом диске и по радиусу на втором диске.На фиг. 1 изображено осевое сечение узна катод-анод, на фиг. 2 схематически показана форма прорезей в дискахПо осн автоэлектронного мик последовательно расположены като3 8581 зец ) 1, анод, состоящий из двух дисков 2 и 3, первый из которых имеет люминофорное покрытие, и коллектор 4, собирающий электронный пучок 5. На первом диске 2 (фиг. 2) выполнена прорезь 6 от центра к периферии по логарифмической спирали, а иа втором диске 3, соответствен но, прсрезь 7 по радиусу писка. Сквозное зондовое отверстие 8 образуется на пересечении прорезей в дисках.оУстройство работает следующим образом.Анализируемый электронный пучок 5 от катода 1 проходит через зондовое от верстие 8 и попадает на коллектор 4 На35 экране, образованном люминофорным покрытием диска 2, визуализируется изображение поверхности образца. При вращении дисков 2 и 3 анода относительно друг друга зондовое отверстие 8 непрерывно перемещается и может быть установлено в выбранной20 области изображения, после чего производятся необходимые измерения на коллекторе 4. При вращении дисков прорезь по логарифмической спирали всегда пересекает25 радиальную прорезь под одинаковым углом, что обеспечивает постоянство формы зондового отверстия, а плавность его перемещения относительно дисков позволяет непрерывно контролировать его местоположение. 46Указанные условия позволяют повыситьточность измерения и качество получаемойинформации, а исключение дискретнойструктуры зондовых отверстий повышаеттехнолЬгичность изготовления анода.ф о рмула изобретенияАнод для автоэлектронного микроскопа, состоящий из двух соосных вращающихся металлических дисков с зондовыми отверстиями, первый из которых по ходу электронного пучка выполнен с люминофорным покрытием со стороны образца, о т л ич а ю ш и й с я тем, что, с целью повыщения точности измерений, зондовые отверстия образованы прорезями в .направлении от центра дисков к нх периферии, расположенными по логарифмической спирали на первом диске и по радиусу на втором диске.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе:1. Патент ФРГ М 2009005,кл. Н 01 У 37/285, опублик. 1978.2. Суворов А, Л. и др, Автоэлекгронный микроскоп Приборы и техника экспериментаф, 1979, Мф 4, с. 249 (проточил),Составитель В. ГаврющинРедактор Н. Пуаненкова . Техред Л, Пекарь Корректор С, ВекмврЗаказ 7260/87 Тираж7,84 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-ЗВ, Раущская наб., д. 4/5 филиал ППП фПатент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4