Способ фоторегистрации видеосигнала с экрана электронно лучевой трубки видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А 1 Н 9) 80 и) 5 Н 01 Р 37/ НОМИТЕОП ПРЫТИ ГОСУДАРСТВЕ ПО ИЭРБРЕТЕ ПРИ ГННТ СС ЕНИЯ ОБРЕ ОЛИС АВТОРСКОМ ДЕТЕЛЬСТ я к электрон т быть испопьисследованийбиология,геолела и материаповьппение инков за счетедения деталеания общего о-лучевой рольного устктронного микт изображение(56) Гоулдстейн Д. и др. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ, - М,Мир, 1984Техническое описание к растровому электронному микроскопу РЭМ.Сумы, 1982..(54.) СПОСОБ ФОТОРЕГИСТРАЦИИ ВИДЕОСИГНАЛА С ЭКРАНА ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКИ ВИДЕОКОНТРОЛЬНОГО УСТРОЙСТВА РАСТРОВОГОЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано во всех случаях, когда производится Аоторегистрация видеосигнала с экрана электронно-лучевой трубки видеоконтрольного устройства,Изобретение относит ной микроскопии и може зовано при проведении в таких областях, какгия, Аиэика твердого т ловедение. Цепь изобретения -формативности ЬотоснимбарельеАного воспроизв изображения и выравнив контраста. На экране электронн трубки (ЭЛТ) видеоконт ройства растрового эле роскопа (РЭМ) формируюЦель изобретения - повьппение информативности Фотоснимков -. достигается путем барельейного воспроизведения деталей изображения и выравнивания общего контраста. Экспонирование фотоматериала осуществляют в течение двух одинаковых по длительности развертки кадров при.одинаковой ампли" туде видеосигнала и яркости свечения экрана. После окончания развертки первого кадра исследуемый объектсмещают вдоль одного иэ направлений перпендикулярно оптической оси микроскопа на величину не менее элемента разложения изображения и не более размера наименьшей детали поверхности объекта для данного увеличения микроскопа. При экспонировании в течение развертки второго кадра изменяют полярность видеосигнала на прото- С воположную.В ФЭ исследуемого участка поверхности стребуемой яркостью свечения экранаЭЛТ. Экспонирование фотоматериалаосуществляют в течение двух одинаковых по длительности развертки кад"ров при одинаковой амплитуде видеосигнала и яркости свечения экрана.После окончания развертки первогокадра исследуемьй 1 объект смещаютвдоль одного иэ направлений перпен"дикулярно оптической оси микроскопана величину не менее элемента разло"жития изображения и не более размеранаименьшей детали поверхности объекта для данного увеличения РЭМ, Приэкспонировании в течение развертки второго кадра изменяют полярность ви. деосйгнала на противоположную,Изменение полярности видеосигна 5 ла при экспонировании приводит к выравнйванию общего контраста,а смещение исследуемого объекта между двумя развертками кадра в сочетании с изменением полярности видеосигнала позволяет получить барельефное воспро: изведение деталей изображения, Ба рельефность на Фотоснимке создается вследствие образования двух чернобелых краев одной линии, причем оптическая плотность одной увеличива-. ется, а второй уменьшается, Элементом изображения является область на исследуемом объекте, на которую попадает электронный зонд, и информация 20 из которой передается в одно пятно на экране ЭЛТ, поэтому смещение объекта на величину .менее элемента иэображения не создает барельефности, Смещение объекта на величинуболее 25 размеров наименьшей существенной детали поверхности,. которую исследуют при данном увеличении, приводит к , двойному негативно-позитивному изображению на. одном снимке. Выбор опре- З 0. деленного значения смещения в указанном интервале обусловлен характеромисследуемого объекта и определяетсяв каждом конкретном случае индивидуально.35Выбор среднего уровня яркости ЭЛТи амплитуды видеосигнала осуществляется из условия обеспечения при Фог торегистрации максимального числадискретных уровней яркости изображения исследуемого объекта за времяэкспозиции, равное длительности двухразверток кадра при неизменной полярности видеосигнала. Это позволя,ет получить высококачественный элект ронно-микроскопический Фотоснимок,используя прямолинейный участок характеристической кривой Фотоматериала.П р и м е р, Проводят ФоторегистРацию видеосигнала в РЭМ,ОбъектисСледования: гальванически позолоченные серебряные контакты с поверхностными дефектами, При фотографировании с экрана ЭЛТ используют аппарат "Зенит Е", объектив "Гелиос 44-2"диафрагма 11, пленку Фото,фото 11 11 Ъ 5обработка стандартная. Наилучший электронно-микроскопический Фотоснимок обеспечивающий максимальное числоУ дискретных уровней яркости иэображения исследуемых контактов,нолучен путем подбора среднего уровня .яркости ЭЛТ, амплитуды видеосигнала и времени экспозиции, которое оказалось равным 40 с, увеличение 400 В дальнейшем средняя яркость ЭЛТ и айплитуда видеосигнала остаются неизменнымии контролируются с помощью осциллографа С 1-68. В видеоконтрольном устройстве микроскопа РЭИиспользуется ЭЛТ типа 18 ЛИ 4 Б, для которой минимальный диаметр пятна состав-. ляет 100 мкм, поэтому .при данном увеличении элемент изображения на образце 0,25 мкм, Наименьшая существенная деталь поверхности контактов, которую необходимо выделить и проанализировать, примерно равна 3 мкм,Для барельефного воспроизведения деталей изображения и выравнивания общего контраста изменение полярности смещение исследуемых контактов производится между одноКратными запусками кадровой развертки длительностью 20 с. Образец смещается рукоятками перемещения столика объектов по одной из осей ХУ-координат, Из серии снимков с различным смещением образца в пределах приведенного интервала наиболее информативный снимок получен при смещении 1 мкм.В результате обработки видеосигнала удалось проанализировать и выделить мелкие дефекты гальванического покрытия на всех участках исследуемых образцов.Формула изобретенияСпособ фоторегистрации видеосигнала с экрана электронно-лучевой трубки видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа, снабженного механизмом перемещения образца во взаимно перпендикулярных направлениях, .включающий формирование на экране кадра изображения видеосигнала, регулирование яркости свечения экрана и экспонирование Фотоматериала, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повьппения инФормативности Фотоснимков за счет барельефного воспроизведения деталей иэображения и выравнивания общего контраста, экспонирование Фотоматериала осуществляют в течение двух одинаковых по длительности РазвертСоставитель В.ГаврюшинТехред М.Ходанич Корректор О,Ципле Редактор О.Головач Заказ 1454 Тираа 403 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по.изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат патент", г.уагород, ул. Гагарина, 101 5 15699 ки кадров при одинаковой амплитуде видеосигнала и яркости свечения экрана, причем после окончания развертки первого кадра исследуемый обьект5 смещают вдоль одного иэ направлений перпендикулярно оптической оси микроскопа на величину не менее злемен 1 Фта разлоаения изобрааения и неболее размера наименьшей деталиповерхности обьекта для данногоувеличения микроскопа, а при экспонировании в течение разверткивторого кадра изменяют полярностьвидеосигнала на противопслоаную,