Способ настройки многофункциональной электронно-лучевой установки

(51)5 Н 01 3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ ОМИТЕТОТКРЫТИЯ)1 ц 99 ЕТЕНИ ПРИ ГКНТ СССРОПИСАНИЕ ИЗО ВТОРСКОМУ СВИДЕ(71) Московский институт электронного машин.остроения(56) Авторское свидетельство СССРМ 1157589, кл, Н 01 3 37/26, 1983.Авторское свидетельство СССРМ 928466, кл. Н 01 3 37/24, 1980.(54) СПОСОБ НАСТРОЙКИ МНОГОФУНКЦИО НАЛ Ъ НОЙ ЭЛЕКТРОН НО-ЛУЧЕВОЙУСТАНОВКИ Изобретение относится к микроэондовой технике, например электронно- и ионно-лучевой, и может быть использовано в лучевой технологии;производства изделий микроэлектроники.Целью изобретения является повыше-. ние точности настройки за счет компенсации смещения электронного пучка.При осуществлении способа на объектодержатель устанавливают тест-объект, . представляющий собой керметную шайбу, с нанесеннъ(м на нее слоем серебра толщиной 200 А; На пушку подают ускоряющее напряжение 4 кВ, на конденсорный блок - ток возбуждения 0,4 А. Включают растровую систему, юстировки и стигматор. Режимы работы элементов зондоформирующей системы обеспечивают возможность неразрушающего облучения тест-объекта зонам с диаметром порядка 250 А и током 10 А, Изменением возбуждения формирующей линзы добиваются резкого изображения по(57) Использование: в микроэондовой технике, например электронно- и ионно-лучевой технологии производства изделий микроэлектроники. Сущность изобретения: после предварительной настройки зондоформирующей системы получают изображение на экране видеоконтрольного устройства, затем отключают растровую систему и переводят электронно-лучевую установку в высокомощный режим, после чего переводят установку в исходный режим и включают растровую систему, совмещают центр растра с центром облученного участка. Указаны требования к тест-объекту в виде островковой пленки на подложке.1 з.п, ф-лы. верхности тест-обьекта на экране видеоконтрольного устройства при масштабе увеличения 10 000 крат. Такое полез.ноеувеличение может быть легко получено благодаря тому, что пленка серебра имеет трещины между островками шириной порядка 0,1 мкм. Эти трещины и дают четкий рельеф картины. Пилообразные токи, подаваемые на растровую систему, симметричны относительно нулевой точки; т, е, амплитуда отрицательных токов равна соответствующим амплитудам положительных токов.Далее отключают растровую систему и увеличивают в три раза ток 1 возбуждения формирующей линзы и в девять раз ускоряющее напряжение О. Т. е. 0 36 кВ. Снижение тока возбуждения конденсоров до 0 2 А позволяет увеличить ток пучка до бф 10 А, Время облучения тест-объекта порядка 10 с приведет к испарению серебра под пучком, Этот участок диаметром 2-4 мкм будет выглядеть как отверстие в пленке. Да1742898 Составитель Е. БарышевскийРедактор М. Кузнецова Техред М.Моргентал Корректор О. Ципле Заказ 2290 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 лее переводят зондоформирующую систему в исходное состояние и формируют на экране изображение облученного участка (отверстия в пленке), Перемещая растр по поверхности объекта путем сдвига пилообразных токов развертки относительно нулевых точек, добиваются еовмещения центра выфрезерованного отверстия с центром растра (т. е, экрана).П редлагаемый способ позволяет существенно расширить функциональные возможности электронно-лучевой техники за счет обеспечения возможности использовать ее для решения двух и более совмещаемых задач.Формула изобретения 1, Способ настройки многофункциональной электронно-лучевой установки, включающий установку тест-объекта, включение и предварительную настройку зондоформирующей системы, получение изображения на экране видеоконтрольного устройства и оценку качества настройки зондоформирующей системы по параметрам полученного изображения, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности настройки за счет компенсации смещения электронного пучка, после получения изображения отключают растровую систему, переводят электронно-лучевую ус тановку в высокомощный режим, путем изменения токов возбуждения линз и/или ускоряющего напряжения пушки, после этого переводят электронно-лучевую установку в исходный режим, включают растровую си стему, получают иэображение тест-объектаи смещают растр на поверхности образца до совмещения центра облученного участка с центром экрана путем регулировки постоянной составляющей токов в отклоняющих 15 катушках.2, Способ пои. 1,о тл и ча ю щи йс ятем, что в качестве тест-объекта используют структуру, представляющую собой подложку из материала с малой теплопро водностью и коэффициентом вторичнойэлектронной эмиссии, покрытую островковой пленкой электропроводного материала, причем пленку выбирают с удельной теплотой испарения меньшей, чем удельная выде ляемая мощность электронного пучка врежиме высокой мощности.