Способ контроля чипов на пластине
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1798834
Автор: Рыбалко
Текст
)5 Н 01) 3 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(71) Московский институт электронного машиностроения(56) Авторское свидетельство СССР (ч. 1507119, кл. Н 01 ) 37/26, 1986.Патент СШАМ 4532423, кл, 250 - 310, 6 01 й 23/00, 1985. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЧИПОВ НА ПЛАСТИНЕ(57) Использование: Изобретение относится к электронно-лучевому контролю изделий микроэлектроники, ЦельЮ изобретения явИзобретение относится к области электронно-лучевого технологического контроля.иэделий микроэлектроники.Целью изобретения является повышение производительностй способа,Примером конкретного выполненияспособа является процедура контроля распределения потенциалов в электрйческихцепях чипов для ИС К 133,Кремниевую пластину устанавливают вобъектодержатель и совмещают центр первого контролируемого участка первого чипас центром приемного окна анаЛизатора.Далее опускают на пластину эондовую го.,ловку до образования омических контак-,тов между зондами головки и контактнымиплощадками чипа. После этого сканируютповерхность чипа электронным пучком; регистрируют видеосигнал топологии участкачипа и по видеосигналу определяют кбординаты тестируемых узлов, лежащих в преде( Ж 1798834 А 1 ляется повышение производительности процесса контроля чипов на пластине за счет исключения операции кривизны координат растра к координатам топологии исследуемого чипа, Сущность изобретения; во время контроля чипа пластину жестко фиксируют относительно электронно-оптиче. ской системы, а переход от одного участка поверхности чипа к следующему осуществляют путем перемещения анализатора энергии электронов относителЬно неподвижной пластины в направлении движения электронного пучка, перемещающегося от узла к узлу. Искомые величины определяются по спектральным характеристикам вто-рично-эмиссионного сигнала. лах первого участка. Подают через зондовую. головку йа чип питающие и рабочие напряжения и начинают последовательное зондирование узлов, постепенно перемещая пучок в сторону следующего контролируемого участка, Причем при облучении каждого узла измеряют величину сдвига спектра вторичных электронов и определяют по этой величине потенциал узла, Одно.временно с этим, по мере перемещения пучка, осуществляют перемещение анализатора энергйй электронов. И так до тех пор, пока 6 се участкй поверхности чипа не будут просканйрованы и протестированы. Затем осуществлФют переход к следующему чипу и повторяют- всю последовательность операций,Формула изобретения Способ контроля, чипов на пластине, аключающий размещение пластины относительно анализатора энергий электронов,1798834 Составитель ВУыбалаоРедактор С.Егорова Техред М.Моргентал . Корректор П.Гереши Заказ 775:.Тираж г.: Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раущская наб., 415 Проиаеодстеенне иааательскна комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 101 подачу на контактные площадки чипа питающих и рабочих напряжений, формирование с помощью электронно-оптической системы электронным пучком растра на поверхности чипа, расположенной в пределах приемной апертуры анализатора энергии электронов, последовательное облучение электронным пучком контролируемых узлов электрической цепи чипа, лежащих в пределах участка поверхности, ограниченного ПрИЕМНОй атПЕртурОй"аНгЭЛсИЗатОра, рЕГИСтр рацию спектральных характеристикт вторично-эмиссионного сигнала, определение по зарегистрированным данным йскомйх ве 4личин и переход к следующему участку поверхности чипа путем относительного перемещения пластины и анализатора энергий электронов,отлич а ю щи йс я тем, что, 5 с целью повышения производительностиспособа, во время контроля чипа пластину жестко фиксируют относительно электрон.- но-оптической системы, а переход от одного участка поверхности чипа к следующему 10 осуществляют путем перемещения аналиэЭтора энергии электронов относительно неподвйжной пластины в направлении электронного пучка, перемещающегося от узла к узлу.
СмотретьЗаявка
4780040, 09.01.1990
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
РЫБАЛКО ВЛАДИМИР ВИТАЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/28
Опубликовано: 28.02.1993
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1798834-sposob-kontrolya-chipov-na-plastine.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля чипов на пластине</a>
Устройство для установки электронных компонентов на поверхность печатных плат
Номер патента: 1824683
Опубликовано: 30.06.1993
Авторы: Гречаниченко, Назаров
МПК: H05K 13/04
Метки: компонентов, печатных, плат, поверхность, установки, электронных
...кожуха 15, выведены иэ зацепления с поводком 11 пружинами 20; электромагниты 21 и 22, а также штуцера 28 и 29 обесточены; поршень 24 в правом положении.При подаче воздуха через штуцер 28 поршень 16 начинает двигаться вниз, толкая гильзу 8 через наружное кольцо подшипника 13, При выборе зазора Ь гильза 8 своими крыльями освобождает поперечные губки 6, которые под действием пружин 7 расходятся.Двигаясь дальше, гильза 8 нажимает на гильзу 3, которая, выбирая зазор с, своими крыльями освобождает продольные губки 5 и они расходятся под действием своих) пружин 7.До полного развода губок 5 и 6 державка 2 с присоской 1 находится в неподвижном сос 1 оянии. После развода губок и полного выбора зазора с гильза 3 нажимает5 10 15 20 25 30 35 40...
Электронный микроскоп-анализатор
Номер патента: 399937
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: H01J 37/26
Метки: микроскоп-анализатор, электронный
...Электроны, выходящие из диафрагмы 6 с энергией, определяемой ускоряющим напряжением микроскопа, попадают на сцин. тиллятор 9 и вызывают вспышку, которая регистрируется фотоэлектронным умножителем (ФЭУ) 10. На выходе ФЭУ 10 получается поток импульсов, частота которых соответствует электронной плотности изображения объекта.Затем сигнал поступает через катодный повторитель 13 на интегрирующую цепочку 14. Затем непрерывный сигнал квантуется и с выхода интегрирующей цепочки 14 поступает на вход анализирующего устройства амплитудного анализатора 15 или коррелятора. При необходимости сигнал с выхода ФЭУ 10 подают на видеоусилитель 11 затем на модулятор кинескопа 12. Синхронность разверток кинескопа 12 и отклоняющей системы 7 микроскопа...
Устройство для установки электронных компонентов на поверхность печатных плат
Номер патента: 1737778
Опубликовано: 30.05.1992
Авторы: Назаров, Нестеров, Смирнов
МПК: H05K 13/04
Метки: компонентов, печатных, плат, поверхность, установки, электронных
...соответствующей головкой 5на печатную плату 2, позиционируе"мую по оси Х с помощью серводвигателя 3, перемещающего конвейер 1, Вэтом же положении диска 4 одновременно с установкой элемента на пецатную плату другая установочная головка 5, находящаяся в зоне захватаэлементов и определенная программой,осуществляет захват элемента из соот"ветствующего питателя 10, Для того,чтобы положение питателя 10 тоцносоответствовало положению захваты"вающей элемент головки 5, положениепитателя 10 корректируется программноблагодаря наличию подвижной платформы 11, управляемой статором 14посредством влияния на цепь постоянных магнитов 15, После установкиэлемента головкой 5 и одновременнозахвата другого электронного компо"нента другой головкой 5...
Устройство для выравнивания уровня контрольной поверхности объекта относительно опорной поверхности
Номер патента: 939941
Опубликовано: 30.06.1982
Авторы: Алексеенко, Батанов, Григорьев, Салтыков
МПК: G01C 5/04
Метки: выравнивания, контрольной, объекта, опорной, относительно, поверхности, уровня
...в корпуса 9 исполнительных механизмов 4, а измерительные штоки 3 этих датчиков закреплены на осях винтов 5 с возможностью вертикального перемещения относительно них выравниваемого объекта 1 Ъ и опорной поверх,ности 11.Устройство рабстает следующим образом.На фундамент устанавливают исполнительные механизмы 4 и соединяют вмонтированные в них сосуды 2 с опорным датчиком 1 шлангами 8, через которые подают рабочую жидкость. Затем регулируют длину измерительного штока 3 каждого контрольного датчика относительно подвижной части исполнительного механизма 4 так,чтобы расстояние от конца измерительного штока 3 до поверхности подвижной части, на которую опирается выравни,ваемый объект 10, было равно зазору между опорной поверхностью...
Способ автоматического выравнивания выверяемой поверхности объекта относительно опорной поверхности и устройство для его осуществления
Номер патента: 1046613
Опубликовано: 07.10.1983
Авторы: Генфан, Салтыков, Черкасов
МПК: G01C 5/04
Метки: выверяемой, выравнивания, объекта, опорной, относительно, поверхности
...выравнивания.Целью изобретения является повышение производительности и точности.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу автоматического выравнивания выверяемой поверхности объекта относительно опорной поверхности с помощью гидравлически соединенных между собой опорного и контрольного датчиков, а также прецизионных элементов, заключающемуся в том, что выверяемую поверхность объекта доводят до уровня опорной путем сравнения расстоя,ний между базой и прецизионными элементами на опорной и выверяемой поверхностях, сравнение расстояний ведут от дополнительной базы, которуюустанавливают в датчиках на равном расстоянии от уровня жидкости в них,выводят дополнительную базу в обоих датиках на уровень опорной поверхности и перемещают...
Предыдущий патент: Способ изготовления острийного эмиттера для сканирующего туннельного микроскопа
Следующий патент: Способ изготовления полупроводникового прибора
Случайный патент: Электроизоляционный состав lt; д ттт