Способ фоторегистрации видеосигнала в растровом электронном микроскопе

союз соВетскихСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 51)5 Н 01 Л ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ К АВТОРСКО ВИДЕТЕЛЬСТВУ слется он 34 88,8) ектронна микроана Мир, 198 свидетел Л 37/28, микроскопия и из,/ Под ред. 4.ство СССР В988,(54) СПОСОБ ФООСИГНАЛА ВНОМ МИКРОСК(57) Иэобретенимикроскопии и ТОРЕГИСТРАЦИИ В АСТРОВОМ ЭЛЕКТ ОПЕотносится может быть Е Н к электронной использовано ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(21) 4695190/21 (22) 08,04.89 (46) 15,09,91. Бю (72) М.А,Кипнис (53) 621.385.833 (56) Растровая э рентгеновский Д. Гулдстейна. МАвторское 1569911, кл. Н 0 Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано при документировании результатов исследований,Целью изобретения является повыше ние информативности электронно-микроскопических фотоснимков путем улучшения воспроизведения деталей иэображения в свете и тенях и выравнивания контраста в средних тонах.Сущность изобретения заключается в том, что вначале осуществляют формирование изображения видеосигнала на экране видеоконтрольного устройства. Устанавли, вают постоянный необходимый уровень яркости свечения экрана и экспонируют фотоматериал в течение двух кадров разпри документировании результатов ис дований. Целью изобретения являе повышение информативности электр но-микроскопических фотоснимков за счет улучшения воспроизведения деталей изображения в свете и тенях и выравнивания контраста в средних тонах. На экране видеоконтрольного устройства формируют изображение видеосигнала. Устанавливают постоянный необходимый уровень яркости свечения экрана и экспонируют фотоматериал в течение двух кадров развертки одинаковой длительности. При этом экспонирование в течение второго кадра осуществляют при неизменной на противоположную полярности видеосигнала и уменьшенной на 5.15 амплитуде,вертки одинаковои длительности. При этом О экспонирование в течение второго кадра осуществляют при измененной на противоположную полярности видеосигнала и уменьшенной на 5 - 157 ь его амплитуде, ЦИзменение полярности видеосигнала Сд при экспонировании приводит к выравнива д нию контраста. Уменьшение амплитуды видеосигнала на величинуболее 15 значительно уменьшает число дискретныхваввв уровней яркости изображения, что приводит к снижению качества снимка.Выбор определенного значения умень- щения яркости в интервале 5 - 15 обусловлен характером исследуемого объекта и определяется в каждом конкретном случае индивидуально,1677733 Составитель В, ГаврюшинРедактор С. Лисина Техред М,Моргентал Корректор М. Максимишинец Заказ 3116 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, ужгород, ул.Гагарина, 101 Сочетание изменения полярности иуменьшения амплитуды видеосигнала приводит к улучшению воспроизведения деталей изображения в светах и тенях привыравнивании контраста в средних тонах, 5Изменение амплитуды видеосигнала на величину менее 5 оне приводит к заметномуизменению яркости деталей изображения,так как граничная чувствительность восприятия глаза лежит в интервалах 3 - 5% контраста по яркости,Средний уровень яркости свечения экрана видеоконтрольного устройства и первоначальную амплитуду видеосигналаустанавливают из условия обеспечения при 15фоторегистрации максимального числа дискретных уровней яркости изображения исследуемого объекта за время экспозиции,равное длительности двух разверток кадрапри неизменной полярности и амплитуды 20видеосигнала. При этом используется прямолинейный участок характеристическойкривой фотоматериала,П р и м е р. Проводили фоторегистрацию 25 видеосигнала в растровом электронном микроскопе РЭМ - 200. Объект исследования: серебряные сферические контакты с поверхностными диэлектрическими микро- загрязнениями. При фотографировании с 30 экрана ЗЛТ использовали аппарат "Зенит Е", объективГелиос- 2", диафрагма 11, пленка "фото", фотообработка стандартная. Наилучший электронно-микроскопический снимок, обеспечивающий 35 максимальное число дискретных уровней яркости иэображения исследуемых контактов, получен путем подбора среднего уровня свечения экрана, амплитуды видеосигнала и времени экспозиции, которое оказалось равным 40 с,В дальнейшем среднюю яркость свечения и амплитуду контролировали с помощью осциллографа С 1 - 68,Для улучшения воспроизведения деталей изображения в свете и тенях и выравнивания контраста в средних тонах изменение полярности и уменьшение амплитуды видеосигнала производили между однократными запусками кадровой развертки длительностью 20 с, Из серии снимков с различным уменьшением амплитуды видеосигнала (интервал - 5 - 15) наиболее информативный снимок получен при уменьшении амплитуды на 10 .В результате удалось проанализировать мелкие детали рельефа загрязнений по всей поверхности контакта, включая участки, сигнал от которых находился на краях динамического диапазона.Формула изобретения Способ фоторегистрации видеосигнала в растровом электронном микроскопе, включающий формирование изображения видеосигнала на экране видеоконтрольного устройства, экспонирование фотоматериала при постоянном уровне яркости свечения экрана в течение двух кадров развертки одинаковой длительности при измененной на противоположную полярности видеосигнала во втором кадре, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения информативности фотоснимков за счет улучшения воспроизведения деталей изображения в свете и тенях выравнивания контраста в средних тонах, при экспонировании фотоматериала в течение второго кадра уменьшают амплитуду видеосигнала на 5 - 15.