Патенты с меткой «чипов»

Номер патента: 1798834

Опубликовано: 28.02.1993

Автор: Рыбалко

МПК: H01J 37/28

Метки: пластине, чипов

...неподвижной пластины в направлении движения электронного пучка, перемещающегося от узла к узлу. Искомые величины определяются по спектральным характеристикам вто-рично-эмиссионного сигнала. лах первого участка. Подают через зондовую. головку йа чип питающие и рабочие напряжения и начинают последовательное зондирование узлов, постепенно перемещая пучок в сторону следующего контролируемого участка, Причем при облучении каждого узла измеряют величину сдвига спектра вторичных электронов и определяют по этой величине потенциал узла, Одно.временно с этим, по мере перемещения пучка, осуществляют перемещение анализатора энергйй электронов. И так до тех пор, пока 6 се участкй поверхности чипа не будут просканйрованы и протестированы. Затем...