Баликоев

Номер патента: 1780127

Опубликовано: 07.12.1992

Авторы: Баликоев, Барченко, Заграничный, Мерник

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскопии, образца, подготовки, электронной

...тока, тем лучше будет однородность распыления образца в направлении холловского тока, С другой стороны требования экономичности приводят к минимальным размерам держателя(для обеспечения необходимой плотности ионного тока потребуется небольшой ток разряда). Опытным путем авторы получили соотношение, при котором неоднородность травления образца в направлении холловского тока не превышала 15 О во всем диапазоне рабочих давлений устройства 122 о 4. При невыполнении данного условия наблюдалось более резко выраженная неоднородность, особенно у диэлектрических образцов достигающая на длине образца до 100/что даже с последующим травлением ионными пучками весьма трудно получить симметричный профиль травления с высокой скоростью. В...

Номер патента: 1725288

Опубликовано: 07.04.1992

Авторы: Баликоев, Барченко, Глазков, Заграничный, Лобанов

МПК: H01J 1/20

Метки: газоразрядных, катодный, узел, устройств

...торец и устаовлена в полости так, что указанный торец расположен в срединной плоскости, разделяющей первые два магнита со стороны глухого торца катода,Узел работает следующим образом.В полости катода формируется система магнитных ловушек гиперболиче ского типа, создающих условия длялокальнога накопления цастиц. Привозбуждении разряда положительныйстолб заполняет внутренний объемкатодной полости, при этом большаячасть разрядного напряженйя приложена к участку пространства между 40 внутренней поверхностью полости ивнешней границей положительного столба , формируя катодное падение потенциала. Поскольку торцовая поверхность вставки 7 лежит в плоскости 45 между двумя соседними магнитами,ближайшими к крышке катода, силовыелинии индукции...